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금속 구형 공극 나노구조가 집적된 광자유체소자의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014046548
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고분자 표면에서 콜로이드 입자의 함침을 이용하여 금속 구형 공극 구조를 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 콜로이드 입자를 고분자 층에 함침 시키는 정도와 콜로이드 입자 크기에 따라 다양한 크기와 가시광선 영역에서 강한 플라즈몬 특성을 나타내는 금속 구형 공극의 제조에 관한 것이다. 본 발명은 광가교가 가능한 고분자를 이용하여 패턴화된 금속 구형 공극 구조를 제조하고, 미세연성유체소자 내에 집적시키고 미량의 액체를 주입하여 플라즈몬의 광학적 특성 변화를 통한 화학 및 생물 물질을 검출할 수 있는 센서 소자로의 응용성을 갖는다.
Int. CL G01N 33/00 (2006.01) G01N 21/27 (2006.01)
CPC G01N 21/554(2013.01) G01N 21/554(2013.01) G01N 21/554(2013.01) G01N 21/554(2013.01)
출원번호/일자 1020110130395 (2011.12.07)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1207968-0000 (2012.11.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.07)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양승만 대한민국 대전광역시 유성구
2 이수연 대한민국 충청남도 홍성군
3 김세헌 대한민국 대전광역시 유성구
4 장세규 대한민국 대전광역시 유성구
5 허철준 대한민국 부산광역시 동래구
6 심재원 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0972688-39
2 등록결정서
Decision to grant		 2012.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0715774-33
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 규칙적으로 배열된 단층의 콜로이드 입자 층을 고분자 박막 상부에 형성시켜 상기 콜로이드 입자 층이 상기 고분자 박막에 함침되는 제1단계; (b) 상기 고분자 박막에 함침된 콜로이드 입자를 제거함으로써 고분자 박막에 나노미터 수준의 구형 공극 구조를 형성하는 제2단계; (c) 상기 제2단계 이후, 고분자 박막 상부에 금속 박막을 증착함으로써 고분자 박막 상부의 금속 박막과 공극 내부의 금속 박막이 불연속적으로 형성되는 제3단계; (d) 광가교성 고분자를 이용하여 패턴화된 금속 구조를 제조하는 제4단계; 및 (e) 상기 패턴화된 금속 구조에 미세연성유체소자를 집적시키는 제5단계; 를 포함하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 고분자는 스타이렌계 고분자, 아크릴계 고분자, 셀룰로오스계 고분자, 에폭시계 고분자, 아미드계 고분자, 에스테르계 고분자 및 이미드계 고분자로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 콜로이드 입자는 실리카(silica), 타이타니아(titania) 및 폴리스타이렌(polystyrene)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 콜로이드 입자의 크기는 10~10,000 nm로서, 부피분율이 1~10 %(v/v)인 것을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1단계에 있어 콜로이드 입자가 고분자위에 규칙적으로 배열된 단층을 형성하는 것을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 단층의 형성은 콜로이드 입자를 알코올계 유기용매에 무게분율 5~20 %(wt/wt)로 분산하여 형성되는 것임을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 함침은 콜로이드 입자가 고분자 박막 상부에서 함침될 수 있도록 (i) 유리전이온도가 100~200℃ 이고, (ii) 스타이렌계 고분자, 아크릴계 고분자, 셀룰로오스계 고분자, 에폭시계 고분자, 아미드계 고분자, 에스테르계 고분자 및 이미드계 고분자로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 고분자를 이용하는 것을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 고분자 박막에 함침된 콜로이드 입자를 제거는 습식 식각법을 이용한 것임을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 금속박막의 증착은 전자빔 증착기를 이용하여 비등방적으로 증착한 것임을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 광가교성고분자는 에폭시(epoxy) 그룹을 가진 광가교성고분자로서, 금속 구조의 패턴화를 유도함을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 미세연성유체소자는 열경화성 고분자를 이용하여 제조한 것임을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
12 12
제1항에 있어서, 상기 미세연성유체소자 내 패턴화된 금속 구조의 집적은 산소플라즈마 처리에 의한 것임을 특징으로 하는 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자의 제조방법
13 13
제1항 내지 제12항 중 선택된 어느 하나의 방법에 의해 제조된 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자
14 14
제13항의 나노미터 수준의 구형 공극 구조가 통합된 광자유체소자에 증류수(deionized water), 에탄올(ethanol), 메탄올(methanol), 실리콘 오일(silicon oil), 데칸(decane) 및 도데칸(dodecane)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 용매를 주입함으로써 발생된 광자유체소자의 광특성변화를 측정하는 방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.