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음파 감쇠를 이용한 마이크로 점도계 및 이를 생산하기 위한 제조방법

  • 기술번호 : KST2014049901
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시예는 서로 간격을 두고 배치된 제 1 챔버 및 제 2챔버를 갖는 기판; 상기 제 1 챔버와 제 2 챔버가 상기 기판에 공간적으로 구획되도록 상기 기판 일면에 부착된 폴리머 재질의 커버; 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 덮도록 상기 기판 상부에 배치된박막; 상기 제 1 챔버와 대응되는 영역의 상기 박막 상부에 배치된 액추에이팅 부; 및 상기 제 2 챔버와 대응되는 영역의 상기 박막 상부에 배치된 센싱부를 포함하고, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버 사이에서 상기 박막을 관통하여 상기 기판의 일부까지 적어도 하나 이상의 메인 트랜치가 형성되는 음파 감쇠를 이용한 마이크로 점도계를 제공한다.
Int. CL B81B 7/02 (2006.01) G01N 11/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110067187 (2011.07.07)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1265236-0000 (2013.05.10)
공개번호/일자 10-2013-0007697 (2013.01.21) 문서열기
공고번호/일자 (20130516) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최성준 대한민국 대구광역시 북구
2 신대영 대한민국 인천광역시 연수구
3 이강원 대한민국 충청남도 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0519878-59
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0582942-21
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0985935-51
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0985926-40
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0178110-86
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.04.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0293444-93
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0293441-56
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0301605-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
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유체가 유입되는 유입구, 상기 유체가 유출되는 유출구, 상기 유입구와 상기 유출구에 각각 연결된 제 1 챔버와 제 2 챔버 및 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 서로 연결하는 마이크로 채널을 각각 공간적으로 구획하는 기판과 폴리머 재질의 커버를 포함하는 본체; 상기 제 1 챔버의 일측에 배치되고, 상기 제 1 챔버내의 유체와 함께 진동하는 제 1 박막; 상기 제 2 챔버의 일측에 배치되고, 상기 제 2 챔버내의 유체와 함께진동하는 제 2 박막;상기 제 1박막에 진동을 가하여 상기 제 1 챔버내의 상기 유체에 진동을 가하는 액추에이팅부; 및상기 제 1 박막의 진동에 의해 상기 마이크로 채널을 통해 상기 제 2 박막에 전달되는 상기 유체의 진동이나 압력을 센싱하는 센싱부를 포함하고,상기 제 1 챔버 및 제 2 챔버의 높이는 각각 상기 제 1박막 및 제 2박막의 제 1 차 공진 주파수와 대응되는 반파장의 길이와 실질적으로 동일하고,상기 제 1 챔버 및 제 2 챔버의 폭은 각각 상기 제 1 챔버 및 제 2 챔버의 높이보다 좁고,상기 기판의 저항값은 제 1박막 또는 제 2박막의 저항값보다 크고,상기 액추에이팅부와 상기 센싱부는 전기적으로 독립된 마이크로 점도계
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제 8항에 있어서,상기 제 1 박막과 제 2 박막은 각각 실리콘 웨이퍼와 상기 실리콘 웨이퍼 상, 하면에 증착된 절연막을 포함하는 마이크로 점도계
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제 10항에 있어서,상기 절연막은 Si 계열의 절연막인 마이크로 점도계
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소이(SOI) 웨이퍼 상에 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막 상에 하부전극층, 압전층, 상부전극층을 순차적으로 증착하는 단계;상기 하부전극층, 압전층, 상부전극층이 각각 제 1 파트와 제 2 파트로 나뉘어 이격되도록 패터닝 한 후, 상기 상부 전극층에 브리지 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 파트와 제 2 파트 사이에 상기 절연막에서부터 상기 소이 웨이퍼의 소정 깊이까지 트랜치를 형성하는 단계;상기 절연막이 형성되지 않은 상기 소이 웨이퍼 면에 마이크로 채널을 형성하고, 상기 제 1 파트와 제 2 파트에 각각 대응되게 챔버를 형성하는 단계; 및 상기 마이크로 채널과 상기 챔버가 공간적으로 구획되도록 상기 소이 웨이퍼 면에 투명한 재질의 커버를 부착하는 단계를 포함하는 마이크로 점도계 제작 방법
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제 12항에 있어서,상기 커버는 PMMA 혹은 PDMS인 마이크로 점도계 제작 방법
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제 12항에 있어서,상기 챔버와 상기 트랜치는 DRIE공정에 의해 형성되는 마이크로 점도계 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.