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온도제어 기능을 가진 ＵＶ 나노 임프린트 리소그래피를수행하는 장치 및 온도제어방법

  • 기술번호 : KST2014050100
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 온도제어 기능을 가진 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치 및 온도제어방법을 제공한다. 상기 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치는 로딩 플레이트의 온도를 측정을 위한 써머커플 및 온도증감을 위한 히팅라인이 설치된 항온 플레이트; 유리기판에 도포된 레진 상부에 놓여지는 몰드에 압력을 가하는 방향으로 이동되며, 로딩 플레이트에 놓여진 유리기판에 자외선을 조사하는 UV 램프를 내장하는 가압부와, 자외선 투과가능한 투명한 재질로서 가압부 하부에 설치되며 패턴 형성을 위한 몰드의 온도감지를 위해 써머커플을 장착한 탄성패드로 이루어진 가압유닛; 도어를 통해 개방이 가능한 수용공간을 가져, 상기 로딩 플레이트, 항온 플레이트, 가압유닛을 수용하는 챔버; 챔버의 내부온도를 측정하기 위해 챔버 내에 설치되는 온도센서; 챔버 외부에 설치되며, 상기 챔버 내부의 공기를 순환시켜 챔버의 내부온도가 일정하게 유지되도록 하는 외부공조기; 및 상기 항온 플레이트와 가압유닛에 각각 설치된 써머커플 및 상기 온도센서를 통해 측정된 온도데이타를 근거로 상기 항온 플레이트의 온도조절 및 외부공조기의 작동을 제어하는 제어반;을 포함하여 구성됨을 요지로 한다. UV 나노 임프린트, 몰드, 유리기판, 온도제어
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020080101252 (2008.10.15)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1046828-0000 (2011.06.29)
공개번호/일자 10-2010-0042114 (2010.04.23) 문서열기
공고번호/일자 (20110706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.15)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임홍재 대한민국 서울특별시 광진구
2 신동훈 대한민국 서울특별시 종로구
3 김우송 대한민국 경기도 성남시 수정구
4 박경서 대한민국 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0718261-74
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0431863-46
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0678034-47
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0678037-84
5 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0296195-11
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
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번호 청구항
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항온 플레이트, UV 램프를 내장하는 가압부와 탄성패드로 이루어진 가압유닛, 항온 플레이트 및 가압유닛을 수용하는 챔버, 챔버의 내부온도를 측정하기 위해 챔버 내에 설치되는 온도센서, 외부공조기, 항온 플레이트와 외부공조기 작동 제어를 위한 제어반으로 구성되는 UV 나노 임프린트 리소그래피 장치에 있어서, 상기 외부공조기를 통해 챔버 내부로 도입되는 공기에 포함된 불순물을 여과와 동시에 고른 확산을 위해, 전면이 노출된 형태로 챔버의 외부공기 도입부에 설치되는 다공성 매질의 필터;를 더 포함하는 온도제어 기능을 가진 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치
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(a) UV 나노 임프린트 리소그래피 공정 중 가입유닛 및 몰드를 이용한 패턴 형성과정에서, 가압유닛의 탄성패드에 삽입된 써머커플을 이용하여 자외선에 의해 레진이 경화되는 과정에서 이 레진 발열로 인해 상승되는 몰드의 온도를 측정하는 단계; (b) UV 나노 임프린트 리소그래피 공정 중 가입유닛 및 몰드를 이용한 패턴 형성과정에서, 항온 플레이트에 설치되는 써머커플을 이용하여 로딩 플레이트 상에 놓여진 유리기판의 온도를 측정하는 단계; 및 (c) 상기 (a) 단계에서 측정된 몰드의 온도와 상기 (b) 단계에서 측정된 유리기판의 온도가 상이한 경우, 제어반을 통한 항온 플레이트의 히팅라인 설정온도 조절을 통해, 로딩 플레이트 상에 놓인 기판의 온도와 레진에 의해 발열되는 몰드의 온도차이를 일정하게 유지시키기 위한 온도조절단계;를 포함하는 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치의 온도제어방법
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