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초미세입자 응축핵계수기

  • 기술번호 : KST2014048454
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 0.1㎛이하의 초미세입자를 응축핵으로하여 입자를 성장시켜 초미세입자의 개수를 측정하는 초미세입자 응축핵계수기를 개시한다. 본 발명에 따른 초미세입자 응축핵계수기는 입자가 부유된 공기가 공급되며, 작동유체가 수용되어 있는 저장풀과; 저장풀과 일체로 형성되어 있고, 내부에 작동유체와 맞닿아 작동유체를 흡수하는 흡수재가 제공되어 있으며, 외벽에는 작동유체를 증기로 포화시키는 가열장치가 설치되어 있는 포화기와; 포화기의 하류에 위치하며, 포화된 증기가 응축되어 입자의 성장이 일어나는 모세관과; 모세관의 출구에 인접하여 설치되며 성장된 입자를 계수하는 광학장치와; 모세관의 하류에 위치하며 성장된 입자를 흡입하는 흡입수단으로 이루어져 있다. 따라서, 본 발명은 공기에 부유된 초미세입자를 신속하고 용이하게 계수할 수 있고, 알코올 뿐만 아니라 물등 작동유체를 다양하게 사용할 수 있는 효과가 있다. 또한, 반도체 클린룸에도 적용할 수 있으며, 고유량으로 입자의 개수를 측정할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020000056163 (2000.09.25)
출원인 학교법인 한양학원
등록번호/일자 10-0383547-0000 (2003.04.28)
공개번호/일자 10-2002-0024424 (2002.03.30) 문서열기
공고번호/일자 (20030512) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.09.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 한양학원 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안강호 대한민국 서울 강남구
2 김상수 대한민국 서울특별시강남구
3 정해영 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임영희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 삼환아르누보)(비씨코리아)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에이치시티 경기도 이천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2000-0200419-44
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2000-0143278-79
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2002-0006997-38
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0210862-52
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2002.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2002-0264205-38
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2002.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2002-0304117-46
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.10.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0341317-83
9 의견서
Written Opinion		 2002.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2002-0341318-28
10 등록결정서
Decision to grant		 2003.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0134688-87
11 출원인 변경 신고서
Applicant change Notification		 2003.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2003-0135867-85
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2010-5123478-19
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2017-5139199-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

작동유체가 수용되어 있는 저장풀과;

이 저장풀과 일체로 형성되어 있고, 내부에 상기 작동유체와 맞닿아 작동유체를 흡수하는 흡수재가 제공되어 있으며, 외벽에는 작동유체를 증기로 포화시키는 가열장치가 설치되어 있는 포화기와;

이 포화기의 하류에 위치하며, 포화된 증기가 응축되어 입자의 성장이 일어나는 모세관과;

이 모세관의 출구에 인접하여 설치되며 상기 성장된 입자를 계수하는 광학장치와;

상기 모세관의 하류에 위치하며 상기 성장된 입자를 흡입하는 흡입수단으로 이루어진 초미세입자 응축핵계수기

2 2

제1항에 있어서, 상기 모세관을 단열시키는 단열재를 더 포함하는 초미세입자 응축핵계수기

3 3

제1항에 있어서, 상기 흡입수단은 진공펌프인 초미세입자 응축핵계수기

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US06980284 US 미국 FAMILY
2 US20040012772 US 미국 FAMILY
3 WO2002029382 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AU9238101 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
2 AU9238101 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
3 US2004012772 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US6980284 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO0229382 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
6 WO0229382 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.