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위상 동기된 펄스 레이저 광을 출사하는 광원과;상기 광원에서 출사되는 광을 상호 다른 제1경로와 제2경로로 분배하는 광분배기와;상기 광분배기에 의해 분기되어 상기 제1광경로로 진행하는 광을 반사하는 제1기준부와;상기 광분배기에 의해 분기되어 상기 제2경로로 진행하는 광을 측정대상체로 전송하는 광전송부와;상기 측정대상체에서 반사되는 광과 상기 제1기준부에서 반사광이 중첩되어 수신되는 광을 검출하는 광검출부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 광검출부에 의해 검출된 간섭패턴 정보로부터 상기 측정대상체의 형상정보 또는 굴절율을 측정하는 측정부;를 더 구비하고,상기 광원, 상기 광분배기, 상기 광검출부 및 상기 측정부는 본체에 일체로 설치되어 있고, 상기 광전송부는 상기 본체의 상기 제2경로로 진행하는 광을 상기 본체에 마련된 어댑터에 접속된 광섬유를 통해 전송할 수 있도록 된 프로브 유니트를 구비하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 측정장치
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제2항에 있어서, 상기 어댑터는 상기 프로브 유니트를 탈착할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 측정장치
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제3항에 있어서, 상기 제1기준부는 상기 제1경로를 통해 진행되는 광을 상기 광분배기로 반사하는 기준미러와;상기 기준미러를 상기 측정부에 제어되어 진퇴시키는 스캔 구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 측정장치
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제4항에 있어서, 상기 광분배기는 빔스플릿터가 적용되며,상기 빔스플릿터는 상기 광원에서 출사되는 광을 상기 제1경로와, 상기 제1경로와 직교하는 방향의 상기 제2경로로 분배하고, 상기 기준부에서 반사되는 기준광 및 상기 측정대상체에서 반사된 검출광을 상기 제1경로 맞은 편 방향에 설치된 상기 광검출부로 전송하도록 설치된 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 측정장치
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제4항에 있어서, 상기 광분배기는 광커플러가 적용되며,상기 광커플러는 상기 광원에서 출사되는 광을 제1입력단을 통해 수신받아 상기 제1경로가 되는 제1출력단과 상기 제2경로가 되는 제2출력단으로 분배하여 출력하고, 상기 제1출력단에서 출력되어 상기 제1미러에서 반사된 기준광과, 상기 제2출력단에서 출력된 후 측정대상체에서 반사된 검출광을 상기 제1입력단과 다른 경로의 제3출력단을 통해 상기 광검출부로 전송하도록 설치된 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 측정장치
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