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정전용량형 압력센서 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014044845
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압력 검출시 공동 이외의 영역에서 잡음으로 작용하는 기생 정전용량을 최소화하여 미소 센서를 구현할 수 있는 정전용량형 압력센서 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 위해, 본 발명은 하부전극으로 기능하는 기판과, 상기 기판 상에 형성된 제1 절연막과, 상기 제1 절연막 상에 형성된 공동과, 상기 공동과 연통하는 개구부를 가지며, 상기 공동을 덮도록 상기 제1 절연막 상에 형성된 제2 절연막과, 상기 개구부를 매개로 상기 개구부와 상기 공동의 일부가 매립되도록 전도성 재질로 형성된 밀봉막과, 상기 공동과 중첩되도록 상기 제2 절연막 상에 형성된 상부전극을 포함하는 정전용량형 압력센서를 제공한다.따라서, 본 발명에 의하면, 공동을 형성한 후 상기 공동의 양측부에 전도성 재질로 밀봉막을 앵커(anchor) 형상으로 형성하고, 상기 밀봉막과 전기적으로 분리되어 상기 공동과 중첩되는 상부전극을 형성하여 압력 검출시 실질적으로 영향을 미치는 공동 영역을 상기 밀봉막을 통해 특정 영역으로 제한함으로써 압력 검출시 공동 이외의 영역에서 잡음으로 작용하는 기생 정전용량을 최소화하여 미소 센서를 구현할 수 있다.
Int. CL H01L 29/84 (2006.01) G01L 9/12 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100078321 (2010.08.13)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1215919-0000 (2012.12.20)
공개번호/일자 10-2012-0015845 (2012.02.22) 문서열기
공고번호/일자 (20121227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.13)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황학인 대한민국 서울특별시 성북구
2 이대성 대한민국 경기도 용인시 기흥구
3 신규식 대한민국 서울특별시 영등포구
4 조남규 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍순우 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)
2 심재만 대한민국 대구광역시 달서구 호산로 ** ,(주)공성 *층 (파호동)(특허법인 스마트(대구분사무소))
3 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0522513-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0012149-80
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0278168-01
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0553222-51
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0553247-92
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0645633-93
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0731638-61
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0731641-09
10 등록결정서
Decision to grant
2012.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0770772-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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하부전극으로 기능하는 기판;상기 기판 상에 형성된 제1 절연막;상기 제1 절연막 상에 형성된 공동;상기 공동과 연통하는 개구부를 가지며, 상기 공동을 덮도록 상기 제1 절연막 상에 형성된 제2 절연막;상기 개구부를 매개로 상기 개구부와 상기 공동의 일부가 매립되도록 전도성 재질로 형성된 밀봉막; 및상기 밀봉막과 중첩되지 않도록 전기적으로 분리되어 플로팅 상태로 존재하고, 상기 공동과 중첩되도록 상기 제2 절연막 상에 형성된 상부전극을 포함하고,상기 밀봉막은 상기 제2 절연막의 개구부보다 상기 공동 내에서 큰 폭을 갖는 앵커 형상으로 형성되어 제2 절연막이 밀봉막의 단턱부에 일부가 걸치도록 형성된 정전용량형 압력센서
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삭제
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기판 상에 제1 절연막을 형성하는 단계;상기 제1 절연막 상에 희생층을 형성하는 단계;상기 희생층을 덮도록 상기 제1 절연막 상에 제2 절연막을 형성하는 단계;상기 제2 절연막 상에 상부전극을 형성하는 단계;상기 제2 절연막의 일부를 식각하여 개구부를 형성하는 단계;상기 개구부를 매개로 상기 희생층을 제거하여 공동을 형성하는 단계; 및상기 개구부와 상기 공동의 일부가 매립되도록 전도성 재질로 밀봉막을 형성하는 단계로서, 제2 절연막이 밀봉막의 단턱부에 일부가 걸치도록 형성되고, 밀봉막은 상부전극과 중첩되지 않고 전기적으로 분리되어 플로팅(floating) 상태로 형성되는 밀봉막을 형성하는 단계;를 포함하는 정전용량형 압력센서의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 밀봉막은 상기 상부전극과 전기적으로 분리된 앵커 형상으로 형성하는 정전용량형 압력센서의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 식각은 플루오르화크세논(XeF2) 가스를 이용하여 실시하는 정전용량형 압력센서의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08754453 US 미국 FAMILY
2 US20130126994 US 미국 FAMILY
3 WO2012020930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
4 WO2012020930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2013126994 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8754453 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2012020930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
4 WO2012020930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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