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구리확산 방지막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014049850
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 구리확산 방지막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 방지막 전구체를 공급하여 증착하는 제1단계; 상기 전구체의 공급 및 증착과 동시에 플라즈마 상태의 일정기체를 주입하여 상기 전구체를 둘러싸고 있는 유기 리간드를 일정시간 동안 제거하는 제2단계; 및 상기 제2단계 이후, 비활성 가스로 일정시간 동안 퍼지하는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/28 (2006.01) H01L 21/3205 (2006.01)
CPC H01L 21/76841(2013.01) H01L 21/76841(2013.01) H01L 21/76841(2013.01)
출원번호/일자 1020110036940 (2011.04.20)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1168756-0000 (2012.07.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120726) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최범호 대한민국 광주광역시 광산구
2 송상인 대한민국 전라남도 순천시 석현북길
3 이홍기 대한민국 인천광역시 연수구
4 이종호 대한민국 광주광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0294692-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0098957-13
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
6 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0410689-30
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구리확산 방지막의 제조방법에 있어서,방지막 전구체를 공급하여 증착하는 제1단계;상기 전구체의 공급 및 증착과 동시에 플라즈마 상태의 일정기체를 주입하여 상기 전구체를 둘러싸고 있는 유기 리간드를 일정시간 동안 제거하는 제2단계; 및상기 제2단계 이후, 비활성 가스로 일정시간 동안 퍼지하는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 구리확산 방지막의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 전구체는 이리듐(Ir)인 것을 특징으로 하는 구리확산 방지막의 제조방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제1단계의 전구체는 원자층 증착법을 이용하는 것을 특징으로 하는 구리확산 방지막의 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 제2단계는 수소 플라즈마를 이용하여 10초간 수행되는 것을 특징으로 하는 구리확산 방지막의 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 제3단계는 아르곤 가스를 이용하여 15초간 수행되는 것을 특징으로 하는 구리확산 방지막의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 방지막의 두께는 5nm이하인 것을 특징으로 하는 구리확산 방지막의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 제2단계 및 제3단계는 50회 수행되는 것을 특징으로 하는 구리확산 방지막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국생산기술연구원 소재원천기술개발사업 저저항 금속 배선 및 확산 방지막 소재 공정 기술