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미소 반사체의 회전각도 측정장치

  • 기술번호 : KST2014048220
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 수십 마이크로미터 크기의 회전 미소 반사체를 시각적으로 간단히 초기 위치에 정확히 위치시킬 수 있고, 미소 반사체의 미소 단위의 회전각도를 정확하게 측정한다.X축, Y축 및 Z축으로 구동되는 3축 구동 테이블과, 상기 3축 구동 테이블 상에 설치되고 회전각도를 측정하기 위한 미소 반사체와, 미소 반사체에 일체로 구비되어 미소 반사체를 회전시키는 액츄에이터와, 상기 미소 반사체의 전방에 설치되어 입사되는 광을 전기적 신호로 변환하는 광 센서 어레이와, 광을 발생하는 광원과, 상기 광원의 광을 평행광으로 변환하는 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈를 통과한 광을 분할하여 상기 미소 반사체 및 광 센서 어레이로 출력하는 빔 스플리터와, 상기 빔 스플리터와 상기 미소 반사체의 사이에 구비되는 대물렌즈, 시각적으로 미소 반사체를 확인하기 위한 조명과 조명 스플리터로 구성됨을 특징으로 한다.반사체, 회전각도, 대물렌즈, 광 센서 어레이
Int. CL G02B 26/00 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020020022333 (2002.04.23)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0425770-0000 (2004.03.22)
공개번호/일자 10-2003-0083931 (2003.11.01) 문서열기
공고번호/일자 (20040401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.04.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박광범 대한민국 경기도평택시
2 김건년 대한민국 경기도오산시
3 박효덕 대한민국 경기도평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2002-0122228-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.01.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0008531-03
4 등록결정서
Decision to grant		 2004.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0100870-95
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
1 1

광을 발생하는 광원;

상기 광원의 광을 평행광으로 변환하는 콜리메이터 렌즈;

상기 콜리메이터 렌즈를 통과한 광을 둘로 분할하는 빔 스플리터;

상기 빔 스플리터에서 분할되어 입사되는 하나의 광을 반사시키는 미소 반사체;

상기 미소 반사체에 회전 변위를 발생시키는 액츄에이터;

상기 미소 반사체를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키는 3축 구동 테이블;

상기 빔 스플리터와 상기 미소 반사체의 사이에 구비되어 상기 빔 스플리터에서 분할된 하나의 광을 상기 미소 반사체에 입사시키고 미소 반사체에서 반사된 광이 상기 빔 스플리터를 통과하게 하는 대물렌즈;

상기 빔 스플리터에서 분할된 다른 하나의 광 및 상기 미소 반사체에서 반사되어 상기 대물렌즈 및 빔 스플리터를 통과한 광을 수광하여 전기적 신호로 변환하는 광 센서 어레이로 구성됨을 특징으로 하는 미소 반사체의 회전각도 측정장치

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 미소 반사체는;

상기 대물렌즈의 초점 위치에 위치시키는 것을 특징으로 하는 미소 반사체의 회전각도 측정장치

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 빔 스플리터와 광 센서 어레이의 사이에는;

상기 빔 스플리터를 통과한 광을 분할하여 작업자가 시각적으로 확인할 수 있도록 하는 또 하나의 빔 스플리터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미소 반사체의 회전각도 측정장치

4 4

제 1 항에 있어서, 콜리메이터 렌즈 및 빔 스플리터의 사이에는;

상기 미소 반사체를 작업자가 시각적으로 확인할 수 있도록 조명 및 조명 스플리터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미소 반사체의 회전각도 측정장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.