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기판의 전면에 직접 증착되어 테라헤르츠 연속파를 발생시키는 광전도체 박막 패턴;상기 광전도체 박막 패턴에 형성되어 상기 광전도체 박막 패턴에 DC 바이어스 전압을 인가하는 금속 전극; 및상기 기판의 후면에 형성되어 상기 광전도체 박막 패턴에서 방사되는 테라헤르츠 연속파를 집속시키는 집속 메타소재 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 고저항 실리콘 기판 또는 InP 기판인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 1 항에 있어서, 상기 광전도체 박막 패턴은 다결정 InGaAs 박막인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 1 항에 있어서, 상기 광전도체 박막 패턴은 이온 주입된 단결정 InGaAs 박막인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 1 항에 있어서, 상기 기판에 방사 방향으로 링 형태로 형성되어 표면파를 차단하고 방사 에너지를 집속시키는 전력 향상 안테나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 1 항에 있어서, 상기 집속 메타소재 렌즈와 이격되어 상기 집속 메타소재 렌즈의 초점을 조절하여 물체의 3차원 영상을 얻을 수 있도록 하는 집속 정렬 메타소재 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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7
제 6 항에 있어서, 상기 집속 정렬 메타소재 렌즈에 형성되어 상기 집속 정렬 메타소재 렌즈로부터 방사되는 테라헤르츠 연속파의 지향성 특성과 물체의 3차원 영상을 얻을 수 있도록 하는 초반구형 집속렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 7 항에 있어서, 상기 초반구형 집속렌즈는 고저항 실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 8 항에 있어서, 상기 초반구형 집속렌즈와 이격되어 상기 초반구형 집속렌즈로부터 방사되는 테라헤르츠 연속파를 집속시키는 테라헤르츠파 집속렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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10
제 1 항에 있어서, 상기 집속 메타소재 렌즈에 설치되어 상기 집속 메타소재 렌즈의 테라헤르츠 연속파를 방사하는 혼 안테나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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제 1 항에 있어서, 상기 집속 메타소재 렌즈와 이격되고 상기 집속 메타소재 렌즈의 초점을 조절하여 물체의 3차원 영상을 얻을 수 있도록 하는 초점을 조절하는 집속 정렬 메타소재 렌즈; 및 상기 집속 정렬 메타소재 렌즈에 설치되어 상기 집속 정렬 메타소재 렌즈로부터 방사되는 테라헤르츠 연속파를 방사하는 혼 안테나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈
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기판의 전면에 광전도체 박막을 직접 증착하는 단계;상기 광전도체 박막을 패터닝하여 광전도체 박막 패턴을 형성하는 단계; 및상기 광전도체 박막 패턴에 금속전극을 형성하는 단계를 포함하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 기판의 후면에 제1금속패턴을 형성하는 단계; 상기 기판의 후면과 상기 제1금속패턴 위에 제1질화막을 형성하는 단계; 상기 제1질화막 위에 제2금속패턴을 형성하는 단계; 및상기 제1질화막과 상기 제2금속패턴 위에 제2질화막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 기판의 전면과 상기 광전도체 박막 패턴 위에 제3질화막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 기판은 고저항 실리콘 기판 또는 InP 기판인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 광전도체 박막 패턴은 다결정 InGaAs 박막인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 광전도체 박막 패턴은 이온 주입된 단결정 InGaAs 박막인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 연속파 발생용 집적형 안테나 소자 모듈의 제조방법
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