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기판;상기 기판을 가공하여 형성된 음향 챔버;상기 음향 챔버 위에 형성되고 상기 기판에 고정되어 있는 하부 전극;상기 하부 전극 위에 상기 하부 전극과 일정 간격만큼 이격되어 형성된 진동판; 및상기 진동판의 중앙에 형성된 진동판 배기 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제1항에 있어서,상기 음향 챔버는 상기 기판의 후면을 식각하여 상기 기판을 관통해 상기 하부 전극 아래에 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제1항에 있어서,상기 음향 챔버는 상기 기판의 전면을 식각하여 상기 기판 내에서 미리 결정된 깊이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제1항에 있어서, 상기 하부 전극은 미리 결정된 패턴을 가지고 형성된 배기 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제1항에 있어서, 상기 하부 전극과 상기 음향 챔버의 바닥 사이에 형성되어 상기 하부 전극의 쳐짐을 막는 하부 전극 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제1항에 있어서,상기 진동판은 상기 기판에 연결 및 부착하기 위한 진동판 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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7
제6항에 있어서, 상기 진동판 지지대는 상기 진동판의 상하좌우 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제7항에 있어서, 상기 진동판 지지대가 형성되는 상기 진동판의 상하좌우 측면에 인접하여 형성된 배기 구멍을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제1항에 있어서,상기 진동판 배기 구멍은 상기 진동판 상에 2개 이상의 배기 구멍의 조합이 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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제1항에 있어서,상기 진동판 배기 구멍의 크기, 모양 및 위치를 조절함으로써 상기 진동판에 가해지는 감쇄의 정도를 조절하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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11
제1항에 있어서,상기 진동판은 상기 하부 전극과 동일하거나 더 큰 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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