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전기화학등온용량과도분광기

  • 기술번호 : KST2014046694
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 두께에 제한을 받지 않고 반도체재료의 깊은준위의 특성을 정량적으로 평가할 수 있는 전기화학등온용량과도분광(electrochemcial-isothermal -transient spectroscopy, EICTS) 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로, 실제 반도체 소자, 재료의 형태를 갖는 단결정벌크, 이종접합구조, 다층구조의 깊은준위를 정량적으로 평가하는데 매우 효과적이다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01B 11/22(2013.01) G01B 11/22(2013.01)
출원번호/일자 1020120079839 (2012.07.23)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1241756-0000 (2013.03.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오동철 대한민국 충남 아산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준혁 대한민국 경기도 수원시 팔달구 중부대로 *** B동 *층(우만동, 신아빌딩)(유니크국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 충청남도 아산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0584712-37
2 보정요구서
Request for Amendment
2012.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0097930-87
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0685813-31
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0697885-33
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0698046-22
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0698065-90
7 보정요구서
Request for Amendment
2012.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0108654-38
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0702703-62
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0733123-17
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0732350-96
11 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2012.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0115240-15
12 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0854133-12
13 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2012.10.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
14 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2012.10.25 수리 (Accepted) 9-1-2012-0081002-84
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0721537-15
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2013-0021245-57
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0021250-86
18 등록결정서
Decision to grant
2013.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0061449-37
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전해질 수용부, 시료 장착부 및 전극으로 구성된 전기화학셀; 상기 전기화학셀에 전기적으로 연결되고 시료의 정전용량을 측정하는 C-V 측정부; 및 상기 전기화학셀에 전기적으로 연결되고 시료의 ICTS(isothermal-capacitance-transient spectroscopy) 스펙트럼을 측정하는 ICTS 측정부를 포함하는 전기화학등온용량과도분광기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 C-V 측정부가 LCR미터인 것을 특징으로 하는 전기화학등온용량과도분광기
3 3
제 1항에 있어서, 상기 ICTS 측정부가 C-t미터, 멀티미터 및 DC소스를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기화학등온용량과도분광기
4 4
제 1항에 있어서, CV 및 ICTS 측정 후에 전해질과 DC소스를 이용하여 시료를 에칭하는 것을 특징으로 하는 전기화학등온용량과도분광기
5 5
제 1항에 있어서, 상기 시료가 화합물 반도체 재료인 ZnSe, GaN 또는 ZnO인 것을 특징으로 하는 전기화학등온용량과도분광기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 호서대학교 산학협력단 기획처 호서대학교 산학협력단 월드클래스 2030 프로젝트 광소자 재료 특화연구센터 구축