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센서 내부에 캔틸레버를 포함하며, 상기 캔틸레버에 특정물질이 포집되어 고유진동수 변화에 의하여 포집 물질의 질량을 측정하는 정전 구동형 캔틸레버 센서에 있어서,마이크로 레벨의 상단기판;상기 상단기판 하단에 위치하는 캔틸레버 층;상기 상단기판과 상기 캔틸레버 층 사이에 일정 영역에 형성되는 공간;상기 공간에 의하여 상기 캔틸레버 층의 일부에 형성되는 캔틸레버;상기 공간과 대응되는 상단기판에 형성되는 제1전극;상기 캔틸레버 층 중 상단기판과 대응되는 전체 면에 형성되는 제2전극; 및상기 제1전극 및 제2전극 사이에 전압을 인가하여 상기 캔틸레버의 진동을 야기하는 가진장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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청구항 1에 있어서, 상기 공간은 상기 캔틸레버 층의 일부 구성을 삭제하여 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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청구항 1에 있어서, 상기 공간은 상기 상단기판의 일부의 구성을 삭제하여 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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청구항 1에 있어서, 상기 캔틸레버의 변위를 측정하기 위한 레이저 간섭계 또는 옵티컬 레버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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청구항 4에 있어서, 상기 레이저 간섭계는 상기 캔틸레버의 변위를 측정하기 위하여 상기 캔틸레버에 레이저를 주사하는 레이저 발생기 및 상기 캔틸레버에서 반사된 레이저를 감지하여 상기 캔틸레버의 변위를 계산하는 수신부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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청구항 4에 있어서, 상기 레이저 발생기는 상기 캔틸레버의 변위 측정을 감도를 증가시키기 위하여 상기 캔틸레버의 끝단에 레이저를 주사하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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7
청구항 5에 있어서, 상기 가진장치는 상기 수신부에서 측정된 캔틸레버의 변위를 기초로 하여 상기 제1전극 및 제2전극에 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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8
청구항 7에 있어서, 상기 가진장치는 상기 수신부에서 측정된 캔틸레버의 변위를 증가시키는 형태로 상기 제1전극 및 제2전극에 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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9
청구항 7에 있어서, 상기 가진장치는 상기 수신부에서 측정된 캔틸레버의 변위신호와 동일한 형태로 한 주기 후에 상기 제1전극 및 제2전극에 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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청구항 7에 있어서, 상기 가진장치는 상기 수신부에서 측정된 캔틸레버의 변위신호를 중심점에 대하여 +와 -로만 인식하고, 각 부호와 동일한 방향으로 가진력이 발생하도록 상기 제1전극 및 제2전극에 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 정전 구동형 캔틸레버 센서
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