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새로운 실리콘, 실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 에이치비티 기반의 커패시터가 없는 디램 셀

  • 기술번호 : KST2014048303
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 베이스 기재의 기판상에 수직형의 핀 구조로 형성되는 실리콘게르마늄 재질의 바디; 상기 바디의 길이 방향의 좌우 측면에 형성되는 실리콘 재질의 소스(Source) 및 드레인(Drain); 및 상기 바디의 상하 측면에 분리된 이중 구조 형태로 독립되게 형성되는 상부 게이트 및 하부 게이트를 포함하며, 상기 상부 게이트 및 하부 게이트는 바디와 접하는 면으로부터 순차로 실리콘의 캡핑 층(Si capping layer)과, 게이트 옥사이드(Gate Oxide)를 더 구성하며, 커패시터가 없는 디램 셀의 구성에서 하나의 트랜지스터로 동작하는 채널로 사용되는 상기 바디를 실리콘게르마늄을 사용하여 구성함으로써, 충격 이온화률이 향상되도록 하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.본 발명에서 제안하고 있는 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀에 따르면, 실리콘게르마늄 재질의 바디의 좌우에 실리콘 재질의 소스 및 드레인을 형성하고, 바디의 상하에 분리된 이중 구조 형태로 독립된 상부 게이트 및 하부 게이트를 형성하는 새로운 구조를 제공함으로써, 오버랩되지 않은 영역의 비율을 높게 가져가면서도 향상된 캐리어 생성률에 의해 더욱 낮은 드레인 전압에서 래치를 발생시킬 수 있고, 큰 센싱 마진을 가질 수 있도록 한다.또한, 본 발명에 따르면, 게이트와 소스 및 드레인이 오버랩 되지 않는 구조와, 이중 게이트 구조, 및 소스와 드레인에 실리콘을 사용하고 바디에 실리콘게르마늄을 사용하는 이중 이종 접합을 형성하는 새로운 디램 셀의 구조를 제공함으로써, 잉여 캐리어(홀) 생성률, 전류 이득, 데이터 저장을 위한 잉여 전하의 보유 시간 등의 특성이 향상되고, 또한 높은 도핑 농도에 의한 밴드 갭 네로우잉 효과에 덜 민감한 특성을 얻을 수 있으며, 저전압 동작이 가능하도록 한다.
Int. CL H01L 27/108 (2006.01) H01L 27/10 (2006.01) H01L 21/8242 (2006.01)
CPC H01L 27/10802(2013.01) H01L 27/10802(2013.01) H01L 27/10802(2013.01) H01L 27/10802(2013.01)
출원번호/일자 1020110110834 (2011.10.27)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1113990-0000 (2012.02.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120305) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.10.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신자선 대한민국 서울특별시 성북구
2 김동명 대한민국 서울특별시 강남구
3 김대환 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김건우 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이동 ***호 특허그룹덕원 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0845660-16
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0991296-35
3 등록결정서
Decision to grant
2012.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0054680-79
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 기재의 기판상에 수직형의 핀 구조로 형성되는 실리콘게르마늄 재질의 바디;상기 바디의 길이 방향의 좌우 측면에 형성되는 실리콘 재질의 소스(Source) 및 드레인(Drain); 및상기 바디의 상하 측면에 분리된 이중 구조 형태로 독립되게 형성되는 상부 게이트 및 하부 게이트를 포함하며,상기 상부 게이트 및 하부 게이트는 바디와 접하는 면으로부터 순차로 실리콘의 캡핑 층(Si capping layer)과, 게이트 옥사이드(Gate Oxide)를 더 구성하며,커패시터가 없는 디램 셀의 구성에서 하나의 트랜지스터로 동작하는 채널로 사용되는 상기 바디를 실리콘게르마늄을 사용하여 구성함으로써, 충격 이온화률이 향상되도록 하는 것을 특징으로 하는, 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀
2 2
제1항에 있어서, 상기 바디는,충격 이온화률의 향상의 결과로부터 데이터 “1” 쓰기의 효율이 증가하고 센싱 마진이 향상되도록 기능하는 것을 특징으로 하는, 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀
3 3
제1항에 있어서, 상기 바디는,실리콘게르마늄을 사용하여 구성함으로써, 가전자 대역에 생성되는 에너지 장벽에 의해 잉여 홀들의 보유시간(리텐션(retention) 특성)이 향상되도록 기능하는 것을 특징으로 하는, 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀
4 4
제1항에 있어서, 상기 바디는,커패시터가 없는 디램 셀의 구성에서 하나의 트랜지스터에 존재하는 기생 BJT의 전류 이득을 향상시키기 위해 실리콘게르마늄을 사용하여 구성함으로써, 상기 실리콘 재질의 소스 및 드레인과 이중 헤테로 접합을 형성하는 것을 특징으로 하는, 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀
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제1항에 있어서,커패시터가 없는 디램 셀의 구성에서 소스 및 드레인에 실리콘을 사용하고, 바디에 실리콘게르마늄을 사용함으로써, 증가된 전자-홀-쌍의 생성과 형성되는 에너지 장벽을 이용한 동작 전압(래치 전압)을 줄일 수 있도록 기능하는 것을 특징으로 하는, 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀
6 6
제1항에 있어서,커패시터가 없는 디램 셀의 구성에서 소스 및 드레인에 실리콘을 사용하고, 바디에 실리콘게르마늄을 사용함으로써, 밴드 갭 네로우잉 효과에 의해 전류 이득이 감소하고 성능이 열화 되는 현상을 막을 수 있도록 기능하는 것을 특징으로 하는, 새로운 실리콘/실리콘게르마늄 이종 접합을 갖는 이중 HBT 기반의 커패시터가 없는 디램 셀
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 국민대학교 산학협력단 기초연구사업-중견연구자(핵심연구) 차세대 디스플레이용 산화물 반도체 TFT를 위한 집적화된 Thermo-Opto-Electronic 특성 분석 플랫폼 개발 및 응용