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다원계 화합물 증착용 샤워헤드

  • 기술번호 : KST2014050045
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 다원계 화합물 증착용 샤워헤드(200)는, 일면에 가상의 육각형 단위격자(210)가 규칙적으로 반복 배치되되, 제1반응기체 분사공(21)과 제2반응기체 분사공(22)은 육각형 단위격자(210)의 꼭지점에 번갈아 위치하도록 형성되고, 제3반응기체 분사공(23)은 육각형 단위격자(210)의 중심에 위치하도록 형성되며, 제4반응기체 분사공(24)은 육각형 단위격자(210)의 중심에서 육각형 단위격자(210)의 꼭지점에 방사상 선을 그어 만들어지는 가상의 삼각형(220) 내에 위치하도록 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 특정 성분 기체의 분사공을 다른 성분 기체의 분사공에 비하여 밀도 높게 배치할 수 있기 때문에 특정 반응기체를 다른 반응기체에 비하여 더 균일하게 분사할 수 있게 된다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01)
CPC C23C 16/45574(2013.01) C23C 16/45574(2013.01) C23C 16/45574(2013.01) C23C 16/45574(2013.01)
출원번호/일자 1020110138271 (2011.12.20)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1311268-0000 (2013.09.16)
공개번호/일자 10-2013-0070985 (2013.06.28) 문서열기
공고번호/일자 (20130925) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 변철수 대한민국 서울특별시 강남구
2 김종석 대한민국 경기도 안산시 단원구
3 정훈 대한민국 서울특별시 광진구
4 김형태 대한민국 서울특별시 동작구
5 김철호 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-1013561-92
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.10.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.11.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0088499-58
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0178422-15
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0438425-37
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0438436-39
10 등록결정서
Decision to grant
2013.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0627814-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일면에 가상의 육각형 단위격자가 규칙적으로 반복 배치되되, 제1반응기체 분사공과 제2반응기체 분사공은 상기 육각형 단위격자의 꼭지점에 번갈아 위치하도록 형성되고, 제3반응기체 분사공은 상기 육각형 단위격자의 중심에 위치하도록 형성되며, 상기 육각형 단위격자의 중심에서 상기 육각형 단위격자의 꼭지점에 방사상 선을 그어 만들어지는 6개의 가상 삼각형 중에서 적어도 어느 하나의 내부에 제4반응기체 분사공이 형성되고, 상기 6개의 가상 삼각형 중 상기 제4반응기체 분사공이 형성되지 않은 나머지 가상 삼각형 중 적어도 어느 하나의 내부에 퍼지기체 분사공이 형성되는 것을 특징으로 하는 다원계 화합물 증착용 샤워헤드
2 2
제1항에 있어서, 상기 제4반응기체 분사공이 상기 6개의 가상 삼각형 중에서 서로 마주보는 2개의 삼각형의 내부에 각각 하나씩 형성되는 것을 특징으로 하는 다원계 화합물 증착용 샤워헤드
3 3
제1항에 있어서, 상기 제4반응기체 분사공이 상기 6개의 가상 삼각형 중에서 하나씩 건너뛰면서 위치하는 3개의 삼각형의 내부에 각각 하나씩 형성되는 것을 특징으로 하는 다원계 화합물 증착용 샤워헤드
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1반응기체 분사공, 제2반응기체 분사공, 및 제3반응기체 분사공이 동일한 크기를 가지고, 상기 제4반응기체 분사공은 상기 제1반응기체 분사공보다 작은 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 다원계 화합물 증착용 샤워헤드
5 5
제1항에 있어서, 상기 육각형 단위격자는 정육각형 형상을 하는 것을 특징으로 하는 다원계 화합물 증착용 샤워헤드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.