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광경화형 수지 조성물 100 중량부에 대하여, 아크릴계 화합물 50~80 중량부, 실세스퀴옥산 10~50 중량부, 광경화성 이형제 0
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제1항에 있어서, 상기 아크릴계 화합물은 단관능성 모노머, 이관능성 모노머, 삼관능성 모노머, 다관능성 모노머 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광경화형 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 실세스퀴옥산은 아크릴레이트 또는 메타크릴레이트 기를 가지는 실세스퀴옥산 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광경화형 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 광경화성 이형제는 TEGO RAD 2300, TEGO RAD 2200N, EBECRYL 350 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광경화형 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 자외선 개시제는 2,2''-디메톡시-2-페닐아세토페논(DMPA, 2,2''-dimethoxy-2-phenylacetophenone), 2-하이드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온(HMPP, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-one), 2,4,6-트리메틸벤조일 디페닐포스핀 옥사이드(2,4,6-Trimethylbenzoyl-diphenylphosphine Oxide) 및 디페닐 2,4,6-트리메틸벤조일 포스핀 옥사이드(Diphenyl 2,4,6 - trimethyl benzoyl phosphine oxide) 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광경화형 수지 조성물
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제1항에 있어서, 상기 광경화형 수지 조성물의 점도는 500cP 이하인 것을 특징으로 하는 광경화형 수지 조성물
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다음 단계를 포함하는, 자기복제성 복제몰드의 제작방법:(a) 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 광경화형 수지 조성물을 마스터 몰드에 도포시키고, 그 위에 제1 투명기판을 위치시킨 다음, 자외선을 조사하고, 경화시켜 제1 복제몰드를 제조하는 단계; (b) 상기 제1 투명기판에 부착되어 있는 상기 제1 복제몰드를 마스터 몰드로부터 분리시키는 단계;(c) 상기 제1 복제몰드에 상기 광경화형 수지 조성물을 도포시키고, 그 위에 제2 투명기판을 위치시킨 다음, 자외선을 조사하고, 경화시켜 제2 복제몰드를 제조하는 단계; (d) 상기 제2 투명기판에 부착되어 있는 상기 제2 복제몰드를 상기 제1 복제몰드로부터 분리시키는 단계; 및(e) 상기 (c) 및 (d) 단계를 반복적으로 수행하여 자기복제성 복제몰드를 제조하는 단계
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다음 단계를 포함하는, 자기복제성 복제몰드의 제작방법:(f) 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 광경화형 수지 조성물을 제1 투명기판상에 도포시키고, 그 위에 투명한 마스터 몰드를 위치시킨 다음, 자외선을 조사하고, 경화시켜 제1 복제몰드를 제조하는 단계;(g) 상기 제1 투명기판에 부착되어 있는 상기 제1 복제몰드를 마스터 몰드로부터 분리시키는 단계;(h) 제2 투명기판상에 상기 광경화형 수지 조성물을 도포시키고, 그 위에 상기 제1 복제몰드를 위치시킨 다음, 자외선을 조사하고, 경화시켜 제2 복제몰드를 제조하는 단계; (i) 상기 제2 투명기판에 부착되어 있는 상기 제2 복제몰드를 상기 제1 복제몰드로부터 분리시키는 단계; 및 (j) 상기 (h) 및 (i) 단계를 반복적으로 수행하여 자기복제성 복제몰드를 제조하는 단계
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제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 투명기판은 석영, 유리, PET, PC 및 PVC로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 자기복제성 복제몰드의 제작방법
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제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 (a), (c), (f) 및 (h) 단계의 자외선 조사는 250~450nm로 1~30분 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 자기복제성 복제몰드의 제작방법
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제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 자기복제성 복제몰드의 제작방법은 (b) 및 (g) 단계의 제1 복제몰드와 (d) 및 (i) 단계의 제2 복제몰드에 자외선 조사하여 2차 경화시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자기복제성 복제몰드의 제작방법
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제1항의 광경화형 수지 조성물로 제조된 고밀도 (1:1) 및 고종횡비 (4)를 가지는 25nm 이하의 패턴을 가지는 자기복제성 복제몰드
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제12항에 있어서, 상기 자기복제성 복제몰드는 표면장력이 21
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