맞춤기술찾기

이전대상기술

에어로졸 젯 증착장치 및 이를 이용한 광흡수층의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014047889
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 에어로졸 젯 증착장치 및 이를 이용한 CuInS2 박막의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 미세액적을 에어로졸 젯(aerosol-jet)화시키는 노즐을 포함하는 노즐 어셈블리(nozzle assembly)와, 상기 노즐 어셈블리 하부에 구비되어 기판이 구비되는 기판 지지대와, 상기 기판 지지대에 구비되어 기판을 가열하는 기판 가열기를 포함하는 진공챔버; 상기 진공챔버와 연결되어 진공챔버 내 진공형성 및 진공유지를 수행하는 펌프; 상기 노즐 어셈블리와 연결되어 전구체 용액을 미세액적으로 형성하는 분무기(nebulizer); 및 상기 분무기에서 생성된 미세액적의 유량을 조절하기 위하여 바이패스(by-pass)형태로 운반가스를 공급하는 운반가스 공급부를 포함하는 에어로졸 젯 증착장치를 제공한다. 본 발명에 따른 에어로졸 젯 증착장치 및 이를 이용한 CuInS2 박막의 제조방법은 박막들은 종래의 증착방법들에 비하여 초저비용 및 단순공정으로 박막을 증착할 수 있다. 또한 우수한 박막특성을 보이는 CuInS2 박막을 제조할 수 있어 I-III-VI2 화합물 박막태양전지의 핵심 광흡수층으로 적용할 수 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020110024218 (2011.03.18)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1194651-0000 (2012.10.19)
공개번호/일자 10-2012-0106236 (2012.09.26) 문서열기
공고번호/일자 (20121029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.18)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정지원 대한민국 서울특별시 마포구
2 김동찬 대한민국 인천광역시 남구
3 공선미 대한민국 인천광역시 계양구
4 번영 중국 인천광역시 남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0198795-72
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0262071-52
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0492449-43
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0492450-90
5 등록결정서
Decision to grant
2012.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0621078-47
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
증기(vapor)를 에어로졸 젯(aerosol-jet)화 시키는 노즐을 포함하는 노즐 어셈블리(nozzle assembly)와, 상기 노즐 어셈블리 하부에 구비되고 기판이 위치하는 기판 지지대와, 상기 기판 지지대 일면에 구비되어 기판을 가열하는 기판 가열기를 포함하는 진공챔버;상기 진공챔버와 연결되어 진공챔버 내 진공을 형성하고 유지하는 펌프; 상기 노즐 어셈블리와 연결되어 전구체 용액을 증기로 형성하는 버블러(bubbler); 상기 노즐 어셈블리와 연결되어 상기 버블러에서 형성된 증기의 유량을 조절하기 위해 바이패스(by-pass)형태로 운반가스를 공급하는 운반가스 공급부; 및 상기 버블러에서 생성된 증기가 액화되는 것을 방지하기 위하여 상기 버블러와 노즐 어셈블리 사이에 위치하는 가열 테이프(heating tape)를 포함하는 에어로졸 젯 증착장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 노즐 어셈블리(nozzle assembly)의 노즐은 다수의 구멍이 구비된 천공형태 또는 슬릿(slit) 형태인 것을 특징으로 하는 에어로졸 젯 증착장치
4 4
제2항에 있어서, 상기 기판 가열기는 기판을 50 내지 600 ℃의 온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 젯 증착장치
5 5
염화구리(CuCl2), 염화인듐(InCl3) 및 티오우레아(CS(NH2)2) 용액을 혼합하여 전구체 용액을 제조하는 단계(단계 1); 및상기 단계 1에서 제조된 전구체 용액을 분무기 또는 버블러를 이용하여 미세액적 또는 증기로 형성시킨 후 노즐을 통해 에어로졸 젯 생성하여 이를 기판 상부로 분사하는 단계(단계 2)를 포함하는 제2항의 에어로졸 젯 증착장치를 이용한 광흡수층의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 단계 1의 염화구리(CuCl2), 염화인듐(InCl3) 및 티오우레아(CS(NH2)2)는 0
7 7
제5항에 있어서, 상기 단계 2의 기판 온도는 300 내지 400 ℃인 것을 특징으로 하는 광흡수층의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 인하대학교 산학협력단 지역대학우수과학자지원 에어로졸 젯 증착법을 이용한 Cu(In,Ga)(Se,S)2 박막증착 공정개발을 통한 저비용 고효율 차세대 박막 태양전지 개발