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다파장(Multi-Wavelength)의 빛살을 제공하는 광원;상기 광원으로부터 제공되는 빛살을 편광 상태에 따라 투과시키거나 반사시키는 편광빔스플리터(PBS);상기 PBS로부터 제공되는 다파장 빛살을 구동 RF 주파수(fRF)에 따라 각각의 파장별로 제1 빛살들과 제2 빛살들로 나누고, 상기 제2 빛살들을 각 파장에 따라 상기 제1 빛살과 서로 다른 각도로 분리하여 출력하는 음향 광 변조필터(AOTF);구동 RF 주파수(fRF)를 상기 AOTF를 제공하여 AOTF를 구동시키는 AOTF 구동부;측정하고자 하는 샘플이 놓여지고, 상기 AOTF로부터 제공되는 제1 빛살들의 진행 경로에 배치되어, 제1 빛살들을 제1 빛살들의 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 신호빛(Signal beam)을 제공하는 샘플 스테이지;상기 AOTF로부터 제공되는 제2 빛살들의 진행경로에 배치되고, 상기 제2 빛살들을 각각의 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 기준빛(Reference beam)을 제공하는 제2 빛살 경로 유도부;상기 AOTF와 상기 샘플스테이지 및 제2 빛살 경로 유도부 사이에 배치되고, 입사된 빛살들을 원형 편광으로 변환시켜 출력하는 사분파장 위상지연판(QWP);상기 AOTF로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 진행하는 신호빛과 기준빛의 간섭 신호를 파장에 따라 검출하고, 상기 AOTF 구동부로부터 구동 RF 주파수에 대한 정보를 제공받고, 상기 구동 RF 주파수를 이용하여 상기 검출된 간섭신호를 복조하여 출력하는 다파장 복조부; 및상기 다파장 복조부에 의해 출력된 신호를 이용하여 샘플에 대한 정보를 검출하는 제어부;를 구비하고, 상기 제1 빛살들은 구동 RF 주파수(fRF)에 의해 변조된 1차(First-order) 빛살이며, 제2 빛살들은 변조되지 않은 영차(Zero-order) 빛살인 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 제2 빛살 경로 유도부는평행하게 입사되는 빛살들을 입사 경로를 따라 다시 반사시키는 제1 거울; 및 상기 AOTF로부터 제공되는 제2 빛살들의 진행경로에 배치되어, 상기 제2 빛살들을 서로 평행하게 반사시켜 제1 거울로 제공하고, 상기 제1 거울로부터 되반사되는 제2 빛살들을 각각 입사경로를 따라 다시 반사시켜 기준빛(Reference beam)을 제공하는 포물면 거울;로 구비되는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 제2 빛살 경로 유도부는상기 AOTF로부터 제공되는 제2 빛살들의 진행경로에 배치되어, 상기 제2 빛살들을 각각 입사 경로를 따라 다시 반사시켜 기준빛(Reference beam)을 제공하는 구면 거울;로 구비되는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 AOTF 구동부는 복수 개의 구동 RF 주파수(fRF)를 시간별로 분리시켜(time-division) 상기 AOTF에 순차적으로 제공하여 상기 AOTF를 구동시키는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 4항에 있어서, 상기 다파장 복조부는상기 AOTF로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 진행하는 신호빛과 기준빛의 간섭 신호를 파장에 따라 시간별로 검출하는 광검출소자; 및상기 AOTF 구동부로부터 구동 RF 주파수에 대한 정보를 제공받고, 상기 구동 RF 주파수를 이용하여 상기 광검출소자로부터 파장에 따라 시간별로 제공되는 간섭신호를 복조하여 출력하는 복조기;로 구비되는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 AOTF 구동부는 상기 AOTF에 복수 개의 구동 RF 주파수(fRF)를 동시에 제공하여 상기 AOTF를 구동시키는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 6항에 있어서, 상기 다파장 복조부는상기 AOTF로부터 출력된 후 PBS에서 반사되어 진행하는 신호빛과 기준빛의 간섭 신호를 파장에 따라 각각 분리하여 제공하는 분산장치;상기 분산장치로부터 분리된 간섭신호들의 진행 경로에 각각 배치되어, 파장에 따른 간섭신호들을 검출하는 다수 개의 광검출소자; 및상기 AOTF 구동부로부터 구동 RF 주파수에 대한 정보를 제공받고, 상기 구동 RF 주파수를 이용하여 상기 다수 개의 광검출소자로부터 제공되는 간섭신호들을 각각 복조하여 출력하는 다수 개의 복조기;로 구비되고,상기 제어부는 다수 개의 복조기에 의해 출력된 신호를 이용하여 샘플에 대한 정보를 검출하는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 7항에 있어서, 상기 분산장치는 그레이팅(grating), 분산 프리즘(dispersive prism) 및 다이크로익 프리즘(dichroic prism) 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 7항에 있어서, 상기 분산장치는 간섭신호들이 진행하는 경로에 광학 밴드패스 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 광원은다파장 레이저, 여러 단색광 레이저의 조합 및 백색 광원 중 어느 하나로 구성된 다파장 레이저; 및상기 다파장 레이저로부터 출력된 광을 P파로 정렬하여 출력하는 광 분리기(Optical Isolator);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 다중파장 헤테로다인 간섭계는 주파수 체배기를 더 구비하고, 상기 주파수 체배기는 AOTF 구동부로부터 제공되는 구동 RF 주파수를 2배의 주파수로 변환하여 복조기로 출력하는 것을 특징으로 하는 음향광변조필터를 이용한 다중파장 헤테로다인 간섭계
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