1 |
1
입력 광섬유가 고정된 입력단과, 상기 입력단으로부터 일정거리만큼 이격되어 있으며 다수의 출력 광섬유들이 고정된 출력단이 일체로 구비되어 있는 플랫폼과; 상기 입력 광섬유와 정렬된 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬된 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있으며, 상기 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에 장착된 PLC 기판으로 구성으로 구성되며, 상기 플랫폼의 입력단과 출력단에는 V-홈들이 더 형성되어 있으며, 상기 입력 광섬유와 출력 광섬유는 상기 V-홈에 각기 삽입되어 고정되어 있고, 상기 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 상기 PLC기판을 장착하기 위한 홈이 더 형성되어 있으며, 상기 홈에 PLC 기판의 광도파로가 삽입되어 있고,상기 홈의 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있고, 상기 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며, 상기 플랫폼과 PLC 기판의 고정용 V-홈들 각각에는 광섬유가 삽입되어, 상기 PLC 기판이 상기 플랫폼에 정렬 및 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
삭제
|
4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 입력단의 V-홈과 출력단의 V-홈들이 각각 상기 PLC기판을 장착하기 위한 홈과 접하는 영역들에는, 상기 V-홈들과 수직하며, 일정간격을 갖는 홈이 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 플랫폼과 PLC 기판의 고정용 V-홈들 각각에 삽입되어 있는 광섬유는 상기 입력 및 출력 광섬유와 직경이 동일한 것을 특징으로 하는 광 스플리터
|
7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 홈의 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며; 상기 플랫폼과 PLC 기판의 정사각형 고정용 V-홈들 각각에는 구(球)가 삽입되어, 상기 PLC 기판이 상기 플랫폼에 정렬 및 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터
|
8 |
8
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 입력 및 출력 광섬유가 삽입되는 V-홈과, 플랫폼과 PLC 기판 고정용 V-홈의 폭(W)은, 하기 식(1)을 만족하는 것을 특징으로 하는 광 스플리터
|
9 |
9
입력단에 입력 광섬유를 삽입시킬 수 있으며, 상기 입력단으로부터 일정거리만큼 이격되어 있는 출력단에 다수의 출력 광섬유들을 삽입시킬 수 있는 V-홈들이 형성되어 있으며, 상기 입력단과 출력단 사이에 홈이 형성되어 있는 플랫폼을 준비하는 제 1 단계와;상기 입력 광섬유와 정렬되는 입력 광도파로 코어와, 이 입력 광도파로 코어에서 다수 분기되어 상기 다수의 출력 광섬유들과 각각 정렬되는 출력 광도파로 코어들을 갖는 광도파로가 형성되어 있는 PLC 기판을 준비하는 제 2 단계와;상기 플랫폼의 홈에 상기 PLC 기판의 광도파로를 삽입시켜 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 제 3 단계와;상기 플랫폼의 입력단 및 출력단의 각각의 V-홈들에 광섬유를 삽입시켜 정렬 및 고정시키는 제 4 단계로 구성되며,상기 제 1 단계의 플랫폼의 홈 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며; 상기 제 2 단계의 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며;상기 제 3 단계에, 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들 각각에 광섬유들을 삽입시킨 후, 각각의 광섬유들에 PLC 기판의 고정용 V-홈들을 삽입시켜, 상기 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 것이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법
|
10 |
10
제 9 항에 있어서,상기 제 2 단계에서,상기 PLC 기판은 실리콘 기판이며; 상기 광도파로는, 실리콘 기판 상부를 식각하여 홈을 형성하는 단계와,상기 식각된 홈 내부에 실리카 재료를 도포한 후, CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정을 수행하여 도포된 실리카 재료의 상면을 실리콘 기판의 상면과 일치시켜 하부 클래드층을 형성하는 단계와; 상기 하부 클래드층 상부에 실리카를 증착하고, 증착된 실리카를 반응성 이온 식각(RIE) 방법으로 식각하여 광도파로 코어를 형성하는 단계와; 상기 광도파로 코어를 감싸며, 하부 클래드층 상부에 하부 클래드층과 동일한 굴절률을 갖는 실리카 재료를 증착하여 상부 클래드층을 형성하는 단계를 수행하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법
|
11 |
11
삭제
|
12 |
12
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 플랫폼의 홈 양측에 해당하는 플랫폼의 입력단과 출력단 사이에는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며; 상기 제 2 단계의 광도파로가 형성된 PLC 기판에는 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들과 대응되는 입구가 정사각형인 고정용 V-홈들이 더 형성되어 있으며; 상기 제 3 단계에, 상기 플랫폼의 고정용 V-홈들 각각에 구(球)들을 삽입시킨 후, 각각의 구(球)들에 PLC 기판의 고정용 V-홈들을 삽입시켜, 상기 PLC 기판을 상기 플랫폼에 정렬 및 고정시키는 것이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법
|
13 |
13
제 9 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 입력 및 출력 광섬유가 삽입되는 V-홈과, 플랫폼과 PLC 고정용 V-홈의 폭(W)은, 하기 식(1)을 만족하는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법
|
14 |
13
제 9 항 또는 제 12 항에 있어서,상기 입력 및 출력 광섬유가 삽입되는 V-홈과, 플랫폼과 PLC 고정용 V-홈의 폭(W)은, 하기 식(1)을 만족하는 것을 특징으로 하는 광 스플리터의 제조 방법
|