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플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법

  • 기술번호 : KST2014050636
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공 또는 대기압에서 피처리물의 표면에 플라즈마를 발생시켜 거칠게 가공한 후 피처리물의 표면에 소수성부재를 결합시킴으로써 초발수성을 가지도록 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법은, 진공챔버(C) 내부에 구비된 전극(10) 상면에 피처리물(W)을 설치하는 피처리물설치단계(S100)와, 상기 진공챔버(C) 내부를 진공 분위기로 조성하는 진공형성단계(S200)와, 상기 전극(10)에 전원을 공급하여 플라즈마를 발생시키는 플라즈마발생단계(S300)와, 상기 전극(10)에 가해지는 전압 및 전원공급시간을 제어하여 상기 피처리물(W)의 표면을 에칭하는 표면에칭단계(S400)와, 상기 진공챔버(C) 내부에 소수성부재를 유입시키고, 플라즈마를 이용하여 피처리물(W)의 표면에 소수성부재를 결합시키는 소수화단계(S500)가 선택적으로 실시된다. 이와 같은 구성에 의하면, 공정수가 감소하며 균일하고 넓은 소수성 표면을 가지는 피처리물을 제조 가능한 이점이 있다.플라즈마, 에칭, 접촉각, 초발수, 거칠기
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01)
CPC H01L 21/3065(2013.01) H01L 21/3065(2013.01)
출원번호/일자 1020060085329 (2006.09.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0776970-0000 (2007.11.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.09.05)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나종주 대한민국 경남 창원시
2 정용수 대한민국 경남 창원시
3 문성모 대한민국 경남 창원시 가음정동
4 이구현 대한민국 경남 창원시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2006-0642065-47
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0671089-12
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2007.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0352023-06
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0039944-75
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0465903-22
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0657961-16
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0657968-35
9 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0587497-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
진공챔버 내부에 구비된 전극 상측에 피처리물을 설치하는 피처리물설치단계와;상기 진공챔버 내부를 진공 분위기로 조성하는 진공형성단계와;상기 전극에 전원을 공급하여 플라즈마를 발생시키는 플라즈마발생단계와;상기 전극에 가해지는 전압 및 전원공급시간을 제어하여 상기 피처리물의 표면을 에칭하는 표면에칭단계와;상기 진공챔버 내부에 소수성부재를 유입시키고, 플라즈마를 이용하여 상기 피처리물의 표면에 상기 소수성부재를 결합시키는 소수화단계;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법
2 2
대기 분위기에서 전극에 부착된 유전체 하측에 피처리물을 설치하는 피처리물설치단계와;상기 전극에 전원을 공급하여 플라즈마를 발생시키는 플라즈마발생단계와;상기 전극에 가해지는 전압 및 전원공급시간을 제어하여 상기 피처리물의 표면을 에칭하는 표면에칭단계와;상기 피처리물 하측에 이격 설치된 다른 전극과 상기 피처리물 사이에 소수성부재를 유입시키고, 플라즈마를 이용하여 상기 피처리물의 표면에 상기 소수성부재를 결합시키는 소수화단계;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 소수성부재는,불소기, 메틸기 및 염소기 중 적어도 어느 하나를 포함한 가스 또는 분자임을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 표면에칭단계에서는,상기 피처리물의 에칭을 활성화하기 위한 반응가스가 선택적으로 부가됨을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 반응가스는,산소, 질소, 수분, 아르곤, 헬륨, 탄화불소, 탄화염소 중에서 적어도 어느 하나를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 표면에칭단계는,롤러에 감긴 상기 피처리물을 다른 롤러에 권취하여 진행시킴으로써 상기 피처리물의 표면을 연속적으로 에칭하는 과정임을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 통한 초발수 표면 형성방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 한국기계연구원 기술료사업 나노 Turf(lotus)분석 및 제작공정