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나노입자를 기둥형태로 조직화시키기 위한 배열장치 및 그 배열방법
- 기술번호 : KST2014046494
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명은 다수의 나노입자를 나노홈 어레이가 새겨진 기판의 각 나노홈에 동시에 넣어 나노입자들을 기둥형태로 배열하는 나노입자의 배열장치 및 그 배열방법에 관한 것이다. 본 발명의 나노입자의 배열장치는, 나노입자들이 부착될 상부 기판을 포함하는 나노입자 수송판; 상기 상부 기판과 마주하여 대응되고 상기 상부 기판에 부착된 나노입자들이 분리되어 위치될 하부 기판을 포함하는 나노입자 수용판; 상기 하부 기판상에 형성되고 상기 나노입자들이 소정의 위치에 배열되도록 유도하는 다수의 나노홈; 및 상기 상부 기판 및 하부 기판 사이의 거리와, 상기 나노입자들 및 상기 나노홈의 위치를 측정하는 센서를 포함한다.나노입자, 배열 |
|---|---|
| Int. CL | B82B 3/00 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020090117179 (2009.11.30) |
| 출원인 | 서강대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1161060-0000 (2012.06.22) |
| 공개번호/일자 | 10-2011-0060565 (2011.06.08) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20120629) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.11.30) |
| 심사청구항수 | 24 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서강대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 윤경병 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 |
| 2 | 손필국 | 대한민국 | 부산광역시 금정구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인천문 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 신성빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서강대학교산학협력단 | 서울특별시 마포구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0738744-17 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2010.06.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0386304-54 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.04.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.05.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0042084-13 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.07.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0402621-70 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.09.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0729790-55 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.10.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0821159-02 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.11.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0914675-08 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.11.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0914676-43 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.04.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0254273-35 |
| 11 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2012.08.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0665126-14 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5005781-67 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5014626-89 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 나노입자들이 부착될 상부 기판을 포함하는 나노입자 수송판;상기 상부 기판 상에 형성되고 상기 나노입자들을 수용하는 상부 패턴;상기 상부 기판과 마주하여 대응되고 상기 상부 기판에 부착된 나노입자들이 분리되어 위치될 하부 기판을 포함하는 나노입자 수용판; 상기 하부 기판상에 형성되고 상기 나노입자들이 소정의 위치에 배열되도록 유도하는 다수의 나노홈을 구비한 하부 패턴; 및상기 상부 기판 및 하부 기판 사이의 거리와, 상기 나노입자들 및 상기 나노홈의 위치를 측정하는 센서를 포함하는 나노입자의 배열장치 |
| 2 |
2 제1항에 있어서,상기 상부 기판 및 하부 기판의 간격을 조절하기 위한 시시디(CCD, Charge Coupled Device)를 더 포함하는 나노입자의 배열장치 |
| 3 |
3 제1항에 있어서,상기 상부 및 하부 기판은 3차원적으로 이동을 할 수 있는 상부 및 하부 멀티스테이지에 부착된 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 제1항에 있어서,각 나노입자 및 나노홈의 위치들을 인식하기 위해 상기 상부 패턴 및 상기 하부 패턴의 형상을 촬영하기 위한 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy, SEM)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 6 |
6 제1항에 있어서,상기 상부 기판 및 상기 하부 기판은 금속, 반도체, 또는 절연체로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 7 |
7 제1항에 있어서,상기 나노홈은 폭이 10 내지 10,000 ㎚이고, 높이가 30 내지 100,000 ㎚인 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 8 |
8 제1항에 있어서,상기 나노홈을 구비한 하부 패턴의 재료는 포토레지스터, 고분자, 실리콘 기판 또는 전극물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 9 |
9 제1항에 있어서,상기 나노홈의 폭은 상기 나노입자의 평균 직경의 85 내지 95%인 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 10 |
10 제1항에 있어서,상기 나노입자는 10 내지 10,000 ㎚의 평균 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 11 |
11 제1항에 있어서,상기 나노입자의 평균 직경은 상기 나노홈의 폭 대비 85 내지 95%인 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 12 |
12 제1항에 있어서,상기 센서는 상부 및 하부 멀티스테이지 상에 각각 3개 이상 설치된 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 13 |
13 제1항에 있어서,상기 하부 기판은 상부 기판보다 크기가 작은 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열장치 |
| 14 |
14 나노입자들이 수용된 상부 패턴이 일면에 형성된 상부 기판을 포함하는 나노입자 수송판을 준비하는 공정;다수의 나노홈을 구비한 하부 패턴이 일면에 설치된 하부 기판을 포함하는 나노입자 수용판을 준비하는 공정;상기 상부 기판 및 상기 하부 기판을 인접시키는 공정;센서를 이용하여 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판 사이의 거리와, 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판의 패턴 위치를 측정하는 공정; 및상기 나노입자들을 상기 상부 기판으로부터 분리한 후 상기 다수의 나노홈에 위치시키는 공정을 포함하는 나노입자의 배열방법 |
| 15 |
15 제14항에 있어서,상기 나노입자 수송판을 준비하는 공정 및 상기 나노입자 수용판을 준비하는 공정은 예비 측정 공정을 포함하는 나노입자의 배열방법 |
| 16 |
16 삭제 |
| 17 |
17 제14항에 있어서,상기 상부 기판 및 상기 하부 기판을 인접시키는 공정은 시시디(CCD, Charge Coupled Device)를 이용하여 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판 사이의 간격을 조절하는 공정을 포함하는 나노입자의 배열방법 |
| 18 |
18 제14항에 있어서,상기 상부 기판 및 상기 하부 기판 사이의 거리와, 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판의 패턴 위치를 측정하는 공정은, 3개 이상의 센서가 상부 및 하부에 각각 설치된 센서를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 19 |
19 제14항에 있어서,상기 상부 패턴 및 상기 하부 패턴 위치를 측정하는 공정은, 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy, SEM)을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 20 |
20 제14항에 있어서,상기 공정을 반복하여 수행함으로써 상기 다수의 나노홈에 나노입자들을 적층시켜 나노입자 다층을 형성시키는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 21 |
21 제20항에 있어서,상기 나노입자 다층은 2층 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 22 |
22 제20항에 있어서,상기 나노입자 다층을 상호 접착시키는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 23 |
23 제14항에 있어서,상기 나노입자를 상기 상부 기판으로부터 분리한 후 상기 다수의 나노홈에 위치시키는 공정은, 상기 다수의 나노홈에 상기 나노입자들을 삽입 후 부피팽창에 의해 상기 나노입자들을 고정하기 위해 상기 다수의 나노홈을 구비한 하부 패턴에 열을 가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 24 |
24 제14항에 있어서,상기 나노입자를 상기 상부 기판으로부터 분리한 후 상기 다수의 나노홈에 위치시키는 공정은, 폭이 상기 나노입자의 평균 직경의 85 내지 95%인 상기 다수의 나노홈에 상기 나노입자들을 강제로 삽입하여 고정하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 25 |
25 제14항에 있어서,상기 나노입자는 금속, 반도체 및 절연체로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 26 |
26 제14항에 있어서,상기 나노입자는 구형, 타원체, 오면기둥형, 육면기둥형, 팔면기둥형, 칠면기둥형, 원기둥형, 모서리가 굴곡된 육면기둥형, 육면체형, 모서리가 굴곡된 육면체형의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 나노입자의 배열방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | EP02508470 | EP | 유럽특허청(EPO) | FAMILY |
| 2 | JP05607747 | JP | 일본 | FAMILY |
| 3 | JP25511397 | JP | 일본 | FAMILY |
| 4 | US20120231151 | US | 미국 | FAMILY |
| 5 | WO2011065793 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 6 | WO2011065793 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | EP2508470 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
| 2 | EP2508470 | EP | 유럽특허청(EPO) | DOCDBFAMILY |
| 3 | JP2013511397 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 4 | JP5607747 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 5 | US2012231151 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 6 | WO2011065793 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 7 | WO2011065793 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 서강대학교산학협력단 | 기후변화대응기술개발사업-기초원천기술개발사업 | 인공광합성 구현과 실용화를 위한 기초과학 확보 및 원천기술 개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1161060-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20091130 출원 번호 : 1020090117179 공고 연월일 : 20120629 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120430 청구범위의 항수 : 24 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 나노입자를 기둥형태로 조직화시키기 위한 배열장치 및 그 배열방법 존속기간(예정)만료일 : 20190623 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 490,500 원 | 2012년 06월 22일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 397,600 원 | 2015년 04월 20일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 409,520 원 | 2016년 06월 29일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 397,600 원 | 2017년 03월 30일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 506,000 원 | 2018년 05월 21일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0738744-17 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2010.06.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0386304-54 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.04.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2011.05.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0042084-13 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2011.07.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0402621-70 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.09.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0729790-55 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.10.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0821159-02 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.11.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0914675-08 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.11.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0914676-43 |
| 10 | 등록결정서 | 2012.04.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0254273-35 |
| 11 | [출원서등 보정]보정서 | 2012.08.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0665126-14 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5005781-67 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5014626-89 |
| 기술번호 | KST2014046494 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 서강대학교 |
| 기술명 | 나노입자를 기둥형태로 조직화시키기 위한 배열장치 및 그 배열방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 다수의 나노입자를 나노홈 어레이가 새겨진 기판의 각 나노홈에 동시에 넣어 나노입자들을 기둥형태로 배열하는 나노입자의 배열장치 및 그 배열방법에 관한 것이다. 본 발명의 나노입자의 배열장치는, 나노입자들이 부착될 상부 기판을 포함하는 나노입자 수송판; 상기 상부 기판과 마주하여 대응되고 상기 상부 기판에 부착된 나노입자들이 분리되어 위치될 하부 기판을 포함하는 나노입자 수용판; 상기 하부 기판상에 형성되고 상기 나노입자들이 소정의 위치에 배열되도록 유도하는 다수의 나노홈; 및 상기 상부 기판 및 하부 기판 사이의 거리와, 상기 나노입자들 및 상기 나노홈의 위치를 측정하는 센서를 포함한다.나노입자, 배열 |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 나노입자 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스 |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345098721 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0093883 |
| 연구과제명 | 양성자,전자,활성수소수송체개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 서강대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200909~201909 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345098764 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0093886 |
| 연구과제명 | 나노입자조직화,고성능분자분리막개발및디바이스제작 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 서강대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200909~201909 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345099732 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-0054921 |
| 연구과제명 | 마이크로결정의조직화및응용 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 서강대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200705~201202 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1350021132 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R16-1998-005-01001-0 |
| 연구과제명 | 분자끈을이용한미세입자의접합및조직화연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 서강대학교 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 199810~200705 |
| 기여율 | 0.25 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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|---|---|---|
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