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중공 구조를 갖고 외부와의 단열을 위해 단열재가 구비된 챔버와;상기 챔버 내에서 실리콘 재료가 담겨진 도가니가 위치되는 받침대와;상기 챔버 내에서 도가니 상부에 위치되어 도가니 쪽에 열을 제공하는 상부 히터와;상기 챔버 내에서 도가니 둘레에 위치되어 도가니 쪽에 열을 제공하되, 상하로 분할된 구조를 갖는 측면 상부히터 및 측면 하부히터와;상기 받침대 쪽에 구비되어 상기 도가니 하부 쪽을 냉각시키는 열교환기와;상기 받침대에 도가니의 위치를 고정한 상태에서, 도가니 내의 응고부와 용융부의 경계면인 응고면과 상기 측면 상부히터의 하단부가 동일 높이에 위치되도록, 상기 측면 상부히터 및 상기 측면 하부히터를 상하 이동시키는 이송 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치
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청구항1에 있어서,상기 이송 기구는 이송 제어부와, 이 이송 제어부의 제어 신호에 따라 상기 챔버 및 그 안에 설치된 상부 히터, 측면 상부히터, 측면 하부히터를 상하 이동시키는 이송 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치
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청구항2에 있어서,상기 챔버의 하부에는 플랜지 모양의 확장된 구조를 갖는 이송 지지부가 구비되고,상기 이송 구동부는 상기 이송 지지부와 바닥 사이에 구비되어 상기 챔버를 상하 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치
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청구항1에 있어서,상기 챔버의 하부와 챔버가 위치된 바닥 구조물 사이에는 챔버 내부를 밀폐시킬 수 있도록 밀폐 구조물이 설치된 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치
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도가니가 위치될 수 있도록 공간부를 갖는 챔버와;상기 챔버 내에 구비되어 도가니가 올려지는 받침대와;상기 챔버 내의 도가니 둘레에 위치되고, 도가니 내의 실리콘 재료 응고면을 중심으로 상하로 분리되게 위치됨과 아울러 응고면을 따라 상하 이동 가능하게 이루어진 측면 상부히터 및 측면 하부히터와;상기 측면 상부히터 및 측면 하부히터를 상하 이동시키는 이송 기구와;상기 도가니의 하부쪽을 냉각시키는 열교환기와;상기 측면 상부히터의 온도를 실리콘 재료의 용융온도 이상의 온도로 제어하고, 상기 측면 하부히터의 온도를 실리콘 재료의 용융온도에 비하여 낮은 온도로 제어하는 제어부를 포함한 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치
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청구항5에 있어서,상기 측면 상부히터 및 측면 하부히터는 챔버 내에서 상하 이동 가능하게 이루어지고, 상기 이송 기구는 상기 챔버 내에서 상기 측면 상부히터 및 측면 하부히터를 지지하는 히터 지지체를 상하 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치
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청구항1 또는 청구항 5에 있어서,상기 열교환기는, 응고 속도 조절이 가능하도록 상기 도가니 하부 쪽으로부터 위치 조절이 가능하거나, 열 방출량을 변화시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치
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청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치를 이용한 것으로서,챔버 내의 받침대 위에 실리콘 재료가 담겨진 도가니를 투입하는 제1단계와;제1단계 후에, 청구항 1에 기재된 상부 히터 및 측면 상부히터를 작동시켜 도가니 내의 실리콘 재료를 용융시키는 제2단계와;제2단계 후에, 도가니 내의 실리콘 재료의 융융이 완료되면, 도가니 하부 쪽에 열교환기를 이용하여 도가니 내의 용융 실리콘을 하부로부터 응고시키는 제3단계와;제3단계를 진행함에 따라 도가니 바닥으로부터 점차 상측으로 응고가 진행될 때 액상과 고상의 경계면인 응고면을 중심으로 상기 측면 상부히터는 용융부 쪽에 위치되고, 측면 하부히터는 응고부 쪽에 위치되도록 측면 상부히터와 측면 하부히터를 점차 상승시키는 제4단계를 포함한 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 방법
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청구항8에 있어서,상기 제2단계 내지 제4단계는, 챔버 내부에 투입한 불활성 기체 분위기 또는 진공 분위기 하에서 진행하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 방법
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청구항8에 있어서,상기 제3단계 및 제4단계에서, 도가니 내의 용융 실리콘 응고 속도는 상기 열교환기의 열 방출량을 제어하는 방식으로 조절하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 방법
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