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초고경도 CrAIBN 나노 다층박막 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014044972
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 크롬질화물(CrN)막층과 알루미늄 붕소질화물(AlBN)막층으로 구성된 박막 단위체가 복수로 적층된 다층 박막인 것을 특징으로 하는 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막 및 그의 제조방법은 초고경도의 CrAlBN 다층 박막을 형성함으로써 기존의 기술보다 경도, 내구성, 내마모성 등이 향상된 높은 표면 보호용 박막층을 제공할 수 있으며, 고온 산화에 기인한 물성 저하가 발생할 수 있는 다양한 소재 즉, 금형, 공구, 플라스틱 및 다양한 기계부품의 표면 보호 코팅 소재로 이용할 수 있는 효과가 있다.초고경도, CrAlBN, 나노 다층박막, 음극아크증착
Int. CL C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01) C23C 14/06(2013.01)
출원번호/일자 1020090064874 (2009.07.16)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1132082-0000 (2012.03.23)
공개번호/일자 10-2011-0007377 (2011.01.24) 문서열기
공고번호/일자 (20120402) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김선규 대한민국 울산광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 에이치엠피 대한민국 서울특별시 중구 세종대로*길 **, *층 (서소문동, 부영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 울산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0432944-54
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0042437-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0365684-22
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0587326-07
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0587327-42
7 등록결정서
Decision to grant
2012.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0093681-73
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0144000-40
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-0057072-80
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5176374-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
질소 분위기 하에서 크롬 원자를 증착하여 크롬질화물(CrN)막층을 형성하는 단계; 및상기 크롬질화물막층 상부에 AlB를 증착하여 알루미늄 붕소질화물(AlBN)막층을 형성하는 단계를 포함하는 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 크롬질화물(CrN)막층과 알루미늄 붕소질화물(AlBN)막층으로 이루어진 박막 단위체의 두께는 1 ~ 20 nm인 것을 특징으로 하는 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 증착은 음극아크증착을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막의 제조방법
4 4
제3항에 있어서,크롬 음극 아크 전류는 50 ~ 60A, AlB 음극 아크 전류는 30 ~ 60A, 바이어스 전압은 -50 ~ -200V인 것을 특징으로 하는 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막의 제조방법
5 5
크롬질화물(CrN)막층과 알루미늄 붕소질화물(AlBN)막층으로 구성된 박막 단위체가 하나 이상 적층된 다층 박막인 것을 특징으로 하는 초고경도 CrAlBN 나노 다층박막
6 6
삭제
7 7
제5항에 있어서,상기 크롬질화물막층은 크롬이 15 ~ 35 원자% 포함되고, 상기 알루미늄 붕소질화물막층은 알루미늄이 5 ~ 35 원자%, 붕소가 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.