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레이저를 이용한 다중배열 가공 툴의 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014047606
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초정밀 표면 가공 및 태양전지, 반도체 등 초정밀 패턴 가공 후 표면의 형상이나 특성을 예측할 수 있는 멀티-어레이 툴의 제조가 손쉽게 이루어질 수 있도록 기존 멀티-어레이 툴의 팁 제조 공정상의 단점을 효과적으로 해소할 수 있는 새로운 가공방법에 의한 멀티-어레이 툴 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.이를 위해, 본 발명은 초정밀 표면 가공 및 초정밀 패턴 가공 후에 가공 표면의 형상이나 특성이 예측될 수 있도록, 일정한 배열 형태를 가짐과 아울러 반복적인 패턴을 갖는 멀티-어레이 된 팁을 구비한 것을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴 및 그 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/00(2013.01) B24B 37/00(2013.01) B24B 37/00(2013.01)
출원번호/일자 1020100077826 (2010.08.12)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1217283-0000 (2012.12.24)
공개번호/일자 10-2012-0015597 (2012.02.22) 문서열기
공고번호/일자 (20121231) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.08.12)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이득우 대한민국 부산광역시 해운대구
2 최수창 대한민국 부산광역시 동래구
3 김진근 대한민국 부산광역시 사상구
4 이상민 대한민국 경상남도 창원시 진해구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0519474-83
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2011.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0449977-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0066487-61
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0471904-92
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0794123-35
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0794124-81
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0171021-78
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0403765-02
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0403764-56
11 등록결정서
Decision to grant
2012.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0645524-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
초정밀 표면 가공 및 초정밀 패턴 가공 후에 가공 표면의 형상이나 특성이 예측될 수 있도록, 일정한 배열 형태를 가짐과 아울러 반복적인 패턴을 갖는 멀티-어레이 된 팁을 구비하되, 상기 멀티-어레이 된 팁은,내주면이 외측 방향으로 상향 경사진 복수개의 원형 홀(2)이 형성되고,각각의 홀(2)이 접하는 경계 부분에는 골(3)이 형성되며, 상기 골(3)과 이어지는 홀(2) 주변부에는 첨탑 형태의 팁(1)이 형성되어, 상기 각각의 홀(2)의 주변부에 원주방향을 따라 복수개의 팁(1)이 일정 간격으로 배열된 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 팁(1)은 초경합금 또는 다이아몬드 소결체 재질임을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴
5 5
제 1 항에 있어서,상기 홀(2)은 레이저빔의 조사에 의해 형성되는 것임을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서,상기 팁(1)의 선단부에 평탄면(1a)이 구비되는 것을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴
8 8
레이저빔에 의한 가공을 통해 플레이트 표면에 일정한 배열 형태를 가짐과 아울러 반복적인 패턴을 갖는 멀티-어레이 된 팁을 형성하여, 초정밀 표면 가공 및 초정밀 패턴 가공 후에 가공 표면의 형상이나 특성이 예측될 수 있도록 하는 멀티-어레이 툴 제조방법에 있어서, 상기 레이저빔을 플레이트 표면에 일정 각도로 경사지게 한 상태에서 조사하여 내주면이 외측방향으로 상향 경사진 홀(2)을 형성하되, 상기 홀(2)을 정해진 간격으로 복수개 형성하며, 각각의 홀(2) 사이의 경계 부분에 레이저빔이 중첩되도록 하여 중첩된 부분에 골(3)이 형성되면서 홀(2) 주변부에 복수 개의 첨탑 형태의 멀티-어레이 된 팁(1)이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 8 항에 있어서,상기 레이저빔을 플레이트 표면에 일정 각도로 경사지게 한 상태에서 조사하여 다각형의 토대에 측면이 한 개의 꼭지점에서 만나는 첨탑 형태의 팁(1)을 형성하되, 상기 팁(1)이 일정 간격과 패턴을 유지하면서 돌출되도록 형성한 것을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴 제조방법
11 11
제 8 항에 있어서,상기 플레이트는 초경합금 또는 다이아몬드 소결체 재질임을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴 제조방법
12 12
제 11 항에 있어서,상기 플레이트는 초경합금으로 된 베이스층 위에 다이아몬드 소결체층(6)을 형성하여서 됨을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴 제조방법
13 13
제 8 항에 있어서,상기 홀(2)의 형성시, 레이저빔의 경사각(α) 및 홀(2)의 간격은 각 팁(1)의 선단부에 평탄면(1a)이 구비되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 멀티-어레이 툴 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.