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광원;측정 시료가 놓여지는 시료대;상기 시료대와 평행하게 배치되고, 주사되는 기준빛을 반사시키는 제1 반사부;상기 광원에서 발생된 광을 주파수가 다르고 편광 방향이 서로 수직한 제1 빛 및 제2 빛으로 분리하는 제1 편광빛살가르개(PBS);상기 제1 빛을 편광 방향이 서로 수직한 제1 로컬신호(LO) 및 기준빛으로 분리하여 제공하는 기준빛 생성부;상기 제2 빛을 편광 방향이 서로 수직한 제2 로컬신호(LO) 및 신호빛으로 분리하여 제공하는 신호빛 생성부;상기 제1 로컬신호와 제2 로컬신호의 간섭신호를 검출하여 외부로 제공하는 제1 광 검출수단(PD1); 및상기 제1 반사부로 주사된 후 반사되는 기준빛과 시료로 주사된 후 반사되는 신호빛의 간섭신호를 검출하여 외부로 제공하는 제2 광 검출수단(PD2); 을 구비하고,상기 기준빛 및 신호빛은 동일한 광학 경로 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 기준빛 생성부는상기 제1 빛의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시키는 제1 편광회전기(PR); 상기 제1 편광회전기에서 편광 회전된 제1 빛을 편광 방향이 서로 수직한 제1 로컬신호(LO) 및 기준빛으로 분리하는 제2 편광빛살가르개(PBS); 상기 제2 편광빛살가르개와 제1 반사부의 사이에 배치되는 제1 사분파장 위상지연판(QWP);을 구비하고, 상기 신호빛 생성부는상기 분리된 제2 빛의 진행방향을 상기 제1 빛의 진행방향과 평행하도록 반사하는 제2 반사부; 상기 제2 빛의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시키는 제2 편광회전기(PR); 상기 제2 편광회전기에서 편광 회전된 제2 빛을 편광 방향이 서로 수직한 제2 로컬신호(LO) 및 신호빛으로 분리하는 제3 편광빛살가르개(PBS); 상기 제3 편광빛살가르개와 시료대의 사이에 배치되는 제2 사분파장 위상지연판;을 구비하고, 상기 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계는 상기 제2 편광빛살가르개와 제3 편광빛살가르개 사이에 반파장 위상 지연판(HWP)을 더 배치하는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 기준빛 생성부는상기 제1 빛의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시키는 제1 패러데이셀(Faraday cell); 상기 제1 편광회전기에서 편광 회전된 제1 빛을 편광 방향이 서로 수직한 제1 로컬신호(LO) 및 기준빛으로 분리하는 제2 편광빛살가르개(PBS); 상기 제2 편광빛살가르개와 제1 반사부의 사이에 배치되는 제1 사분파장 위상지연판(QWP);을 구비하고, 상기 신호빛 생성부는상기 분리된 제2 빛의 진행방향을 상기 제1 빛의 진행방향과 평행하도록 반사하는 제2 반사부; 상기 제2 빛의 편광 방향을 사전에 설정된 각도로 회전시키는 제2 패러데이셀(Faraday cell); 상기 제2 편광회전기에서 편광 회전된 제2 빛을 편광 방향이 서로 수직한 제2 로컬신호(LO) 및 신호빛으로 분리하는 제3 편광빛살가르개(PBS); 상기 제3 편광빛살가르개와 시료대의 사이에 배치되는 제2 사분파장 위상지연판;을 구비하고, 상기 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계는 상기 제2 편광빛살가르개와 제3 편광빛살가르개 사이에 제1 반파장 위상 지연판(HWP)을 더 배치하는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 광원은서로 수직으로 편광되고 각 편광 성분이 서로 다른 주파수를 갖는 이중 편광 및 이중 주파수를 갖는 광을 출력하는 헤테로다인 광원인 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 1항에 있어서, 상기 제2 반사부는프리즘 및 반사경 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 편광회전기는하나로 형성되어 배치되는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 패러데이셀은하나로 형성되어 배치되는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 2항 및 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 사분파장 위상지연판은하나로 형성되어 배치되는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 2항에 있어서, 상기 기준빛 생성부는 상기 제1 편광회전기와 제2 편광빛살가르개 사이에 제1 편광판을 배치하고,상기 신호빛 생성부는 상기 제2 편광회전기와 제3 편광빛살가르개 사이에 제2 편광판을 배치하는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 9항에 있어서, 상기 제1 및 제2 편광판은하나로 형성되어 배치되는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 2항 및 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계는제1 및 제2 로컬신호가 제2 편광빛살가르개로부터 제1 광 검출수단으로 진행되는 경로 사이에 제3 편광판을 더 구비하여 제1 로컬신호와 제2 로컬신호의 간섭신호를 생성하고, 기준빛 및 신호빛이 제3 편광빛살가르개로부터 제2 광 검출수단으로 진행되는 경로 사이에 제4 편광판을 더 구비하여 기준빛과 신호빛의 간섭신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 2항 및 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 신호빛 생성부는상기 제1 편광빛살가르개로부터 분리된 제2 빛이 제2 반사부로 진행되는 경로 사이에 제2 반파장 위상지연판을 더 배치하는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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제 2항 및 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 신호빛 생성부는상기 제1 편광빛살가르개로부터 분리된 제2 빛이 제2 반사부로 진행되는 경로 사이에 스페이서(spacer)를 더 배치하는 것을 특징으로 하는 이종 모드 광원을 이용한 헤테로다인 간섭계
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