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하기 화학식 1의 페로브스카이트 구조를 갖는 무연계 압전 세라믹스:003c#화학식 1003e#(1-x)(Na0
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제1항에서,상기 무연계 압전 세라믹스는 1) Na2CO3, K2CO3, Nb2O5, BaCO3, SrCO3 및 TiO2를 몰비 조성에 따라 칭량하여 혼합한 후 분쇄하는 단계;2) 상기 분쇄된 분말을 건조한 후 하소하는 단계;3) 상기 하소된 분말을 재분쇄하는 단계;4) 상기 재분쇄된 분말을 건조한 후 가압 성형하는 단계; 및5) 상기 성형된 시편을 소결하는 단계로부터 제조되는 것을 특징으로 하는 무연계 압전 세라믹스
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제2항에서, 단계 1)에서의 분쇄는 혼합물을 160 내지 180 rpm의 속도로 24 내지 72시간 동안 볼 밀링(ball milling)하여 수행되는 것을 특징으로 하는 무연계 압전 세라믹스
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제2항에서, 단계 2)에서의 하소는 600 내지 1100℃의 온도에서 1 내지 10시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 무연계 압전 세라믹스
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제2항에서, 단계 3)에서의 재분쇄는 볼 밀링 또는 어트리션 밀링(attrition milling)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 무연계 압전 세라믹스
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제5항에서, 상기 재분쇄는 하소된 분말을 160 내지 180 rpm의 속도로 24 내지 72시간 동안 볼 밀링하여 수행되는 것을 특징으로 하는 무연계 압전 세라믹스
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제5항에서, 상기 재분쇄는 하소된 분말을 180 내지 220 rpm의 속도로 1 내지 3시간 동안 어트리션 밀링하여 수행되는 것을 특징으로 하는 무연계 압전 세라믹스
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제7항에서, 상기 어트리션 밀링으로 재분쇄된 분말은 0
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제2항에서, 단계 5)에서의 소결은 900 내지 1200℃에서 1 내지 8시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 무연계 압전 세라믹스
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 무연계 압전 세라믹스를 포함하는 압전 소자
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