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다층 구조 소자 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014046495
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다층 구조의 소자에 있어서, 제1 층 상의 제2 층의 커버율을 산출하는데 있어서 제3 층의 결정화율을 측정하여 결정하는 다층 구조 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 다층 구조 소자는 기판과, 기판 상에 피착된 제1 층과 제1 층 상에 피착된 제2 층 및 제2 층 상에 피착된 제3 층을 포함하고, 제1 층 상의 제2 층의 커버율은 제3 층의 결정화율에 의해 결정된다. 제3 층의 결정화율은 X-선 회절을 측정함으로써 구할 수 있다.다층 구조, 커버율, X-선 회절
Int. CL H01L 51/50 (2006.01)
CPC H01L 51/5092(2013.01) H01L 51/5092(2013.01) H01L 51/5092(2013.01) H01L 51/5092(2013.01) H01L 51/5092(2013.01)
출원번호/일자 1020070091223 (2007.09.07)
출원인 서강대학교산학협력단, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1135292-0000 (2012.04.03)
공개번호/일자 10-2009-0025980 (2009.03.11) 문서열기
공고번호/일자 (20120412) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020090100451;1020120002477;
심사청구여부/일자 Y (2007.09.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영주 대한민국 서울특별시 마포구
2 김현정 대한민국 경기도 고양시 덕양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김한 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
2 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0652892-03
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2007.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0914464-43
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2008-0243608-16
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.04.03 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2008-0243599-82
5 서류반려이유안내서
Notice of Reason for Return of Document		 2008.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0051420-19
6 서류반려안내서
Notification for Return of Document		 2008.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0064126-05
7 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2008.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0435867-16
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0436259-45
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.09.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0068092-94
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0214404-11
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0439050-60
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0511235-88
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0576185-49
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0645939-65
16 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2009.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0645946-85
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.10.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0645941-57
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.12.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0520453-82
19 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2010.01.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2010-0001259-19
20 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0075629-17
21 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0258821-23
22 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0327326-31
23 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0397939-83
24 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.07.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0478420-22
25 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0478418-30
26 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination		 2010.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0354621-75
27 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2010.09.24 수리 (Accepted) 7-8-2010-0028377-72
28 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0120041-62
29 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0325368-36
30 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0417710-39
31 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0506250-04
32 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0582974-01
33 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2011.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0577849-20
34 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0972155-16
35 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
36 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2012.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0020548-73
37 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.01.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0020483-04
38 등록결정서
Decision to grant		 2012.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0135485-05
39 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
40 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
41 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
42 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
43 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
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다층 구조 소자의 제조 방법으로서,기판 상에 제1 층을 피착하는 단계와제1 층 상에 제2 층을 피착하는 단계, 및제2 층 상에 제3 층을 피착하는 단계를 포함하되,X-선 회절에 의해 검출된 제2 층에 의해 유도된 제3 층의 결정화율에 기초하여, 제2 층의 제1 층에 대한 특정 커버율을 제공하는 두께로 제2 층을 제1 층 상에 피착하는, 다층 구조 소자의 제조 방법
13 13
제12항에 있어서,제1 층 상의 제2 층의 커버율이 증가할수록 제3 층의 결정화율이 증가하는, 다층 구조 소자의 제조 방법
14 14
제12항에 있어서,제1 층 상의 제2 층의 커버율 100%는 제3 층의 결정화율의 포화에 의해 결정되는, 다층 구조 소자의 제조 방법
15 15
제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,기판은 ITO 코팅된 유리 기판이고,제1 층은 Alq3으로 이루어지고,제2 층은 LiF로 이루어지고,제3 층은 Al로 이루어지는, 다층 구조 소자의 제조 방법
16 16
제12항에 있어서,제1 층 상의 제2 층의 커버율이 증가할수록 제3 층의 결정화율이 감소하는, 다층 구조 소자의 제조 방법
17 17
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