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평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물을 제작하는 제1 단계와;단일 또는 다수의 폼(form)을 형성하여 상기 구조물의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와;상기 구조물의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제3 단계와;상기 금속 브라켓이 체결된 구조물의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 단계는:탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 상기 구조물을 제작하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제2 단계는:상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 구조물의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,상기 절삭된 단일 폼 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,상기 다수의 홈이 형성된 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 구조물 내부로 삽입하는 단계와,상기 구조물에 삽입된 단일 또는 다수의 폼 각각에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제3 단계는:상기 단일 또는 다수의 폼이 삽입된 구조물의 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료를 증착하거나 접착제를 도포하는 단계와,상기 유리섬유강화 복합재료가 증착되거나 접착제가 도포된 상기 구조물에 상기 금속 브라켓을 접착하고 볼트 체결하는 단계,를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,I형 프레임을 제작하는 제1 단계와,단일 또는 다수의 폼(form)을 형성하여 상기 I형 프레임의 양측 각각에 삽입하는 제2 단계와;상기 단일 또는 다수의 폼이 양측에 삽입된 I형 프레임의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제3 단계와;상기 금속 브라켓이 체결된 I형 프레임의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 제2 단계는:상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 I형 프레임의 양측에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,상기 절삭된 단일 폼 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,상기 다수의 홈이 형성된 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 I형 프레임의 양측에 각각 삽입하는 단계와,상기 I형 프레임의 양측에 각각 삽입된 단일 또는 다수의 폼에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 I형 프레임의 양측에 삽입되는 각각의 단일 또는 다수의 폼은:일측에 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제조된 구조재가 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 I형 프레임의 양측에 삽입되는 각각의 단일 또는 다수의 폼은:탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 제조되고 중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 구조물에 삽입되는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 제3 단계는:상기 단일 또는 다수의 폼이 양측에 삽입된 I형 프레임의 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료를 증착하는 단계와,상기 유리섬유강화 복합재료가 증착된 상기 I형 프레임에 상기 금속 브라켓을 접착하고 볼트 체결하는 단계,를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 6 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 다수의 ㅁ형 프레임을 제작하는 제1 단계와;단일 또는 다수의 폼을 형성하여 상기 ㅁ형 프레임의 중앙부 각각에 삽입하는 제2 단계와;상기 단일 또는 다수의 폼이 삽입된 각각의 ㅁ형 프레임을 접착하여 중복 ㅁ형 프레임을 형성하고, 상기 중복 ㅁ형 프레임의 상부와 하부에 보강판을 접착하는 제3 단계와;상기 중복 ㅁ형 프레임의 상부 및 하부에 접착된 보강판의 외부에 금속 브라켓을 체결하는 제4 단계와;상기 금속 브라켓이 체결된 중복 ㅁ형 프레임의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제5 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 제2 단계는:상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 ㅁ형 프레임 각각의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,상기 절삭된 단일 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,상기 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 ㅁ형 프레임의 내부로 각각 삽입하는 단계,상기 ㅁ형 프레임에 삽입된 단일 또는 다수의 폼 각각에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 제4 단계는:상기 중복 ㅁ형 프레임의 상부 및 하부에 접착된 각 보강판의 외부 표면에 유리섬유강화 복합재료를 증착하는 단계와,상기 유리섬유강화 복합재료가 증착된 상기 보강판에 상기 금속 브라켓을 접착하고 볼트 체결하는 단계,를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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평판 패널의 패터닝 장비, 디스플레이 제조 장비 또는 반도체 디바이스의 결함검사 장비에서 위치결정 시스템으로 사용되는 대면적 스테이지(stage)의 빔(beam) 제조 방법에 있어서,중앙부가 관통된 사각 형상을 갖는 금속 브라켓 및 탄소섬유 또는 케플러섬유의 장섬유강화 복합재료로 구조물을 제작하는 제1 단계와;단일 또는 다수의 폼을 형성하여 상기 금속 브라켓의 중앙부에 삽입하는 제2 단계와;상기 단일 또는 다수의 폼이 삽입된 금속 브라켓을 상기 구조물에 삽입하는 제3 단계와;상기 금속 브라켓이 삽입된 구조물의 외부 표면에 수지를 도포하여 수지층을 형성하는 제4 단계와;상기 금속 브라켓이 삽입된 구조물의 양단에 각각 앤드클로우저(end closure)를 결합하는 제5 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 제2 단계는:상기 단일 또는 다수의 폼을 상기 구조물의 중앙부에 삽입될 수 있는 크기로 각각 절삭하는 단계와,상기 절삭된 단일 또는 다수의 폼 각각에 다수의 홈을 파는 단계와,상기 다수의 홈이 형성된 단일 또는 다수의 폼 외부 표면에 수지를 도포하고 상기 금속 브라켓의 내부로 삽입하는 단계와,상기 금속 브라켓에 삽입된 단일 또는 다수의 폼 각각에 형성된 다수의 홈에 액상 수지를 충진하는 단계,를 포함하는 하는 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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제 16 항 또는 제 17 항에 있어서, 상기 단일 폼은 하나의 재질로 형성된 폼이며, 상기 다수의 폼은 재질이 상이한 다수의 단일 폼인 것을 특징으로 하는 대면적 스테이지의 빔 제조 방법
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