| 1 |
1
관심 입자와 관심 표면간의 상호작용 힘을 측정하기 위해 원자현미경의 캔틸레버에 입자를 붙이도록 하는 콜로이달 프로브의 제작장치에 있어서, 상기 캔틸레버를 x, y, z축 방향과 각도로 움직여 위치를 조절할 수 있는 프로브핸드;상기의 관심 입자와 접착제를 올려놓을 수 있는 스테이지;상기 캔틸레버의 정면(front side)과 상기 스테이지에 올려놓은 입자 및 접착제를 확인하고 볼 수 있도록 하는 대물렌즈; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,열선을 이용한 방식, 발열 프로브를 이용한 방식 또는 적외선을 이용한 방식으로 접착제를 녹여 상기 스테이지에 올려진 접착제의 물성이 변하게 하는 히팅 블록부가 구비되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서 상기 스테이지에는 구비되어 있는 유리기판을 고정하기 위해 클립이 구비되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기의 각도는 스테이지에 올려놓은 입자를 캔틸레버에 붙이기 위해 0 ~ 90°의 범위로 조절이 가능하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서상기 대물렌즈는 스테이지의 하단부에 위치되지 않고 상단부에 위치되어 캔틸레버의 정면을 확인하고 볼 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 6 |
6
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 접착제는 고상접착제, UV접착제 및 액상접착제 중 어느 하나 선택되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 7 |
7
관심 입자와 관심 표면간의 상호작용 힘을 측정하기 위해 원자현미경의 캔틸레버에 입자를 붙이도록 하는 콜로이달 프로브의 제작장치에 있어서, 상기 캔틸레버를 x, y, z축 방향과 각도로 움직여 위치를 조절할 수 있는 프로브핸드와, 상기의 관심 입자와 접착제를 올려놓을 수 있는 스테이지와, 상기 캔틸레버의 정면(front side)과 상기 스테이지에 올려놓은 입자 및 접착제를 확인하고 볼 수 있도록 하는 스테이지의 하단부에 위치되어 있는 대물렌즈를 포함하되,열선을 이용한 방식, 발열 프로브를 이용한 방식 또는 적외선을 이용한 방식으로 접착제를 녹여 상기 스테이지에 올려진 접착제의 물성이 변하게 하는 히팅 블록부가 구비되고, 상기 스테이지에는 구비되어 있는 유리기판을 고정하기 위해 클립이 구비되며, 상기의 각도는 스테이지에 올려놓은 입자를 캔틸레버에 붙이기 위해 0 ~ 90°의 범위로 조절이 가능하고, 상기 접착제는 고상접착제, UV접착제 및 액상접착제 중 어느 하나 선택되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 대물렌즈는 스테이지의 하단부에 위치되지 않고 상단부에 위치되어 캔틸레버의 정면을 확인하고 볼 수 있도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작장치
|
| 9 |
9
콜로이달 프로브의 제작장치를 이용한 방법에 있어서,캔틸레버를 프로브핸드에 고정시키고 입자와 접착제를 스테이지에 올려놓은 단계;상기 캔틸레버의 위치와 상기 스테이지에 올려놓은 입자의 위치를 확인하기 위해 대물렌즈와 연결된 CCD 카메라와 모니터를 통해 확인하도록 하는 단계;상기에서 위치를 확인한 후에 열을 가하지 않은 접착제를 이용하거나 가열수단을 이용하여 스테이지에 올려놓은 접착제를 녹이는 단계;상기의 접착제를 이용하기 위해 프로브핸드를 x, y, z축 방향과 일정한 각도로 조절하여 캔틸레버에 접착제를 뭍이거나 바르는 단계;상기에서 접착제가 뭍여진 캔틸레버를 입자가 위치한 곳으로 이송하거나 스테이지의 위치를 조절하여 입자를 캔틸레버로 이송시키는 단계;상기에서 캔틸레버가 입자의 상부로 이송되면 상기 캔틸레버에 입자를 붙여 고정시키는 단계;를 실행하는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기에서 입자가 캔틸레버에 붙여 고정시키는 과정에서,상기 입자를 캔틸레버에 고정시키기 위해 열을 가한 접착제를 냉각수단을 이용하여 냉각시키거나 자외선을 조사시켜 접착제를 경화시키는 단계를 더 실행하는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작방법
|
| 11 |
11
제9항에 있어서,상기의 가열수단을 이용하여 스테이지에 올려놓은 접착제를 녹이는 단계에서,상기 가열수단의 방식으로는 열선을 이용한 방식, 발열 프로브를 이용한 방식 및 적외선을 이용한 방식 중에 어느 하나를 선택하여 실행하는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작방법
|
| 12 |
12
콜로이달 프로브의 제작장치를 이용한 방법에 있어서,캔틸레버를 프로브핸드에 고정시키고 입자와 접착제를 스테이지에 올려놓은 단계;상기 캔틸레버의 위치와 상기 스테이지에 올려놓은 입자의 위치를 확인하기 위해 대물렌즈와 연결된 CCD 카메라와 모니터를 통해 확인하도록 하는 단계;상기에서 위치를 확인한 후에 열을 가하지 않은 접착제를 이용하거나 가열수단을 이용하여 스테이지에 올려놓은 접착제를 녹이되, 상기 접착제를 녹이기 위해 열선을 이용한 방식, 발열 프로브를 이용한 방식 및 적외선을 이용한 방식 중에 어느 하나를 선택하여 가열수단의 방식으로 적용시켜 이루어지는 단계;상기의 접착제를 이용하기 위해 프로브핸드를 x, y, z축 방향과 일정한 각도로 조절하여 캔틸레버에 접착제를 뭍이거나 바르는 단계;상기에서 접착제가 뭍여진 캔틸레버를 입자가 위치한 곳으로 이송하거나 스테이지의 위치를 조절하여 입자를 캔틸레버로 이송시키는 단계;상기에서 캔틸레버가 입자의 상부로 이송되면 상기 캔틸레버에 입자를 붙여 고정시키는 단계;상기 입자를 캔틸레버에 고정시키기 위해 열을 가한 접착제를 냉각수단을 이용하여 냉각시키거나 자외선을 조사시켜 접착제를 경화시키는 단계;를 실행하는 것을 특징으로 하는 콜로이달 프로브의 제작방법
|
