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실리콘 나노와이어가 형성되는 제 1 실리콘 기판과,상기 제 1 실리콘 기판과 접착되고, 상기 실리콘 나노와이어가 외부로 노출되도록 마이크로 유체채널이 형성되는 제 2 실리콘 기판과,일부가 상기 제 2 실리콘 기판에 삽입되도록 배치되고, 일부는 상기 제 2 실리콘 기판의 외부로 돌출되도록 배치되는 광 안내부와,상기 광 안내부의 일단으로부터 소정간격 이격되어 배치되는 광원부와,상기 실리콘 나노와이어 상에 배치되는 형광입자와 자성입자를 포함하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 모듈
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청구항 1에 있어서,상기 실리콘 나노와이어의 표면 및 상기 마이크로 유체채널에 증착되는 필터부를 더 포함하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 모듈
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청구항 2에 있어서,상기 필터부는 상기 실리콘 나노와이어 상에 유기박막이 다층으로 코팅되어 형성되고,상기 유기박막을 통과하는 빛의 파장은 상기 유기박막의 두께 및 굴절률에 따라 가변하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 모듈
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청구항 1에 있어서,상기 제 2 실리콘 기판의 상기 실리콘 나노와이어의 양단은 서로 반대 도핑되어 P-N접합 다이오드를 형성하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 모듈
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청구항 1에 있어서,상기 광 안내부는 상기 마이크로 유체 채널과 소정각도를 형성하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 모듈
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청구항 1에 있어서,상기 형광입자 및 상기 자성입자에 결합하는 리셉터를 더 포함하는 나노와이어 바이오센서 모듈
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청구항 1에 있어서,상기 마이크로 유체채널 상면과 배면에 배치되는 자기장 인가장치를 더 포함하는 실리콘 나노와이어 바이오센서 모듈
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