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무연 압전박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014045110
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 납 성분을 포함하지 않는 Bi0.5Na0.5Ti1-xMnxO3(BNTMn-x, 여기서 x = 0∼0.01)의 화학식을 갖는 조성물이 포함된 졸(sol) 용액을 합성하고, 이를 스핀코팅 방법으로 기판 위에 박막을 증착하여 무연 압전박박을 형성하는 무연 압전박막의 제조방법에 관한 것으로서, 이와 같이 졸겔법에 의해 압전박막을 형성하게 되면 박막 내의 결정 성장이 양호하게 이루어지기 때문에 종래의 PZT 박막에 근접한 수준의 압전 변형률을 가질 수 있게 된다.
Int. CL H03H 9/17 (2006.01) H01L 41/08 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC H03H 3/02(2013.01) H03H 3/02(2013.01) H03H 3/02(2013.01) H03H 3/02(2013.01) H03H 3/02(2013.01) H03H 3/02(2013.01)
출원번호/일자 1020110000213 (2011.01.03)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1306454-0000 (2013.09.03)
공개번호/일자 10-2012-0078912 (2012.07.11) 문서열기
공고번호/일자 (20130909) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김일원 대한민국 울산광역시 남구
2 안창원 대한민국 울산광역시 중구
3 원성식 대한민국 울산광역시 남구
4 장기봉 대한민국 울산광역시 동구
5 채송아 대한민국 울산광역시 남구
6 이순규 대한민국 부산광역시 북구
7 최해윤 대한민국 부산광역시 연제구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 에이치엠피 대한민국 서울특별시 중구 세종대로*길 **, *층 (서소문동, 부영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 울산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0001740-19
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0047976-77
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0144000-40
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.08.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2012-0071523-70
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0280079-73
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0549767-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0673313-23
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0673314-79
10 등록결정서
Decision to grant
2013.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0589759-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-0057072-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5176374-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Bi0
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 스핀코팅에 의한 증착과정에는 상기 졸 용액 내의 용매를 증발시키기 위한 열처리 및 결정화를 위한 열처리 과정이 포함되고, 상기 졸 용액에는 비스무스가 10 mole% 과량 첨가된 것을 특징으로 하는 압전박막의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 기판은 Pt(111)/TiO2/SiO2/Si의 다층으로 적층된 기판인 것을 특징으로 하는 압전박막의 제조방법
5 5
제1항, 제3항 및 제4항 중 어느 한 항에 따른 제조방법에 의해 만들어진 무연 압전박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 울산대학교 산학협력단 지역혁신인력양성사업 Actuator와 MEMS용 무연계 압전소자 개발연구