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기판;바이오 항원-항체 반응이 발생되도록 유도하는 반응 유도부; 및상기 기판에 형성되어 상기 반응 유도부에서의 바이오 항원-항체 반응으로 발생되는 광량 변화에 따른 전류 변화를 측정하여 바이오 항원을 검출하는 반응 검출부를 포함하는 비표지식 바이오센서
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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제 1 항에 있어서, 상기 반응 검출부는 상기 기판상에 형성되어 광을 방출하는 발광부;상기 발광부로부터 입사된 광을 전달하는 광파이버; 및상기 기판상에 형성되어 상기 광파이버로부터 광을 흡수하여 전류로 변환하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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제 3 항에 있어서, 상기 발광부는정공을 주입하는 정공 주입층; 전자와 정공을 결합시켜 광을 방출하는 발광층; 및상기 발광층으로 전자를 주입하는 전자 주입층이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 비표지식 일체형 방이오센서
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제 4 항에 있어서, 상기 전자 주입층은 n형 실리콘 카바이드계 또는 실리콘 카본 나이트라이드계 박막으로 형성되고, 상기 정공 주입층은 p형 실리콘 카바이드계 또는 실리콘 카본 나이트라이드계 박막으로 형성되며, 상기 발광층은 실리콘 나노 결정을 포함하는 실리콘 나이트라이드(SiNX)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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제 3 항에 있어서, 상기 수광부는 정공을 도핑시키는 정공 도핑층;상기 발광부로부터 흡수된 광으로 전자와 정공을 생성시키는 광전 변환층; 및전자를 도핑시키는 전자 도핑층이 적층되어 형성되는 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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제 6 항에 있어서, 상기 광전 변환층은 실리콘 나노 결정을 포함하는 실리콘 나이트라이드(SiNX)로 형성되고, 상기 전자 도핑층은 n형 실리콘 카바이드계 또는 실리콘 카본 나이트라이드계 박막으로 형성되며, 상기 정공 도핑층은 p형 실리콘 카바이드계 또는 실리콘 카본 나이트라이드계 박막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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제 1 항에 있어서, 상기 반응 유도부는 유체에 존재하는 바이오 항원과 반응하여 결합하는 바이오 항체가 형성되어 바이오 항원-항체 반응에 의해 광량을 변화시키는 광자결정; 및상기 광자결정으로 유체의 흐름을 유도하는 마이크로 플루이딕 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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제 8 항에 있어서, 상기 광자결정은 상기 반응 검출부에 나노 크기로 돌출되어 주기적으로 배열되고, 높이가 1 ~ 1000nm이고, 폭이 1 ~ 1,000nm이며, 주기가 1 ~ 10,000nm로 형성되는 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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10
제 8 항에 있어서, 상기 마이크로 플루이딕 채널은 실리콘이나, 유기물 또는 PDMS(polydimethylsiloxane)로 형성되는 것을 특징으로 하는 비표지식 바이오센서
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