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전자 맴돌이 공명 이온원 장치 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014050092
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 전자 맴돌이 공명 이온원 장치는, 자기장을 발생하는 자석을 포함하는 자석부; 플라즈마와 전자 맴돌이 공명으로 이온을 생성하는 이온화 챔버하우징부; 이온 생성을 위하여 상기 이온화 챔버하우징부에 마이크로파를 주입하는 마이크로파 발생부; 생성된 이온을 처리하는 빔 집적 및 가이드 장치부를 포함할 수 있다. 상기 자석부는, 회전체이고 자석부를 구성하기 위한 권취의 중심이 되는 권틀; 상기 권틀을 복수 개의 구역으로 나누는 가변형 스페이서; 및 상기 가변형 스페이서에 의해 형성된 상기 복수 개의 구역에 선재 또는 테이프로 권취되는 자석을 포함할 수 있다.
Int. CL H01J 37/317 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080115897 (2008.11.20)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-0927995-0000 (2009.11.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20091124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 원미숙 대한민국 부산광역시 연제구
2 이병섭 대한민국 대전광역시 중구
3 김종필 대한민국 부산광역시 동래구
4 윤장희 대한민국 부산광역시 북구
5 배종성 대한민국 부산광역시 해운대구
6 방정규 대한민국 부산광역시 수영구
7 이효상 대한민국 경상남도 김해시
8 박진용 대한민국 부산광역시 수영구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-0801723-92
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0867748-57
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.01.22 수리 (Accepted) 9-1-2009-0005903-42
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0075006-70
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0226759-82
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0291160-57
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0371438-09
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0435307-16
10 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2009.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0050785-24
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.08.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0504064-13
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0504065-58
13 등록결정서
Decision to grant
2009.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0373915-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5212108-42
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
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번호 청구항
1 1
전자 맴돌이 공명 이온원 장치에 있어서, 자기장을 발생하는 자석을 포함하는 자석부; 플라즈마와 전자 맴돌이 공명으로 이온을 생성하는 이온화 챔버하우징부; 이온 생성을 위하여 상기 이온화 챔버하우징부에 마이크로파를 주입하는 마이크로파 발생부; 상기 생성된 이온을 처리하는 빔 집적 및 가이드 장치부를 포함하고, 상기 자석부는, 회전체이고 상기 자석부를 구성하기 위한 권취의 중심이 되는 권틀; 상기 권틀을 복수 개의 구역으로 나누는 가변형 스페이서; 및 상기 가변형 스페이서에 의해 형성된 상기 복수 개의 구역에 선재 또는 테이프로 권취되는 자석을 포함하고, 상기 권취된 자석은 하나의 전원에 연결되어 자기장을 생성하며, 상기 자석부는 상기 가변형 스페이서의 형상을 가변하여 생성되는 자기장의 크기 및 분포 형태를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 가변형 스페이서는, 상기 권틀을 회전축에 수직 방향으로 복수 개의 구역으로 나누는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 가변형 스페이서는 원판형이고, 상기 원판의 두께 및 반경은 가변적인 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치
5 5
제3항에 있어서, 상기 가변형 스페이서에는 상기 복수 개의 구역에 선재 또는 테이프로 권취되는 자석이 관통하는 연결 홈이 형성되어 있으며, 상기 권취된 자석은 상기 가변형 스페이서로 나누어진 복수 개의 구역에 권취되고, 상기 각 구역에 권취된 자석의 단면적은 가변적인 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치
6 6
자기장을 발생시키고, 두께 또는 반경이 서로 상이한 판 형태인 복수 개의 자석을 포함하는 자석부; 플라즈마와 전자 맴돌이 공명으로 이온을 생성하는 이온화 챔버하우징부; 이온 생성을 위하여 상기 이온화 챔버하우징부에 마이크로파를 주입하는 마이크로파 발생부; 및 상기 생성된 이온을 처리하는 빔 집적 및 가이드 장치부를 포함하되, 상기 자석부는 상기 복수 개의 자석의 판 사이의 간격을 가변하여 발생되는 자기장의 크기 및 분포 형태를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 복수 개의 자석에는 냉각관 및 지지용 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치
8 8
제6항에 있어서, 상기 복수 개의 자석은 서로 연결되어 있으며, 상기 복수 개의 자석 사이에 가변적인 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02357658 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 US08461763 US 미국 FAMILY
3 US20110140641 US 미국 FAMILY
4 WO2010058930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
5 WO2010058930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2357658 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2357658 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 US2011140641 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US8461763 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2010058930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
6 WO2010058930 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.