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별도의 선형이동유닛이 구비된 나노스테이지

  • 기술번호 : KST2014050001
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노스테이지에 관한 것으로서, 작업대상물이 놓여지는 작업대, 회전력을 인가받아 회전하여 상기 작업대를 축 방향으로 이송시키는 이송샤프트, 상기 이송샤프트를 회전 가능하게 지지하며 축 방향으로 구속시켜 고정 지지하는 지지유닛 및 압전소재로 이루어져 일측이 고정되고 타측이 상기 지지유닛과 결합되어 신축을 통해서 상기 지지유닛을 이동시킴으로써 상기 이송샤프트 전체를 축 방향으로 이동시키는 선형이동유닛을 포함하여 구성되는 별도의 선형이동유닛이 구비된 나노스테이지가 개시된다.
Int. CL B23Q 3/18 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) B23Q 5/40 (2006.01)
CPC B23Q 5/40(2013.01) B23Q 5/40(2013.01) B23Q 5/40(2013.01) B23Q 5/40(2013.01) B23Q 5/40(2013.01) B23Q 5/40(2013.01) B23Q 5/40(2013.01) B23Q 5/40(2013.01)
출원번호/일자 1020110116237 (2011.11.09)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1333738-0000 (2013.11.21)
공개번호/일자 10-2013-0051085 (2013.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20131128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.09)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강은구 대한민국 서울특별시 영등포구
2 최영재 대한민국 서울특별시 광진구
3 이동윤 대한민국 서울특별시 강서구
4 이석우 대한민국 경기도 성남시 분당구
5 김보현 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0883221-77
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0006798-39
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0263448-74
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0538468-13
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.07.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0647288-14
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0647257-10
11 등록결정서
Decision to grant		 2013.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0762935-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
작업대상물이 놓여지는 작업대;회전력을 인가받아 회전하여 상기 작업대를 축 방향으로 이송시키는 이송샤프트;상기 이송샤프트를 회전 가능하게 지지하며 축 방향으로 구속시켜 고정 지지하는 지지유닛; 및상기 이송샤프트와 별도로 분리되어 배치되며 길게 형성된 압전소재로 이루어져 일측이 고정되고 타측이 상기 지지유닛과 결합되어 신축을 통해서 상기 지지유닛을 이동시킴으로써 상기 이송샤프트 전체를 축 방향으로 이동시키는 선형이동유닛; 을 포함하며,상기 작업대는 상기 이송샤프트에 의해서 거시적 변위가 조절되고 상기 선형이동유닛에 의해서 미시적 변위가 조절되는 나노스테이지
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 이송샤프트의 회전 및 상기 선형이동유닛의 신축이 동시에 일어나 상기 작업대의 변위를 조절하는 것을 특징으로 하는 나노스테이지
4 4
제 1항에 있어서,상기 선형이동유닛은,상기 이송샤프트의 회전축과 평행하도록 구성되어 길이방향을 따라 신축이 되는 것을 특징으로 하는 나노스테이지
5 5
제 1항에 있어서,상기 선형이동유닛은,탈착 가능하게 구성되어 선택적으로 교체가 가능한 나노스테이지
6 6
제 1항에 있어서,상기 선형이동유닛은,상기 이송샤프트의 회전축을 중심으로 서로 대응되도록 한 쌍으로 구성되어 일측이 고정되고 타측이 상기 지지유닛에 결합되는 나노스테이지
7 7
제 1항에 있어서,상기 지지유닛은,일단이 전체를 지지하는 고정베이스와 결합되며 중간부가 상기 선형이동유닛의 신축에 의해서 휘어짐이 가능하도록 굽힘부를 더 포함하여 구성되는 나노스테이지
8 8
제 1항에 있어서,상기 선형이동유닛은,피에조소자를 이용한 액츄에이터인 것을 특징으로 하는 나노스테이지
9 9
제 1항에 있어서,상기 이송샤프트는 외주면에 나사산이 형성되며, 상기 작업대는 상기 나사산에 대응되도록 형성되어 상기 이송샤프트의 회전에 의해서 상기 작업대가 이동되는 것을 특징으로 하는 나노스테이지
10 10
제 1항에 있어서,상기 지지유닛이 구비된 타측에 구비되어 상기 이송샤프트를 지지하며, 상기 선형이동유닛에 의해서 이동된 이송샤프트의 이송량만큼 탄성 변형하는 보조지지유닛을 더 포함하는 나노스테이지
11 11
작업대상물이 놓여지는 작업대;회전력을 인가받아 회전하여 상기 작업대를 회전시키는 이송샤프트;상기 이송샤프트를 회전 가능하게 지지하며 축 방향으로 구속시켜 고정 지지하는 지지유닛; 및상기 이송샤프트와 별도로 분리되어 배치되며 길게 형성된 압전소재로 이루어져 일측이 고정되고 타측이 상기 지지유닛과 결합되어 신축을 통해서 상기 지지유닛을 이동시킴으로써 상기 이송샤프트 전체를 축 방향으로 이동시키는 선형이동유닛; 을 포함하며,상기 작업대는 상기 이송샤프트에 의해서 거시적 회전이 조절되며 상기 선형이동유닛에 의해서 미시적 회전이 조절되는 나노스테이지
12 12
제 11항에 있어서,상기 이송샤프트는 외주의 일부분에 웜기어가 형성되며, 상기 작업대는 상기 웜기어에 대응되도록 외주면에 톱니가 구비된 윔휠로 형성되어 상기 이송샤프트의 회전에 의해서 상기 작업대가 회전하는 나노스테이지
13 13
제 12항에 있어서,상기 작업대는, 회전축이 상기 이송샤프트의 회전축과 교차되도록 구비되는 나노스테이지
14 14
삭제
15 15
제 11항에 있어서,상기 이송샤프트의 회전 및 상기 선형이동유닛의 신축이 동시에 일어나 상기 작업대의 회전변위를 조절하는 것을 특징으로 하는 나노스테이지
16 16
제 11항에 있어서,상기 선형이동유닛은,상기 이송샤프트의 회전축과 평행하도록 구성되어 길이방향을 따라 신축이 되는 것을 특징으로 하는 나노스테이지
17 17
제 11항에 있어서,상기 선형이동유닛은,탈착 가능하게 구성되어 선택적으로 교체가 가능한 나노스테이지
18 18
제 11항에 있어서,상기 선형이동유닛은,상기 이송샤프트의 길이방향을 중심으로 서로 대응되도록 한 쌍으로 구성되어 일측이 고정되고 타측이 상기 지지유닛에 결합되는 나노스테이지
19 19
제 11항에 있어서,상기 지지유닛은,일단이 전체를 지지하는 고정베이스와 결합되며 중간부가 상기 선형이동유닛의 신축에 의해서 휘어짐이 가능하도록 굽힘부를 더 포함하여 구성되는 나노스테이지
20 20
제 11항에 있어서,상기 선형이동유닛은,피에조소자를 이용한 액츄에이터인 것을 특징으로 하는 나노스테이지
21 21
제 11항에 있어서,상기 지지유닛이 구비된 타측에 구비되어 상기 이송샤프트를 지지하며, 상기 선형이동유닛에 의해서 이동된 이송샤프트의 이송량만큼 탄성 변형하는 보조지지유닛을 더 포함하는 나노스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.