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LED를 이용한 현미경 타원해석기

  • 기술번호 : KST2014048497
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 타원 해석기에 미세 영역 이메징 기능을 더한 현미경 타원해석기에 관한 것으로 특히, 일정치 이상의 조도를 유지하며 소정의 밴드 폭을 갖는 단색광을 조사하는 LED(300)와; 상기 LED로부터 조사되어지는 빛을 입력받아 빛의 진행 방향을 산란시켜 빛의 균질도를 향상시켜 출력하는 확산기(310)와; 상기 확산기를 경유하여 입사되는 빛을 타원편광으로 전환하여 시편측으로 출력하는 타원편광 형성수단과; 상기 시편(150)에 반사되어 편광상태가 변한 편광을 수용하여 빛을 확대시켜 출력하는 현미경(160); 및 상기 현미경(160)에 의해 확대되어진 빛을 입력받아 전기적인 신호로 인식하고 그에 따른 밝기의 상을 형성하는 2차원 어레이 검출기(180)를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED를 이용한 현미경 타원해석기를 제공하여, 광원으로 LED를 사용함으로써 레이저와 유사한 단색성을 확보하되 가격이 매우 저렴하며, 광원의 크기가 매우 작고 광원을 위한 별도의 전원공급부가 필요가 없어 장비의 소형화를 실현할 수가 있고, 광원이 매우 가벼워 입사각 조절에 대형 광학대 조절기구가 필요가 없어 장비의 이동이 용이하며, 수명이 매우 길고 견고하며 유지보수의 필요성이 거의 없다는 장점을 제공한다.LED, Imaging ellipsometer, 현미경, 타원 해석기
Int. CL G01J 4/04 (2006.01.01) G01B 11/30 (2006.01.01) G02B 5/30 (2006.01.01) G01N 21/21 (2006.01.01)
CPC G01J 4/04(2013.01)G01J 4/04(2013.01)G01J 4/04(2013.01)G01J 4/04(2013.01)
출원번호/일자 1020060034348 (2006.04.16)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0757378-0000 (2007.09.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070911) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 재발송
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기 안산시 상록구
2 천혁녕 대한민국 부산 사하구
3 오혜근 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박종한 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 * (구로동, 에이스하이엔드타워*차) ***호(한림특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2006-0262657-53
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.02.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0012784-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0167371-20
5 의견서
Written Opinion
2007.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0288364-13
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0288348-93
7 등록결정서
Decision to grant
2007.09.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0481376-35
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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일정치 이상의 조도를 유지하며 소정의 밴드 폭을 갖는 단색광을 조사하는 LED; 상기 LED로부터 조사되는 빛을 입력받아 빛의 진행 방향을 산란시켜 빛의 균질도를 향상시켜 출력하는 확산기; 상기 확산기를 경유한 빛을 입력받아 특정 밴드 폭을 갖는 파장의 빛만을 투과시켜 레이저와 유사한 단색성을 확보하는 레이저 라인 필터; 상기 레이저 라인 필터를 경유하여 입사되는 빛을 타원편광으로 전환하여 시편측으로 출력하는 타원편광 형성수단; 상기 시편에 반사되어 편광상태가 변한 편광을 수용하여 빛을 확대시켜 출력하는 현미경; 및상기 현미경에 의해 확대된 빛을 입력받아 전기적인 신호로 인식하고 그에 따른 밝기의 상을 형성하는 2차원 어레이 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED를 이용한 현미경 타원해석기
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삭제
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제 1항에 있어서, 상기 타원편광 형성수단은 상기 레이저 라인 필터를 통과한 빛을 입력받아 선형 편광시켜 출력하는 와이어 타입 편광기; 및상기 와이어 타입 편광기를 경유하여 편광상태를 갖는 선형적 빛을 입력받아 위상을 지연시켜 타원 편광 상태로 전환한 후 시편에 조사하는 위상 지연판으로 구성되는 것을 특징으로 하는 LED를 이용한 현미경 타원해석기
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제 3항에 있어서,상기 와이어 타입 편광기를 사용하는 경우, 상기 시편에 반사되어 편광상태가 변한 편광을 수용하여 특정 편광 성분만을 입력받아 투과시켜 상기 현미경측으로 제공하는 와이어 타입 분석기를 더 포함하는 LED를 이용한 현미경 타원해석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.