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임프린트 장치

  • 기술번호 : KST2014048977
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 임프린트되는 몰드의 재질에 따라 가압부의 재질을 변경할 수 있어 기판 상에 미세한 패턴을 균일하고 안정적으로 구현할 수 있는 임프린트 장치에 관한 것으로, 광경화성 수지가 형성된 기판 상에 몰드를 적층하고 가압하여 스탬프 방식으로 임프린트 하도록 구성된 임프린트 장치에 있어서, 자외선을 조사하여 상기 광경화성 수지를 경화시키는 자외선 램프와, 상기 자외선 램프의 상부에 배치되며 광경화성 수지가 형성된 기판을 지지하는 쿼츠글래스를 포함하는 하부 챔버와, 상기 하부챔버의 상방에 배치되고, 내부에 공간부 형성하도록 측벽과 상면을 형성하며, 상기 하부챔버와 접촉 시 밀폐공간을 형성하는 상부챔버와, 상기 상부챔버에 탈착가능하게 배치되며, 상기 몰드와 상기 광경화성 수지가 형성된 기판이 밀착하도록 몰드를 가압하는 가압부 및 상기 밀폐공간의 기체를 흡입하여 진공상태로 만들고, 상기 공간부에 유압을 공급하는 진공펌프를 포함하는 임프린트에 관한 것이다.
Int. CL B29C 59/02 (2006.01) B29C 35/08 (2006.01)
CPC B29C 59/022(2013.01) B29C 59/022(2013.01) B29C 59/022(2013.01) B29C 59/022(2013.01) B29C 59/022(2013.01)
출원번호/일자 1020100049851 (2010.05.27)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1025316-0000 (2011.03.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110331) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.27)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장시열 대한민국 서울특별시 강남구
2 이기태 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0341632-26
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0421294-41
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0520197-65
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0596545-65
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0648168-19
6 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0648537-53
7 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2010.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2010.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0062584-64
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0557462-62
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.02.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0084655-04
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0084656-49
12 등록결정서
Decision to grant
2011.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0103437-95
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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광경화성 수지가 형성된 기판 상에 몰드를 적층하고 가압하여 스탬프 방식으로 임프린트 하도록 구성된 임프린트 장치에 있어서,자외선을 조사하여 상기 광경화성 수지를 경화시키는 자외선 램프와, 상기 자외선 램프의 상부에 배치되며 광경화성 수지가 형성된 기판을 지지하는 쿼츠글래스를 포함하는 하부 챔버;내부에 공간부를 형성하도록 측벽과 상면을 형성하며, 상기 공간부가 밀폐되도록 상기 하부챔버의 상부에 배치되는 상부챔버;금속재의 패널로 이루어져 상기 상부챔버의 측벽과 기밀하게 접하도록 상기 상부챔버에 탈착가능하게 배치되고, 하기 진공펌프에서 공급된 유압에 의해 승강하면서 상기 몰드와 상기 광경화성 수지가 형성된 기판이 밀착하도록 몰드를 가압하는 가압부;상기 공간부의 기체를 흡입하여 진공상태로 만들거나, 상기 공간부에 유압을 공급하는 진공펌프;를 포함하되, 상기 상부챔버의 상면과 상기 가압부는 상호 대응하는 위치에 전자석척을 형성하여, 전기 공급의 유무에 따라 상기 가압부가 상기 상부챔버에서 고정 및 해제되는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치
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제 1항에 있어서,상기 상부챔버의 측벽은 하단에 플랜지를 형성하고, 상기 가압부는 상기 플랜지에 걸쳐서 지지되는 걸림부를 외측으로 돌출형성하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치
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4 4
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 국민대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 UV 경화 레진의유체 압력과 층구조 몰드의 탄성 변형을 고려한임프린팅 몰드 패턴 변형 연구
2 서울특별시 국민대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(기술기반 구축사업) 나노공정 기술 및 장비개발 산학연 혁신 클러스터
3 교육과학기술부 국민대학교 산학협력단 우수연구센타사업(ERC)사업 클러스터/자기조립집적공정연구