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정전용량형 압력센서 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014044846
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제조공정을 단순화시키고, 접합특성과 감지특성을 향상시킬 수 있는 정전용량형(capacitive type) 압력센서 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 위해, 본 발명은 홈부를 구비한 유리기판과, 상기 홈부 내에 형성된 상부전극과, 후면에 멤브레인을 구비한 실리콘기판과, 상기 실리콘기판의 전면에 이온주입공정을 실시하여 상기 실리콘기판의 전면으로부터 일정 깊이를 갖도록 상기 실리콘기판 내에 서로 이격되어 형성된 제1 및 제2 하부전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 하부전극의 적어도 일부가 상기 상부전극과 대향되도록 상기 실리콘기판과 상기 유리기판이 양극접합(anodic bonding)으로 이종접합된 정전용량형 압력센서를 제공한다.따라서, 본 발명은 실리콘기판 내에 제1 및 제2 하부전극을 형성하고, 유리기판 상에 상부전극을 형성하며, 상기 실리콘기판과 상기 유리기판을 양극접합으로 이종접합시켜 정전용량형 압력센서를 구현함으로써 종래기술에 따른 실리콘 융합 접합방법(실리콘-실리콘 접합)에 비해 공정을 단순화시키고, 접합 및 감도특성을 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 29/84 (2006.01) G01L 9/12 (2006.01)
CPC G01L 9/12(2013.01) G01L 9/12(2013.01) G01L 9/12(2013.01) G01L 9/12(2013.01)
출원번호/일자 1020100078350 (2010.08.13)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1215922-0000 (2012.12.20)
공개번호/일자 10-2012-0015859 (2012.02.22) 문서열기
공고번호/일자 (20121227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.13)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황학인 대한민국 서울특별시 성북구
2 이대성 대한민국 경기도 용인시 기흥구
3 신규식 대한민국 서울특별시 영등포구
4 조남규 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍순우 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)
2 심재만 대한민국 대구광역시 달서구 호산로 ** ,(주)공성 *층 (파호동)(특허법인 스마트(대구분사무소))
3 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0522638-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0012150-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0278169-46
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0553174-57
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0553157-81
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0645656-32
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0731762-14
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0731753-14
10 등록결정서
Decision to grant
2012.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0770774-67
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
홈부를 구비한 유리기판;상기 홈부 내에 형성된 상부전극;후면에 멤브레인을 구비한 실리콘기판; 및상기 실리콘기판의 전면에 이온주입공정을 실시하여 상기 실리콘기판의 전면으로부터 일정 깊이를 갖도록 상기 실리콘기판 내에 서로 이격되어 형성된 제1 및 제2 하부전극;상기 제1 및 제2 하부전극의 각 상면으로부터 상기 유리기판 상부까지 연장된 제1 및 제2 신호라인; 및상기 제1 및 제2 신호라인과 각각 연결된 제1 및 제2 범프를 포함하고, 상기 제1 및 제2 하부전극의 적어도 일부가 상기 상부전극과 대향되어 상기 상부 전극은 상기 제1 및 제2 하부전극의 공동 전극으로 형성되고, 상기 실리콘기판과 상기 유리기판이 양극접합(anodic bonding)으로 이종 접합되며 밀봉된 것을 특징으로 하는 정전용량형 압력센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 하부전극은 상기 상부전극과 함께 각각 제1 및 제2 캐패시터를 구성하는 정전용량형 압력센서
3 3
삭제
4 4
실리콘기판의 전면에 이온주입공정을 실시하여 상기 실리콘기판의 전면으로부터 일정 깊이를 갖도록 상기 실리콘기판 내에 서로 이격되도록 제1 및 제2 하부전극을 형성하는 단계;유리기판의 홈부 내에 상부전극을 형성하는 단계;상기 제1 및 제2 하부전극의 적어도 일부가 상기 상부전극과 대향되고, 상기 상부전극이 상기 제1 및 제2 하부전극의 공동 전극이 되도록 상기 실리콘기판과 상기 유리기판을 양극접합(anodic bonding)으로 이종접합하여 밀봉하는 단계;상기 실리콘기판의 후면을 식각하여 멤브레인을 형성하는 단계;상기 제1 및 제2 하부전극의 각 상면으로부터 상기 유리기판 상부까지 연장된 제1 및 제2 신호라인을 형성하는 단계; 및상기 제1 및 제2 신호라인과 각각 연결된 제1 및 제2 범프를 형성하는 단계를 포함하는 정전용량형 압력센서의 제조방법
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.