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플렉시블(flexible) PCB 기판;상기 플렉시블 PCB 기판 상에 위치한 하부 전극;상기 하부 전극 상에 증착된 압전체; 및상기 압전체 상에 형성된 상부 전극을 포함하되,상기 압전체는:중앙부; 및상기 중앙부로부터 평면적으로 돌출된 캔틸레버 구조들을 포함하고,상기 캔틸레버 구조들 상에 서로 다른 질량들을 갖는 가장자리 질량체들이 각각 제공되는 자급자족형 전원 공급 장치
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제1항에 있어서, 상기 하부 전극은 포토리소그래피 공정을 이용하여 미세 패터닝하고 습식 식각법으로 식각되어 형성되는 것인 자급자족형 전원 공급 장치
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제1항에 있어서, 상기 상부 전극은 스텐실 마스크(stencil mask)를 이용하여 패턴 형성되는 것인 자급자족형 전원 공급 장치
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제1항에 있어서, 상기 압전체는 스텐실 마스크 또는 스크린프린팅 방법을 이용하여 상기 하부 전극 상에 증착되는 것인 자급자족형 전원 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 캔틸레버 구조들의 각각과 상기 가장자리 질량체들의 각각 사이에 상기 상부 전극이 배치되는 자급자족형 전원 공급 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 압전체의 상기 중앙부 상에 중앙 질량체가 제공되는 자급자족형 전원 공급 장치
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제1항에 있어서, 상기 압전체는 복수의 토션 바(tortion bar) 기능을 하는 캔틸레버 구조를 갖는 것인 자급자족형 전원 공급 장치
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제 6 항에 있어서,상기 중앙 질량체는:상기 PCB 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라 연장되는 제1 부분; 및상기 제1 방향에 교차하고 상기 PCB 기판의 상기 상면에 평행한 제2 방향을 따라 연장되는 제2 부분을 포함하는 자급자족형 전원 공급 장치
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제1항에 있어서, 상기 자급자족형 전원 공급 장치는 진동을 발생시키는 장치에 부착되고, 상기 진동 발생 장치에 의한 진동에 의해 전기를 발생시키는 것인 자급자족형 전원 공급 장치
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제1항에 있어서, 전파 정류기 및 전압 레귤레이터를 더 포함하는 자급자족형 전원 공급 장치
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플렉시블(flexible) PCB 기판;상기 플렉시블 PCB 기판 상에 위치한 하부 전극;상기 하부 전극 상에 증착된 압전체;상기 압전체 상에 형성된 상부 전극; 및상기 상부 전극 및 상기 하부 전극에 의해 수집된 전기를 전원으로 이용하는 센서를 포함하되,상기 압전체는:중앙부; 및상기 중앙부로부터 평면적으로 돌출된 캔틸레버 구조들을 포함하고,상기 캔틸레버 구조들 상에 서로 다른 질량들을 갖는 가장자리 질량체들이 각각 제공되는 자급자족형 센서 노드
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제11항에 있어서, 상기 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극에 의해 수집된 전기를 전원으로 이용하는 LED 소자를 더 포함하는 것인 자급자족형 센서 노드
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제11항에 있어서, 상기 센서는 타이어 압력 모니터링 시스템(TPMS) 센서인 것인 자급자족형 센서 노드
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제11항에 있어서, 상기 센서는 온도 센서, 습도 센서, 가스 센서 및 풍속 센서 중 적어도 하나를 포함하는 것인 자급자족형 센서 노드
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제11항에 있어서, 상기 센서에 측정된 값을 무선으로 전송하기 위한 안테나를 더 포함하는 것인 자급자족형 센서 노드
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플렉시블 PCB 기판 상에 캔틸레버 구조들을 갖는 하부 전극을 형성하는 단계;상기 하부 전극 상에 압전체를 증착하는 단계; 상기 압전체 상에 상부 전극을 형성하는 단계; 및상기 상부 전극 상에 서로 다른 질량들을 갖는 가장자리 질량체들을 형성하는 단계를 포함하되,상기 캔틸레버 구조들은 상기 하부 전극의 중앙부로부터 평면적으로 돌출되고, 상기 가장자리 질량체들은 상기 캔틸레버 구조들과 수직적으로 중첩되는 자급자족형 전원 공급 장치 제조 방법
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캔틸레버 구조들을 갖는 하부 전극을 형성하고, 상기 하부 전극 상에 압전체를 증착하고, 상기 압전체 상에 상부 전극을 형성함으로써 압전 소자를 제작하는 단계; 상기 상부 전극 상에 서로 다른 질량들을 갖는 가장자리 질량체들을 형성하는 단계; 및상기 압전 소자를 전자 회로 부품이 탑재된 플렉시블 PCB 기판에 탑재하는 단계를 포함하되,상기 캔틸레버 구조들은 상기 하부 전극의 중앙부로부터 평면적으로 돌출되고, 상기 가장자리 질량체들은 상기 캔틸레버 구조들과 수직적으로 중첩되는 자급자족형 전원 공급 장치 제조 방법
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