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몰리브덴이 도핑된 ITO계 TCO박막 및 이의 코팅방법

  • 기술번호 : KST2014049859
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 몰리브덴이 도핑된 ITO계 TCO 박막 및 이의 코팅방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판을 준비하는 단계 및 상기 기판상에 일정량의 몰리브덴 및 ITO를 동시에 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01) C23C 14/086(2013.01)
출원번호/일자 1020110041676 (2011.05.02)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1298490-0000 (2013.08.14)
공개번호/일자 10-2012-0123982 (2012.11.12) 문서열기
공고번호/일자 (20130821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.02)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태원 대한민국 광주광역시 광산구
2 허기석 대한민국 광주광역시 북구
3 김광영 대한민국 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0326966-08
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0044759-15
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0660490-04
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0987365-83
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0092624-01
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0173340-62
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0173351-64
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0388847-20
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2013.07.05 수리 (Accepted) 7-1-2013-0027074-71
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.08.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0699655-20
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0555881-46
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계; 및상기 기판상에 일정량의 몰리브덴 및 ITO를 동시에 증착하는 단계;를 포함하고,상기 증착 단계는 증착 온도 350℃에서 수행되고,상기 증착 단계는 Ar 가스 분위기에 Ar:O2비가 20:1 이하가 되는 산소를 주입시켜 수행하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴이 도핑된 ITO계 TCO 박막 코팅방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기판은 투명한 유리기판을 이용하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴이 도핑된 ITO계 TCO 박막 코팅방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 증착 단계는 RF magnetron 방식의 Combinatorial sputter를 이용하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴이 도핑된 ITO계 TCO 박막 코팅방법
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 증착 단계는 공정 압력 0
7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.