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서로 마주보며 회전 가능하게 설치된 한 쌍의 정반;상기 정반들 중 하나의 중심부에 회전 가능하게 구비된 내주 기어;상기 정반들 중 하나의 외주부에 회전 가능하게 구비된 외주 기어;상기 정반들에 마주보도록 부착되며, 웨이퍼를 연마하는 한 쌍의 연마 패드; 및상기 내/외주 기어에 고정되도록 상기 연마 패드들의 직경 방향으로 길게 설치되고, 상기 정반들이 회전됨에 따라 상기 연마 패드들의 표면에 부착된 이물질을 제거하는 복수개의 드레서;를 포함하고,상기 드레서는,길이 방향으로 긴 평판 형상의 몸체와,상기 몸체에 부착되고, 다이아몬드 드레싱층이 구비된 적어도 하나 이상의 세그먼트를 포함하며,상기 몸체는 상기 세그먼트가 안착되는 적어도 하나 이상의 홈이 구비되고,상기 세그먼트는 상기 몸체의 홈에 교체 가능하게 설치된 양면 연마장비
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제1항에 있어서, 상기 드레서들이 상기 내/외주 기어에 장착되면, 상기 내/외주 기어는 고정되고, 상기 정반들은 반대 방향으로 회전되는 양면 연마장비
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제2항에 있어서,상기 드레서는 원주 방향으로 일정 간격을 두고 복수개가 설치된 양면 연마 장비
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제1항에 있어서,상기 드레서는,상기 몸체의 길이 방향 단부를 상기 내/외주 기어에 고정시키는 한 쌍의 고정단을 더 포함하는 양면 연마장비
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제1항에 있어서,상기 드레서들은 상기 세그먼트가 상기 정반들과 마주보는 방향이 번갈아가면서 바뀌도록 설치된 양면 연마장비
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제5항에 있어서,상기 고정단들은 상기 몸체에 탈착 가능하게 설치된 양면 연마장비
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길이 방향으로 긴 평판 형상의 몸체;상기 몸체에 부착되고, 연마 패드를 연마시키는 다이아몬드 드레싱층이 구비된 적어도 하나 이상의 세그먼트; 및상기 몸체의 길이 방향 단부를 고정시키는 한 쌍의 고정단;을 포함하며,상기 몸체는 상기 세그먼트가 안착되는 적어도 하나 이상의 홈이 구비되고,상기 세그먼트는 상기 몸체의 홈들에 교체 가능하게 설치된 연마 패드용 드레서
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제10항에 있어서,상기 고정단들은 상기 몸체에 탈착 가능하게 설치된 연마 패드용 드레서
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제10항에 있어서,상기 세그먼트는 상기 연마 패드와 맞닿는 면의 모서리 부분이 둥글게 형성된 연마 패드용 드레서
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제10항에 있어서,상기 세그먼트는 사각 형상이고, 일정 간격을 두고 복수개가 배열된 연마 패드용 드레서
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제10항에 있어서,상기 세그먼트는 원주부에서 중심부로 갈수록 넓이가 넓게 형성된 연마 패드용 드레서
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