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잉곳을 안정적으로 슬라이싱할 수 있도록 구조가 개선된 잉곳 스윙방식의 와이어 쏘

  • 기술번호 : KST2014049937
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 잉곳을 선회시키면서 절단 와이어에 가압하여 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 쏘를 개시한다. 이송나사는 잉곳 승강프레임을 승하강시켜 잉곳을 주행하는 절단와이어로 승하강시킨다. 잉곳 스윙모터는 잉곳 스윙하우징 내의 잉곳을 절단평면을 따라 선회시킨다. 승강프레임의 승하강을 가이드하기 위한 승강 가이드레일은 그 연장평면이 절단와이어의 절단평면과 교차하도록 설치되며, 잉곳 스윙모터는 링크 동력전달기구(1100)에 의해 안정적이고 견고하게 잉곳 스윙모터의 회전력을 잉곳 스윙축에 전달한다. 링크전달기구(1100)의 링크절(1130)은 절단평면에 수직인 방향에서 서로 쌍을 이루어 상기 스윙모터와 잉곳 스윙축 사이에 설치된다. 이와 같은 구성에 따라, 안정되고 견고한 고강성 와이어 쏘장비가 제공될 수 있다.
Int. CL B26D 1/547 (2006.01) B28D 5/04 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) B24B 27/06 (2006.01)
CPC B28D 5/045(2013.01)
출원번호/일자 1020120037567 (2012.04.10)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1385663-0000 (2014.04.09)
공개번호/일자 10-2013-0115030 (2013.10.21) 문서열기
공고번호/일자 (20140421) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형재 대한민국 부산 북구
2 조형호 대한민국 부산광역시 수영구
3 이상직 대한민국 부산 금정구
4 김성렬 대한민국 부산광역시 서구
5 김도연 대한민국 부산 영도구
6 이태경 대한민국 경남 양산시 웅상대로 ***, *
7 박철진 대한민국 부산 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이상문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 남경빌딩 ***호(삼오국제특허법률사무소)
2 박천도 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 남경빌딩 ***호(삼오국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0287712-04
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0035254-94
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0719304-26
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1176768-37
8 등록결정서
Decision to grant
2014.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0211140-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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서로 이격된 적어도 2개의 워크롤러를 구비한 베이스 프레임:상기 워크롤러에 감겨 짐으로써 박판의 다수의 웨이퍼로 잉곳이 절단될 수 있도록 절단 평면을 형성하는 절단 와이어:상기 절단 평면에 대해 상향으로 돌출된 형상으로 상기 베이스 프레임에 설치된 칼럼:상기 절단 평면에 대해 승강 가능하게 상기 칼럼에 장착된 승강 프레임:상기 승강 프레임에 장착된 잉곳지지하우징:상기 잉곳지지하우징에 대해 회동 가능하게 장착된 스윙 중심축; 상기 스윙 중심축을 회동시키기 위한 잉곳스윙모터; 상기 잉곳스윙모터와 연결된 링크 구동축과, 상기 스윙중심축과 상기 링크 구동축 사이의 거리와 같은 길이를 가지며 상기 스윙 중심축과 상기 링크 구동축에 회동가능하게 장착된 링크절을 구비하는 링크 동력 전달기구; 및 상기 스윙 중심축의 회동에 따라 선회함으로써 잉곳이 와이어에 대해 스윙하여 다수의 박판의 웨이퍼로 절단될 수 있도록 상기 스윙 중심축과 결합된 잉곳스윙하우징:을 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘
2 2
제1항에 있어서,상기 링크절은, 상기 스윙 중심축과 상기 링크 구동축에 각각 볼조인트로 연결된 것을 특징으로 하는 와이어 쏘
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제1항에 있어서,상기 링크절은 2개가 일조를 이루어 서로 평행하게 배치된 것을 특징으로 하는 와이어 쏘
4 4
제1항에 있어서,상기 링크절의 일단부는, 상기 스윙중심축과 연결되는 가상선이 상기 절단평면과 평행하게 되도록 상기 스윙중심축과 회동 가능하게 장착되며,상기 링크절의 타단부는 상기 링크구동축과 연결되는 가상선이 상기 절단평면과 평행하게 되도록 상기 링크구동축과 회동가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘
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제4항에 있어서,상기 링크구동축은, 상기 스윙 중심축과 평행하게 연장 배치되어 상기 잉곳 지지하우징에 장착된 라인 샤프트인 것을 특징으로 하는 와이어 쏘
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제1항에 있어서, 상기 절단 와이어의 절단 평면과 마주하도록 잉곳을 장착할 수 있도록 상기 잉곳스윙하우징에 결합된 잉곳 마운팅블록; 상기 잉곳스윙하우징에 회전 자유롭게 지지되고, 외주연에 나사산이 형성된 이송 로드; 상기 이송 로드가 삽입되어 이송 로드의 회전에 따라 상기 잉곳스윙하우징에서 직선 이동될 수 있도록 나사공이 형성된 구동 블록; 상기 구동 블록의 이동 방향과 다른 방향으로 움직일 수 있도록 상기 구동 블록과 접촉하는 측방에 슬라이딩 면을 구비하며, 상기 구동 블록이 상기 슬라이딩 면과 접촉하여 움직이는 가동 블록; 상기 잉곳마운팅 블록에 부착된 도브테일;상기 도브테일이 수용될 수 있도록 상기 잉곳스윙하우징에 형성된 도브테일 슬롯; 및 상기 가동 블록에 의해 움직임으로써 상기 도브 테일이 상기 도브 테일 슬롯의 사면을 따라 끼워질 수 있도록 상기 도브테일 슬롯에 수용된 도브테일을 가압하는 압력 플레이트;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘
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패밀리정보가 없습니다
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