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발광 다이오드의 물리적 구조를 위치의 함수로 표현하는 구조 데이터를 준비하는 단계;상기 발광 다이오드의 저항 특성을 위치의 함수로 표현하는 저항 데이터를 준비하는 단계; 및상기 구조 데이터 및 상기 저항 데이터를 이용하여, 상기 발광 다이오드의 광학적 특성을 위치의 함수로 표현하는 광학적 분포 데이터를 추출하는 단계를 포함하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 발광 다이오드는 차례로 적층된 하부 반도체층, 활성층, 상부 반도체층, 투명 전극 및 상부 전극, 그리고 상기 하부 반도체층의 소정 영역에 접속하는 하부 전극을 포함하고, 상기 하부 및 상부 반도체층들, 상기 활성층, 상기 투명 전극, 그리고 상기 하부 및 상부 전극들 각각은 복수개의 하위 영역들을 포함하되, 상기 구조 데이터는 상기 하부 및 상부 반도체층들, 상기 활성층, 상기 투명 전극, 그리고 상기 하부 및 상부 전극들 각각의 하위 영역들의 공간적 배치를 위치의 함수로 표현하도록 준비되는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 저항 데이터는 상기 하부 및 상부 반도체층들, 상기 투명 전극, 그리고 상기 하부 및 상부 전극들 각각의 하위 영역들의 저항값들; 서로 접촉하는 상기 하부 반도체층과 상기 하부 전극의 하위 영역들 사이의 접촉 저항값들; 및서로 접촉하는 상기 상부 반도체층과 상기 투명 전극의 하위 영역들 사이의 접촉 저항값들을 표현하도록 준비되는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 저항 데이터는 상기 하부 전극, 상기 상부 전극 및 상기 투명 전극의 각 하위 영역들의 면저항값들을 표현하도록 준비되는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 광학적 분포 데이터를 추출하는 단계는 상기 구조 데이터 및 상기 저항 데이터를 이용하여, 위치의 함수로 상기 활성층의 하위 영역들에 인가되는 전압을 표현하는 전압 분포 데이터를 구하는 단계;상기 얻어진 전압 분포 데이터를 이용하여, 위치의 함수로 상기 활성층의 하위 영역들 각각을 흐르는 전류를 표현하는 전류 분포 데이터를 구하는 단계; 및상기 얻어진 전류 분포 데이터를 이용하여, 위치의 함수로 상기 활성층의 하위 영역들 각각에서 방출되는 광의 세기를 표현하는 광 분포 데이터를 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 전류 분포 데이터를 구하는 단계는 상기 전압 분포 데이터를 이용하여, 상기 활성층의 하위 영역들 각각의 양단에 인가되는 전압 차이를 계산하는 단계; 및상기 전압 차이에 발생되는 상기 활성층의 하위 영역들 각각을 흐르는 다이오드 전류를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 하부 전극은 금속성 물질들 중의 한가지를 포함하고, 상기 하부 반도체층은 n-GaN층을 포함하고, 상기 활성층은 다양자웰층을 포함하고, 상기 상부 반도체층은 p-GaN층을 포함하고, 상기 투명 전극은 Ni/Au 또는 ITO층을 포함하고, 상기 상부 전극은 금속성 물질들 중의 한가지를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광학적 분포 데이터를 추출하는 단계는 상기 발광 다이오드의 구조적 특성 및 공정적 특성을 특징짓는 특성 파라미터(characteristic parameter)를 이용하는 것을 특징으로 하되, 상기 특성 파라미터는 상기 구조 데이터에 상응하는 발광 다이오드의 구조적 특성 및 공정적 특성을 평가하기 위해 제작된 시험 발광 다이오드의 전류-전압 특성을 분석하여 얻어지는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법
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제 5 항의 발광 다이오드 제작을 위한 시뮬레이션 방법을 수행하는 시뮬레이션 시스템
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제 9항에 있어서, 상기 전압 분포 데이터, 상기 전류 분포 데이터 및 상기 광학적 분포 데이터를 저장하는 저장 매체를 더 포함하는 시뮬레이션 시스템
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제 9항에 있어서, 상기 전압 분포 데이터, 상기 전류 분포 데이터 및 상기 광학적 분포 데이터 중의 적어도 하나를 시각적으로 표시하는 사용자 인터페이스를 더 포함하는 시뮬레이션 시스템
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