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액체 기상 하이브리드 원자층 증착법 및 이를 이용한 박막 형성 방법

  • 기술번호 : KST2014048115
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 원자층 박막형성방법(ALD)에 대한 획기적인 개선을 하였다.본 발명에 따르면, 진공 챔버가 필요없는 상압 하에서 반응물을 액체로 제조하고, 상기 반응물 용액에 기판을 담가 갔다 뺀 후, 퍼지하여 기판 표면에서 화학적으로 반응하여 1차 박막을 형성한 것 외의 물리적 흡착물(리간드)을 제거하고, 다시 상기 리간드보다 상기 1차 박막과 화학적 결합력이 더 큰 반응물을 액체로 제조하여 상기 기판을 담가 갔다 뺀 후, 퍼지하여 원하는 박막을 원자층 두께로 형성할 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/0228(2013.01) H01L 21/0228(2013.01) H01L 21/0228(2013.01) H01L 21/0228(2013.01) H01L 21/0228(2013.01)
출원번호/일자 1020100138742 (2010.12.30)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1213291-0000 (2012.12.11)
공개번호/일자 10-2012-0076955 (2012.07.10) 문서열기
공고번호/일자 (20121218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.30)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권세훈 대한민국 경기도 군포시 용호*로 **, 주공아파트 *
2 신헌철 대한민국 부산광역시 해운대구
3 이종산 대한민국 대전광역시 서구
4 김광호 대한민국 부산광역시 해운대구
5 곽원섭 대한민국 부산광역시 남구
6 정성호 대한민국 경상남도 창원시 마산합포구
7 김승일 대한민국 부산광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0875760-97
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.01.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0007181-25
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0639570-20
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0960867-80
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0961015-86
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0371376-06
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0670110-13
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0735520-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막을 이루는 원소와 리간드를 포함하는 제1 반응물이 액체 상태로 담긴 용기에 기판을 담가 기판상에 제1 반응물을 흡착시키는 단계(A);상기 기판을 제1 반응물로부터 빼낸 후 퍼지 가스로 퍼지하여 물리적으로 흡착된 제 1반응물을 제거하는 제1 퍼지 단계(B);화학적으로 흡착된 제1 반응물이 남아있는 상기 기판을 제1 반응물의 리간드와 화학 반응하여 물질을 형성할 수 있는 제2 반응물이 액체 상태로 담긴 용기에 담가 상기 제1 반응물 중 화학적으로 흡착된 물질과 제2 반응물의 화학반응에 의하여 원자층 단위의 물질층을 형성시키는 단계(C); 및 상기 기판을 퍼지 가스로 퍼지하여 화학적으로 흡착된 제1 반응물과 제2 반응물의 화학 반응에 의해 생성된 부산물과 과잉으로 흡착된 제2 반응물을 제거하는 제2 퍼지 단계(D);를 포함하고,상기 퍼지 가스는 제1 반응물 및 제2 반응물과 반응하지 않는 것으로 구성한 것을 특징으로 하는 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법
2 2
제1항의 (A)~(D) 단계들을 모두 통합하여 하나의 사이클로 하고, 상기 사이클을 다수 반복 실시하여 원하는 두께의 물질층을 적층하는 것을 특징으로 하는 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 방법
3 3
박막을 이루는 원소와 리간드를 포함하는 제1 반응물이 액체 상태로 담긴 제1 용기;상기 제1 용기에 담갔다 꺼내어진 기판을 퍼지 가스로 퍼지하는 제1 퍼지 장치;상기 제1 퍼지 장치에서 퍼지를 마친 후 상기 기판을 제2 반응물에 담그도록 제2 반응물이 담긴 제2 용기;및상기 제2 용기에 담갔다 꺼내어진 기판을 퍼지 가스로 퍼지하는 제2 퍼지 장치;를 포함하고,상기 퍼지 가스는 제1 반응물 및 제2 반응물과 반응하지 않는 것으로 구성하고,상기 제1 용기, 제1 퍼지 장치, 제2 용기 및 제2 퍼지 장치는 원형 또는 일렬로 순차적으로 배치되고,상기 제1 용기에 충진된 제1 반응물은 박막을 이루는 원소와 리간드를 포함하여 기판상에 제1 반응물을 흡착시키고,상기 제1 퍼지 장치는, 기판을 퍼지 가스로 퍼지하여 물리적으로 흡착된 제1 반응물을 제거하여, 화학적으로 흡착된 제 1반응물만을 남기고, 상기 제2 용기에 충진된 제2 반응물은 상기 기판에 화학적으로 흡착된 제1 반응물의 리간드와 화학 반응을 통해 물질층을 원자층 단위로 형성하고, 상기 제2 퍼지 장치는, 기판을 퍼지 가스로 퍼지하여 제1반응물과 제2 반응물 간의 화학 반응에 의해 생성된 부산물과 과잉으로 물리적으로 흡착된 제2 반응물을 제거하는 것을 특징으로 하는 표면 반응을 이용한 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템
4 4
제 3항의 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템을 하나의 증착군으로 하여 다수의 증착군을 반복 배치하여 소정의 박막을 형성하는 인라인(In-line) 방식의 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템
5 5
박막을 이루는 원소와 리간드를 포함하는 제1 반응물이 액체 상태로 담긴 제1 용기;기판을 퍼지 가스로 퍼지하는 퍼지 장치; 및제2 반응물이 담긴 제2 용기;를 포함하고,상기 퍼지 가스는 제1 반응물 및 제2 반응물과 반응하지 않는 것으로 구성하고,기판은 기판 이송 수단에 의해, 제1 용기에 담갔다 꺼내어져 상기 퍼지 장치에서 1차 퍼지 된 후, 제2 용기에 담갔다 꺼내어져 상기 퍼지 장치에서 2차 퍼지 되며,상기 제1 용기에 담긴 제1 반응물은 박막을 이루는 원소와 리간드를 포함하여 기판상에 제1 반응물을 흡착시키고,상기 퍼지 장치는 1차 퍼지에서 기판을 퍼지 가스로 퍼지하여 물리적으로 흡착된 제1 반응물을 제거하여, 화학적으로 흡착된 제 1반응물만을 남기고, 상기 제2 용기에 담긴 제2 반응물은, 상기 기판에 화학적으로 흡착된 제1 반응물의 리간드와 화학 반응을 통해 물질층을 원자층 단위로 형성하고, 상기 퍼지 장치는 2 차 퍼지에서 기판을 퍼지 가스로 퍼지하여 제1 반응물과 제2 반응물 간의 화학 반응에 의해 생성된 부산물과 과잉으로 물리적으로 흡착된 제2 반응물을 제거하는 것을 특징으로 하는 표면 반응을 이용한 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템
6 6
제1항에 있어서, 상기 제1 반응물에 기판이 담가지는 시간과 상기 제2 반응물에 기판이 담가지는 시간은 0
7 7
제3항에 있어서, 상기 제1 반응물이 담긴 제1 용기에 기판이 담가지는 시간과 상기 제2 반응물이 담긴 제2 용기에 기판이 담가지는 시간은 0
8 8
제1항에 있어서, 상기 제1 퍼지 단계와 제2 퍼지 단계는 각각 퍼지 시간 또는 퍼지 가스의 압력을 조절하는 것에 의해, 상기 제1 퍼지 단계와 제2 퍼지 단계는 각각, 상기 물리적으로 흡착된 제1 반응물과, 상기 부산물과 과잉으로 흡착된 제2 반응물을 일부만 제거하고 일부는 잔류하게 하는 것을 특징으로 하는 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법
9 9
제3항에 있어서, 상기 제1 퍼지 장치와 상기 제2 퍼지 장치에 주입되는 퍼지가스의 압력과 퍼지 시간을 상호 조절하는 것에 의해, 상기 물리적으로 흡착된 제1 반응물 및 상기 부산물 및 상기 물리적으로 흡착된 제2 반응물을 일부만 제거하고 일부는 잔류하게 하는 것을 특징으로 하는 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템
10 10
제5항의 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템을 하나의 증착군으로 하여 다수의 증착군을 반복 배치하여 소정의 박막을 형성하는 인라인(In-line) 방식의 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템
11 11
제5항에 있어서, 상기 퍼지 장치에 주입되는 퍼지 가스의 압력과 퍼지 시간을 상호 조절하는 것에 의해, 상기 물리적으로 흡착된 제1 반응물 및 상기 부산물 및 상기 물리적으로 흡착된 제2 반응물을 일부만 제거하고 일부는 잔류하게 하는 것을 특징으로 하는 액체 기체 하이브리드 원자층 증착법을 이용한 박막 형성 시스템
12 12
제5항에 있어서, 상기 제1 반응물이 담긴 제1 용기에 기판이 담가지는 시간과 상기 제2 반응물이 담긴 제2 용기에 기판이 담가지는 시간은 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 부산대학교 산학협력단 소재원천기술개발사업 원자/나노 복합 구조제어에 의한 다기능성 전자저항막 기술
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