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기판과; 상기 기판의 내부에 형성되며, 한쪽 끝단에는 광원으로부터 광이 입사되며 다른 쪽 끝단에는 상기 입사된 광을 반사시키기 위한 브래그 격자가 형성되어 있는 제1 광도파로와; 상기 제1 광도파로 및 상기 기판 위에 형성되며, 상기 제1 광도파로보다 굴절율이 작으며 광 투과가 가능한 광학 박막층과; 상기 광학 박막층 위에 형성되며, 상기 제1 광도파로와 중첩되는 광 결합 부분으로부터 광이 전파되어 제1 끝단에서는 전파된 광을 변위 측정을 위한 변위 측정 반사체에 조사시키고, 제2 끝단에서는 상기 제1 광도파로의 상기 브래그 격자에 의해 반사된 광과 상기 변위 측정 반사체에 의해 반사된 광의 위상 차에 의해 간섭광이 형성되는 제2 광도파로를 포함하는 변위 측정 장치
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제1항에서, 상기 제1 및 제2 광도파로는 직각 형태로 굽은 단일 모드의 광도파로인 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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제1항에서, 상기 제1 및 제2 광도파로는 광결합 부분에서 상기 광학 박막층을 통해 수직으로 광 결합이 이루어지는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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제3항에서, 상기 광결합 부분에 의해 상기 제1 광도파로로 입사된 광은 상기 제1 및 제2 광도파로로 각각 광세기가 50:50으로 분리가 되는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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제1항에서, 상기 제2 광도파로의 상기 제1 끝단으로부터 조사되는 광을 평행 광으로 변환되어 상기 변위 측정 반사체로 조사시키며, 상기 변위 측정 반사체로부터 반사된 광을 집속하여 상기 제2 광도파로로 재입사시키는 렌즈를 더 포함하는 변위 측정 장치
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제5항에서, 상기 제2 광도파로의 상기 제1 끝단에 형성된 무반사 코팅막을 더 포함하는 변위 측정 장치
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제6 항에서, 상기 제2 광도파로의 제2 끝단에 형성된 간섭광을 측정하기 위해 연결된 광 섬유와, 상기 연결된 광 섬유를 통해 진행된 간섭광의 변화를 측정하기 위한 광 센서를 더 포함하는 변위 측정 장치
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제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에서, 상기 브래그 격자는 상기 제1 광도파로의 표면을 광의 진행방향과 수직하게 일정 깊이, 일정 간격의 주기로 식각하여 형성하는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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제8항에서, 상기 일정 간격의 주기는 입사광의 파장을 λ, 상기 제1 광도파로의 유효 굴절율을 neff이라 할 때, λ/(2neff)의 값을 만족하는 것을 특징으로 하는 변위 측정 장치
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