| 요약 |
본 발명은 자동 위상지연값 측정용 분광 타원 해석기에 관한 것으로, 광원과, 상기 광원의 빛을 편광시키는 편광 발생기와, 제 1 각속도로 회전하는 시편과, 제 2 각속도로 회전하는 회전 보상기와, 상기 편광 발생기로부터 상기 시편 및 상기 회전 보상기를 거쳐 입사된 빛을 분석하는 편광 분석기 및 상기 편광 분석기를 통과한 분광을 검출하는 검출기를 포함하는 분광 타원 해석기에 관한 것이다. 여기서, 상기 편광 발생기 및 상기 편광 분석기는 고정되어 있으며, 상기 시편이 상기 회전 보상기와 일정한 비로 동기화 되어 회전한다. 이로써, 시편이 지닌 위상지연값과 광축방향이 자동으로 측정할 수 있어 캘리브레이션 과정을 생략할 수 있으며, 이로인해 측정시간을 현저하게 감소시킬 수 있고, 캘리브레이션에 의한 측정오차를 없앨 수 있어 좀더 정확한 시편 정보를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 시편의 특성에 관계없이 측정값이 자동으로 나옴으로 인해 누구나 쉽게 분광 타원 해석기를 사용할 수 있다. 또한, 편광 발생기가 고정되어 있어 광원이 가진 잔류편광에 의한 오차를 없앨 수 있고, 광부품의 위치각을 제어하기 위한 제어 시스템이 필요 없기에 제작이 매우 간단해지는 효과가 있다. 분광 타원 해석기, 편광 발생기, 시편, 회전 보상기, 검출기, 위상지연값
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