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고속 증발이 가능한 마그네트론 스퍼터링 증발원

  • 기술번호 : KST2014048936
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 증발되는 물질인 타겟, 상기 타겟을 지지하는 타겟홀더 및 상기 타겟 표면에 자력선을 형성시키는 다수개의 영구자석을 포함하는 마그네트론 스퍼터링 증발원에 있어서, 상기 자력선을 평활한 형태로 만들면서 자력선의 세기를 크게하는 자성체 디스크, 및 타겟홀더를 냉각시키기 위해 타겟홀더의 내주면에 접촉하여 설치되는 냉각수 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 증발원을 제공한다. 상기 자성체 디스크는 순철이 바람직하며, 상기 영구자석 사이 또는 타겟홀더 내에 삽입되는 것이 바람직하다. 본 발명은 자성체 디스크를 삽입하여 플라즈마 영역을 확대하므로써 다량으로 발생된 이온을 스퍼터링에 이용하고, 냉각방식의 변화로 냉각효율을 향상시켜 증발율을 대폭 향상시켰으며, 타겟 위의 자기력선 수평성분을 확대하여 타겟 효율을 향상시킨 것을 특징으로 하는 고속 증발용 스퍼터링 증발원을 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 마그네트론 스퍼터링 증발원은 타겟에 인가되는 전력이 30W/㎠이상이고, 4×10-5토르 이하의 진공도에서도 스퍼터링 할 수 있다. 마그네트론 스퍼터링 증발원, 고속 진공 증발, 타겟, 자성체 디스크
Int. CL C23C 14/35 (2006.01)
CPC H01J 37/32669(2013.01) H01J 37/32669(2013.01) H01J 37/32669(2013.01) H01J 37/32669(2013.01)
출원번호/일자 1020020082780 (2002.12.23)
출원인 재단법인 포항산업과학연구원
등록번호/일자 10-0489299-0000 (2005.05.03)
공개번호/일자 10-2004-0056209 (2004.06.30) 문서열기
공고번호/일자 (20050517) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재인 대한민국 경상북도포항시남구
2 정우철 대한민국 경상북도포항시남구
3 정창영 대한민국 경상북도포항시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인맥 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, *층 (양재동, 화승빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 포항산업과학연구원 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2002-0425688-43
2 보정통지서
Request for Amendment		 2003.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2003-0003919-47
3 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2003.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2003-0015928-91
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.06.15 수리 (Accepted) 4-1-2004-0025494-38
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0040389-55
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0445286-87
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.12.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0608811-35
9 의견서
Written Opinion		 2004.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2004-0608814-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2005-5020373-24
11 등록결정서
Decision to grant		 2005.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0177940-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-0019112-38
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.28 수리 (Accepted) 4-1-2016-5138263-79
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5211042-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
증발되는 물질인 타겟(17), 상기 타겟을 지지하는 타겟홀더(14) 및 상기 타겟 표면에 자력선(18)을 형성시키는 다수개의 영구자석(11,11',11")을 포함하는 마그네트론 스퍼터링 증발원에 있어서, 상기 자력선(18)을 평활한 형태로 만들면서 자력선의 세기를 크게하며, 각 영구자석(11, 11',11") 사이에 위치하는 자성체 디스크(16)와; 타겟홀더(14)를 냉각시키기 위해 타겟홀더(14)의 내주면에 접촉하여 설치되는 냉각수 라인(13)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 증발원
2 2
제1항에 있어서, 상기 자성체 디스크(16)는 순철인 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 증발원
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 자성체 디스크(16)는 타겟홀더(14) 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 증발원
5 4
제1항에 있어서, 상기 자성체 디스크(16)는 타겟홀더(14) 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 증발원
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.