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원자간력 현미경(AFM)을 이용한 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 나노포지셔닝 기판의 제조장치 및 제조방법
- 기술번호 : KST2014046132
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 원자간력 현미경 이미징 수행방법인 딥-펜 나노리소그래피 기술에 관한 것으로, 더 상세하게는, 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 잉크 시스템의 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 원자간력 현미경 이미징 수행 방법에 있어서, 팁을 잉크로 코팅하는 제 1 잉크저장부 및 제 2 잉크저장부와, 잉크가 코팅된 팁을 세척하는 제 1 세척부 및 제 2 세척부와, 팁을 기판에 새기는 패턴 색인부와, 전압을 걸어주는 전극 연결부와, 코팅된 팁이 ㎛ 스케일의 면적에서 위치를 확인하거나 위치를 결정하는 위치 확인부를 포함하고, 상기 위치 확인부는, 전압-전류의 변화, 전압에 따른 AFM 팁의 휨정도, AFM 이미지를 통해 위치를 확인하도록 구성되어, 원자간력 현미경 팁의 위치 재현성을 이용하여 다중 바이오 물질을 기판에 집적함으로써, ㎛ 스케일의 면적에서 바이오 물질의 밀도를 높일 수 있는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 잉크 시스템의 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 그 방법이 제공된다. |
|---|---|
| Int. CL | G01Q 60/00 (2010.01) G01N 35/00 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G01N 33/48 (2006.01) |
| CPC | G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) G01N 33/48(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020110057070 (2011.06.13) |
| 출원인 | 한국생명공학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1345337-0000 (2013.12.19) |
| 공개번호/일자 | 10-2012-0137909 (2012.12.24) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20131230) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.05.21) |
| 심사청구항수 | 32 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국생명공학연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 하태환 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 박지은 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이원희 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국생명공학연구원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.06.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0444984-54 |
| 2 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2012.05.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0403444-51 |
| 3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.07.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0473518-97 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.08.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0740305-18 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.08.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0740304-73 |
| 6 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.12.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0875779-14 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0007152-08 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 원자간력 현미경(Atomic Force Microscope ; AFM)을 이용한 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치에 있어서, 기판과, 상기 기판에 패턴을 새기기 위한 AFM 팁과, 상기 AFM 팁에 잉크를 적재하기 위한 제 1 잉크저장부와, 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁의 위치를 확인하거나 이동할 위치를 결정하는 위치 확인부와, 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁으로 상기 기판에 패턴을 새기는 부분인 패턴 색인부와, 상기 패턴 색인부에 패턴을 새기고난 후 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁을 세척하는 제 1 세척부와, 상기 제 1 세척부에서 세척된 상기 AFM 팁에 잉크를 재적재하는 제 2 잉크저장부와, 상기 제 2 잉크저장부의 잉크로 재적재된 상기 AFM 팁을 이용하여 다시 상기 패턴 색인부에 패턴을 새긴 후에 상기 AFM 팁을 재세척하는 제 2 세척부와, 상기 AFM 팁 및 상기 위치 확인부에 전압을 인가하는 전극연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 적재된 잉크 각각은 동일하거나 다른 종류의 화합물일 수 있으며, 상기 화합물은 저분자 화합물 또는 DNA와 단백질을 포함한 생체 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부는 각각 2개 이상의 잉크 저장소를 포함하여 구성됨으로써, 상기 AFM 팁에 상기 잉크를 반복하여 확실하게 적재하거나, 상기 AFM 팁에 적재된 잉크의 양을 조절할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서, 상기 위치 확인부는, 상기 AFM 팁이 기존에 패턴이 형성된 지점으로 이동하여 원하는 위치로 이동하는 상기 AFM 팁의 위치 재현성을 구현하기 위해 기판상에 위치 기준점을 형성하여 잉크를 적재한 상기 AFM 팁의 원점 역할을 수행하고, 상기 위치확인부는, 전압-전류의 변화, 전압에 따른 상기 AFM 팁의 휨 정도, AFM 이미지를 통해 위치를 확인하여, 정렬된 상기 AFM 팁을 이용하여 잉크를 교체할 때마다 원점을 확인함으로써, 수 ㎛에서 수십 ㎛ 크기의 패턴 색인부의 면적에서 조밀하게 색인 또는 패턴형성이 가능하며, 간격 없이 동일한 위치에서도 색인 또는 적층이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 위치확인부의 상기 위치 기준점은, 원뿔형, 사각뿔, 삼각뿔, 원형을 포함하는 형태의 3차원의 나노구조체로서 형성되고, 상기 나노구조체는, 금(Au), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 전극으로 구성되며, 상기 제 1 잉크저장부 및 상기 제 2 잉크저장부에 형성된 금(Au), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 전극 위에 하이드로젤을 형성함으로써, 전압-전류의 조정에 따른 상기 잉크의 이동을 통하여 상기 AFM 팁의 세척과 새로운 잉크의 적재과정이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 6 |
6 제 1항에 있어서, 상기 패턴 색인부와 상기 위치 확인부는, 외부전원과 연결하기 위해 상용하는 전자빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 금 전극을 형성할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 7 |
7 제 1항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 세척부는, 적어도 2개 이상의 세척부를 포함하여 상기 AFM 팁을 반복 세척함으로써 다음 잉크의 적재를 용이하게 하도록 구성되고, 상기 제 1 및 제 2 세척부는, 수용액 또는 유기용매를 이용하여 상기 AFM 팁의 세척과정을 수행하며, 전압을 인가함으로써 기존에 적재된 잉크를 제거하는 세척과정이 촉진되거나, 특정한 바이오 물질간의 반응을 통해 새로운 종의 화합물을 제조하거나, 또는, 잉크로 사용된 생체고분자 물질의 화학적, 물리적 변형이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서, 상기 전극 연결부는, 상기 제 1 및 2 세척부와 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 전압을 인가하기 위하여 외부전원에 연결하기 위해, 전도성 접착제 또는 납땜을 이용하여 상용하는 전선과 연결되는 부위로서 구성되는 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 9 |
9 제 1항에 있어서, 상기 기판은, 실리콘, 실리콘 고무, 실리콘 레진, 폴리다이메틸실록산 또는 유리기판을 포함하고, 상기 기판은, 볼록하거나 파인 홈 구조인 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 10 |
10 기판과, AFM 팁과, 상기 AFM 팁에 잉크를 적재하기 위한 제 1 잉크저장부와, 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁의 위치를 확인하거나 이동할 위치를 결정하는 위치 확인부와, 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁으로 기판에 패턴을 새기는 부분인 패턴 색인부와, 상기 패턴 색인부에 패턴을 새기고난 후 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁을 세척하는 제 1 세척부와, 상기 제 1 세척부에서 세척된 상기 AFM 팁에 잉크를 재적재하기 위한 제 2 잉크저장부와, 상기 제 2 잉크저장부의 잉크로 재적재된 상기 AFM 팁을 이용하여 다시 상기 패턴 색인부에 패턴을 새긴 후에 상기 AFM 팁을 재세척하는 제 2 세척부와, 상기 AFM 팁 및 상기 위치 확인부에 전압을 인가하는 전극연결부를 포함하여 구성되는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치를 이용하여 나노 포지셔닝 기판을 제조하는 나노 포지셔닝 기판 제조방법에 있어서, 상기 AFM 팁을 상기 제 1 잉크저장부에 위치하여 상기 AFM 팁에 잉크를 적재하는 단계(단계 1)와, 잉크가 적재된 상기 AFM 팁을 나노스테이지를 이용하여 상기 위치 확인부로 이동시키고 원점을 확인하는 단계(단계 2)와, 상기 위치 확인부에서 확인된 원점을 기준으로 상기 AFM 팁을 이동하여 상기 패턴 색인부에서 상기 기판에 딥-펜 나노리소그래피의 원리를 이용하여 원하는 패턴을 새기는 단계(단계 3)와, 패턴을 새긴 상기 AFM 팁을 상기 제 1 세척부로 이동하여 상기 AFM 팁을 세척하는 단계(단계 4)와, 세척된 상기 AFM 팁을 상기 제 2 잉크저장부에 접촉하여 새로운 화합물이나 생체 고분자물질을 두 번째 잉크로서 상기 AFM 팁에 적재하는 단계(단계 5)와, 상기 제 2 잉크저장부에서 새로운 화합물을 적재한 상기 AFM 팁을 나노스테이지를 이용하여 상기 위치 확인부로 이동시켜 원점을 확인하는 단계(단계 6)와, 확인된 상기 원점을 기준으로 상기 AFM 팁을 상기 패턴 색인부로 이동하여 상기 기판에 새롭게 적재된 잉크를 이용하여 기존의 패턴에 인접한 위치나 동일한 위치에 원하는 패턴을 새기는 단계(단계 7)와, 패턴을 새기고 난 상기 AFM 팁을 상기 제 2 세척부로 이동하여 다시 세척하는 단계(단계 8)와, 원하는 패턴이 완성될 때까지 상기 단계 1 내지 단계 8을 반복하는 단계(단계 9)를 포함하여 구성됨으로써, 한정된 상기 패턴 색인부의 면적에 다양한 잉크를 이용하여 밀집된 패턴을 형성할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 나노 포지셔닝 기판 제조방법 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부는 각각 2개 이상의 잉크 저장소를 포함하여 구성되고, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 적재된 잉크 각각은 동일하거나 다른 종류의 화합물일 수 있으며, 상기 화합물은 저분자 화합물 또는 DNA와 단백질을 포함하는 생체 고분자 물질이고,상기 제 1 및 제 2 잉크 저장부에서 상기 AFM 팁에 잉크를 적재하는 단계(단계 1 및 단계 5)는, 상기 AFM 팁에 잉크를 적재한 후 재차 확실하게 적재하거나, 상기 AFM 팁에 적재된 잉크의 양을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 12 |
12 제 10항에 있어서, 상기 위치확인부는, 원뿔형, 사각뿔, 삼각뿔, 원형을 포함하는 형태의 3차원의 나노구조체로서 형성되는 위치 기준점을 포함하고, 상기 나노구조체는, 금(Au), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 전극으로 구성되며, 상기 원점을 확인하는 단계는, 상기 AFM 팁과 상기 위치 확인부에 인가된 전압에 따른 전류특성 또는 상기 AFM 팁의 휨 정도에 따라 나노스테이지를 구동하여 상기 AFM 팁을 비접촉식의 방법으로 상기 위치 확인부의 원뿔형 나노구조체의 첨단에 위치시키거나, 또는, 상기 위치 확인부 근처에서 접촉식으로 AFM 이미지를 획득하여 상기 AFM 팁을 상기 원뿔형 나노구조체의 첨단에 위치시킴으로써 상기 원점을 확인하는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 13 |
13 제 10항에 있어서, 상기 패턴 색인부와 상기 위치 확인부는, 외부전원과 연결하기 위해 상용하는 전자빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 금 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 14 |
14 제 10항에 있어서, 상기 AFM 팁의 세척과정은, 상기 제 1 및 제 2 세척부가 적어도 2개 이상의 세척부를 포함하여 상기 AFM 팁을 반복 세척함으로써 다음 잉크의 적재를 용이하게 하도록 구성되고, 상기 AFM 팁의 세척과정은, 유기용매 또는 수용액의 방울이 형성된 상기 제 1 및 제 2 세척부의 전극과의 접촉을 통해서 이루어지며, 상기 제 1 및 제 2 세척부와 상기 AFM 팁 사이에 전압을 인가하여 상기 세척과정을 촉진할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 15 |
15 제 10항에 있어서, 상기 제 1 및 2 세척부와 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 전압을 인가하기 위하여 외부전원에 연결하기 위한 상기 전극 연결부는, 전도성 접착제 또는 납땜을 이용하여 상용하는 전선과 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 16 |
16 제 10항에 있어서, 상기 기판은, 실리콘, 실리콘 고무, 실리콘 레진, 폴리다이메틸실록산 또는 유리기판을 포함하고, 상기 기판은, 볼록하거나 파인 홈 구조인 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 17 |
17 원자간력 현미경(AFM)을 이용한 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치에 있어서, 기판과, 상기 기판에 패턴을 새기기 위한 2개 이상의 AFM 팁과, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 AFM 팁에 잉크를 적재하기 위한 2개 이상의 제 1 잉크저장부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁의 위치를 확인하거나 이동할 위치를 결정하는 2개 이상의 위치 확인부와, 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁으로 기판에 패턴을 새기는 부분인 패턴 색인부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 패턴 색인부에 패턴을 새기고난 후의 상기 AFM 팁을 세척하는 2개 이상의 제 1 세척부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 제 1 세척부에서 세척된 상기 AFM 팁에 잉크를 재적재하기 위한 2개 이상의 제 2 잉크저장부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하고, 각각의 상기 제 2 잉크저장부에서 잉크가 재적재된 각각의 상기 AFM 팁을 이용하여 다시 상기 패턴 색인부에 패턴을 새긴 후에, 각각의 상기 AFM 팁을 재세척하는 2개 이상의 제 2 세척부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 AFM 팁 및 상기 위치 확인부에 각각 전압을 인가하는 2개 이상의 전극연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 18 |
18 제 17항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 적재된 잉크 각각은 동일하거나 다른 종류의 화합물일 수 있으며, 상기 화합물은 저분자 화합물 또는 DNA와 단백질을 포함하는 생체 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 19 |
19 제 17항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부는 각각 2개 이상의 잉크 저장소를 포함하여 구성됨으로써, 상기 AFM 팁에 상기 잉크를 반복하여 확실하게 적재하거나, 상기 AFM 팁에 적재된 잉크의 양을 조절할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 20 |
20 제 17항에 있어서, 각각의 상기 위치 확인부는, 각각의 상기 AFM 팁이 기존에 패턴이 형성된 지점으로 이동하여 원하는 위치로 이동하는 상기 AFM 팁의 위치 재현성을 구현하기 위해 기판상에 위치 기준점을 형성하여 잉크를 적재한 상기 AFM 팁의 원점 역할을 수행하고, 각각의 상기 위치확인부는, 전압-전류의 변화, 전압에 따른 상기 AFM 팁의 휨 정도, AFM 이미지를 통해 위치를 확인하여, 정렬된 상기 AFM 팁을 이용하여 잉크를 교체할 때마다 원점을 확인함으로써, 수 ㎛에서 수십 ㎛ 크기의 패턴 색인부의 면적에서 조밀하게 색인 또는 패턴형성이 가능하며, 간격 없이 동일한 위치에서도 색인 또는 적층이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 21 |
21 제 20항에 있어서, 각각의 상기 위치확인부의 상기 위치 기준점은, 원뿔형, 사각뿔, 삼각뿔, 원형을 포함하는 형태의 3차원의 나노구조체로서 형성되고, 상기 나노구조체는, 금(Au), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 전극으로 구성되며, 각각의 상기 제 1 잉크저장부 및 상기 제 2 잉크저장부에 형성된 금(Au), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 전극 위에 하이드로젤을 형성함으로써, 전압-전류의 조정에 따른 상기 잉크의 이동을 통하여 상기 AFM 팁의 세척과 새로운 잉크의 적재과정이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 22 |
22 제 17항에 있어서, 각각의 상기 패턴 색인부와 각각의 상기 위치 확인부는, 외부전원과 연결하기 위해 상용하는 전자빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 금 전극을 형성할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 23 |
23 제 17항에 있어서, 각각의 상기 제 1 및 제 2 세척부는, 2개 이상의 세척부를 포함하여 각각의 상기 AFM 팁을 반복 세척함으로써 다음 잉크의 적재를 용이하게 하도록 구성되고, 각각의 상기 제 1 및 제 2 세척부는, 수용액 또는 유기용매를 이용하여 각각의 상기 AFM 팁의 세척과정을 수행하며, 전압을 인가함으로써 기존에 적재된 잉크를 제거하는 세척과정이 촉진되거나, 특정한 바이오 물질간의 반응을 통해 새로운 종의 화합물을 제조하거나, 또는, 잉크로 사용된 생체고분자 물질의 화학적, 물리적 변형이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
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24 제 17항에 있어서, 각각의 상기 전극 연결부는, 각각의 상기 제 1 및 2 세척부와 각각의 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 전압을 인가하기 위하여 외부전원에 연결하기 위해, 전도성 접착제 또는 납땜을 이용하여 상용하는 전선과 연결되는 부위로서 구성되는 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 25 |
25 제 17항에 있어서, 상기 기판은, 실리콘, 실리콘 고무, 실리콘 레진, 폴리다이메틸실록산 또는 유리기판을 포함하고, 상기 기판은, 볼록하거나 파인 홈 구조인 것을 특징으로 하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 |
| 26 |
26 기판과, 상기 기판에 패턴을 새기기 위한 2개 이상의 AFM 팁과, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 AFM 팁에 잉크를 적재하기 위한 2개 이상의 제 1 잉크저장부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁의 위치를 확인하거나 이동할 위치를 결정하는 2개 이상의 위치 확인부와, 상기 잉크가 적재된 상기 AFM 팁으로 기판에 패턴을 새기는 부분인 패턴 색인부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 패턴 색인부에 패턴을 새기고난 후의 상기 AFM 팁을 세척하는 적어도 2 이상의 제 1 세척부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 제 1 세척부에서 세척된 상기 AFM 팁에 잉크를 재적재하는 2개 이상의 제 2 잉크저장부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하고, 각각의 상기 제 2 잉크저장부에서 잉크가 재적재된 각각의 상기 AFM 팁을 이용하여 다시 상기 패턴 색인부에 패턴을 새긴 후에, 각각의 상기 AFM 팁을 재세척하는 적어도 2 이상의 제 2 세척부와, 각각의 상기 AFM 팁에 대응하여 상기 AFM 팁 및 상기 위치 확인부에 각각 전압을 인가하는 2개 이상의 전극연결부를 포함하는 딥-펜 나노리소그래피에서의 다중 팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치를 이용하여 나노포지셔닝 기판을 제조하는 나노포지셔닝 기판 제조방법에 있어서, 각각의 상기 AFM 팁을 각각의 상기 제 1 잉크저장부에 위치하여 상기 AFM 팁에 잉크를 각각 적재하는 단계(단계 1)와, 잉크가 적재된 각각의 상기 AFM 팁을 나노스테이지를 이용하여 각각의 상기 위치 확인부로 이동시키고 원점을 확인하는 단계(단계 2)와, 각각의 상기 위치 확인부에서 확인된 원점을 기준으로 각각의 상기 AFM 팁을 이동하여 상기 패턴 색인부에서 상기 기판에 딥-펜 나노리소그래피의 원리를 이용하여 원하는 패턴을 새기는 단계(단계 3)와, 패턴을 새긴 각각의 상기 AFM 팁을 각각의 상기 제 1 세척부로 이동하여 상기 AFM 팁을 각각 세척하는 단계(단계 4)와, 세척된 각각의 상기 AFM 팁을 각각의 상기 제 2 잉크저장부에 접촉하여 새로운 화합물이나 생체 고분자물질을 두 번째 잉크로서 상기 AFM 팁에 각각 적재하는 단계(단계 5)와, 각각의 상기 제 2 잉크저장부에서 새로운 화합물로 적재한 각각의 상기 AFM 팁을 나노스테이지를 이용하여 각각의 상기 위치 확인부로 이동시켜 원점을 확인하는 단계(단계 6)와, 확인된 상기 원점을 기준으로 각각의 상기 AFM 팁을 상기 패턴 색인부로 이동하여 새롭게 적재된 잉크를 이용하여 상기 기판에 기존의 패턴에 인접한 위치나 동일한 위치에 원하는 패턴을 새기는 단계(단계 7)와, 패턴을 새기고 난 각각의 상기 AFM 팁을 각각의 상기 제 2 세척부로 이동하여 다시 세척하는 단계(단계 8)와, 원하는 패턴이 완성될 때까지 상기 단계 1 내지 단계 8을 반복하는 단계(단계 9)를 포함하여 구성됨으로써, 한정된 상기 패턴 색인부의 면적에 다양한 잉크를 이용하여 밀집된 패턴을 형성할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 나노 포지셔닝 기판 제조방법 |
| 27 |
27 제 26항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부는 각각 2개 이상의 잉크 저장소를 포함하여 구성되고, 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 적재된 잉크 각각은 동일하거나 다른 종류의 화합물일 수 있으며, 상기 화합물은 저분자 화합물 또는 DNA와 단백질을 포함한 생체 고분자 물질이고, 상기 제 1 및 제 2 잉크 저장부에서 각각의 상기 AFM 팁에 잉크를 적재하는 단계(단계 1 및 단계 5)는, 상기 AFM 팁에 잉크를 적재한 후 재차 확실하게 적재하거나, 상기 AFM 팁에 적재된 잉크의 양을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 28 |
28 제 26항에 있어서, 각각의 상기 위치확인부는, 원뿔형, 사각뿔, 삼각뿔, 원형을 포함하는 형태의 3차원의 나노구조체로서 형성되는 위치 기준점을 각각 포함하고, 상기 나노구조체는, 금(Au), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 전극으로 구성되며, 상기 원점을 확인하는 단계는, 각각의 상기 AFM 팁과 각각의 상기 위치 확인부에 인가된 전압에 따른 전류특성 또는 각각의 상기 AFM 팁의 휨 정도에 따라 나노스테이지를 구동하여 각각의 상기 AFM 팁을 비접촉식의 방법으로 각각의 상기 위치 확인부의 원뿔형 나노구조체의 첨단에 위치시키거나, 또는, 각각의 상기 위치 확인부 근처에서 접촉식으로 AFM 이미지를 획득하여 각각의 상기 AFM 팁을 상기 원뿔형 나노구조체의 첨단에 각각 위치시킴으로써 상기 원점을 확인하는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 29 |
29 제 26항에 있어서, 각각의 상기 패턴 색인부와 각각의 상기 위치 확인부는, 외부전원과 연결하기 위해 상용하는 전자빔 증착기(E-beam evaporator)를 이용하여 금 전극을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 30 |
30 제 26항에 있어서, 각각의 상기 AFM 팁의 세척과정은, 각각의 상기 제 1 및 제 2 세척부가 2개 이상의 세척부를 포함하여 각각의 상기 AFM 팁을 반복 세척함으로써 다음 잉크의 적재를 용이하게 하도록 구성되고, 각각의 상기 AFM 팁의 세척과정은, 유기용매 또는 수용액의 방울이 형성된 각각의 상기 제 1 및 제 2 세척부의 전극과의 접촉을 통해서 이루어지며, 각각의 상기 제 1 및 제 2 세척부와 각각의 상기 AFM 팁 사이에 전압을 인가하여 상기 세척과정을 촉진할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 31 |
31 제 26항에 있어서, 각각의 상기 제 1 및 2 세척부와 각각의 상기 제 1 및 제 2 잉크저장부에 전압을 인가하기 위하여 외부전원에 연결하기 위한 각각의 상기 전극 연결부는, 전도성 접착제 또는 납땜을 이용하여 상용하는 전선과 각각 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 32 |
32 제 26항에 있어서, 상기 기판은, 실리콘, 실리콘 고무, 실리콘 레진, 폴리다이메틸실록산 또는 유리기판을 포함하고, 상기 기판은, 볼록하거나 파인 홈 구조인 것을 특징으로 하는 나노포지셔닝 기판 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | EP02720040 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 2 | EP02720040 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 3 | US09403180 | US | 미국 | FAMILY |
| 4 | US20140134336 | US | 미국 | FAMILY |
| 5 | WO2012173343 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 6 | WO2012173343 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | EP2720040 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
| 2 | EP2720040 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
| 3 | EP2720040 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
| 4 | US2014134336 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 5 | US9403180 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 6 | WO2012173343 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 7 | WO2012173343 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 한국생명공학연구원 | 기초연구사업(일반) | 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일팁-다중 잉크 시스템을 위한 zero-reference 나노구조체 개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
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- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1345337-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20110613 출원 번호 : 1020110057070 공고 연월일 : 20131230 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131217 청구범위의 항수 : 32 유별 : G01N 33/48 발명의 명칭 : 원자간력 현미경（ＡＦＭ）을 이용한 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20181220 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국생명공학연구원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 646,500 원 | 2013년 12월 20일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 520,800 원 | 2016년 12월 07일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 520,800 원 | 2017년 11월 07일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.06.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0444984-54 |
| 2 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2012.05.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0403444-51 |
| 3 | 의견제출통지서 | 2013.07.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0473518-97 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.08.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0740305-18 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.08.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0740304-73 |
| 6 | 등록결정서 | 2013.12.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0875779-14 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0007152-08 |
| 기술번호 | KST2014046132 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국생명공학연구원 |
| 기술명 | 원자간력 현미경(AFM)을 이용한 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 나노포지셔닝 기판의 제조장치 및 제조방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 원자간력 현미경 이미징 수행방법인 딥-펜 나노리소그래피 기술에 관한 것으로, 더 상세하게는, 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 잉크 시스템의 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 원자간력 현미경 이미징 수행 방법에 있어서, 팁을 잉크로 코팅하는 제 1 잉크저장부 및 제 2 잉크저장부와, 잉크가 코팅된 팁을 세척하는 제 1 세척부 및 제 2 세척부와, 팁을 기판에 새기는 패턴 색인부와, 전압을 걸어주는 전극 연결부와, 코팅된 팁이 ㎛ 스케일의 면적에서 위치를 확인하거나 위치를 결정하는 위치 확인부를 포함하고, 상기 위치 확인부는, 전압-전류의 변화, 전압에 따른 AFM 팁의 휨정도, AFM 이미지를 통해 위치를 확인하도록 구성되어, 원자간력 현미경 팁의 위치 재현성을 이용하여 다중 바이오 물질을 기판에 집적함으로써, ㎛ 스케일의 면적에서 바이오 물질의 밀도를 높일 수 있는 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 잉크 시스템의 나노포지셔닝 기판 제조장치 및 그 방법이 제공된다. |
| 개발상태 | 특허만신청(등록) |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 나노화학분석장비, 나노구조 분석장비, 산업용 SPM 장비, 연구용 SPM 복합장비, SPM 기반 진단 장비, Nano level 정밀 측정장비, Portable 나노 측정장비, 10nm 이하 화학, 구조적 물성특성 분석기술, 1nm 이하 나노형상 측정기술 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345146359 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0074388 |
| 연구과제명 | 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일팁-다중 잉크 시스템을 위한 zero-reference 나노구조체 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국생명공학연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200905~201204 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
| [1020110057070] | 원자간력 현미경(AFM)을 이용한 딥-펜 나노리소그래피에서의 단일 또는 다중팁을 이용한 나노포지셔닝 기판의 제조장치 및 제조방법 | 새창보기 |
|---|
중요키워드
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|---|---|---|
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| 심판사항 정보가 없습니다 |
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