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전해연마지그 및 이를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법

  • 기술번호 : KST2014050638
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 메탈마스크를 수용한 상태로 전해연마장치 내부에 삽입 고정되어 메탈마스크에 형성된 버어(Burr) 및 이물이 제거되도록 하는 전해연마지그 및 이를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법에 관한 것이다본 발명은 전해연마장치 내부에서 전해연마액에 담긴 상태로 설치되고, 메탈마스크(M) 일측을 구속하여 전해연마장치 내부에서 메탈마스크(M)의 움직임을 구속하는 전해연마지그(100)에 있어서, 상기 전해연마지그(100)는, 상기 메탈마스크(M)의 전면 및 후면 테두리와 접촉하여 메탈마스크(M)가 변형되지 않도록 규제하는 변형방지수단(120)과, 상기 변형방지수단(120) 외측에 구비되어 외관 일부를 형성하고 상기 변형방지수단(120)의 하중을 지지하는 하중지지수단(140)과, 상기 변형방지수단(120)의 일부가 하중지지수단(140) 내부에서 직선 왕복운동하도록 안내하는 운동안내수단(160)을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 이와 같은 구성에 의하면, 메탈마스크의 품질이 향상되는 이점이 있다.메탈마스크, 전해연마, 지그(JIG), 버어(burr), 연마용액
Int. CL G03F 1/64 (2006.01) G03F 1/00 (2006.01)
CPC G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01) G03F 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1020060045386 (2006.05.20)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0767047-0000 (2007.10.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.20)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김만 대한민국 경남 창원시
2 이주열 대한민국 경남 창원시 가
3 권식철 대한민국 서울 동작구
4 이상열 대한민국 경남 김해시 장유면
5 김정환 대한민국 경남 양산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0352154-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.01.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.02.09 수리 (Accepted) 9-1-2007-0006594-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0179541-11
5 의견서
Written Opinion
2007.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0310333-71
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.04.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0310377-79
7 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2007.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0352019-12
8 등록결정서
Decision to grant
2007.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0521423-11
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전해연마장치 내부에서 전해연마액에 담긴 상태로 설치되고, 메탈마스크 일측을 구속하여 전해연마장치 내부에서 메탈마스크의 움직임을 구속하는 전해연마지그에 있어서, 상기 전해연마지그는,상기 메탈마스크의 전면 및 후면 테두리와 접촉하여 메탈마스크가 변형되지 않도록 규제하는 변형방지수단과,상기 변형방지수단 외측에 구비되어 외관 일부를 형성하고 상기 변형방지수단의 하중을 지지하는 하중지지수단과,상기 변형방지수단의 일부가 하중지지수단 내부에서 직선 왕복운동하도록 안내하는 운동안내수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 전해연마지그
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 변형방지수단은,상기 메탈마스크의 일면에 구비되어 전해연마장치의 (+)전극이 상기 메탈마스크에 연결되도록 하는 전류전달구와,상기 전류전달구와 동일 평면상에서 이격 설치되고, 상기 메탈마스크의 크기에 따라 선택적으로 직선 왕복운동 가능한 길이조절구와,상기 전류전달구 및 길이조절구와 인력을 발생하여 상기 메탈마스크의 움직임을 규제하는 유동규제구를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 전해연마지그
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 변형방지수단은 비전도성 재질로 형성되며, 내부 일측에는 자기력을 발생하여 상기 전류전달구 및 길이조절구와 유동규제구가 서로 부착되도록 하는 부착수단이 구비됨을 특징으로 하는 전해연마지그
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 전류전달구의 일측에는 전해연마장치에서 인가된 전류가 메탈마스크로 전달되도록 하는 전류전달판이 구비됨을 특징으로 하는 전해연마지그
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 전류전달판은 전해연마액과 반응하지 않는 납(Pb) 또는 금속 산화물로 형성됨을 특징으로 하는 전해연마지그
6 6
제 5 항에 있어서, 운동안내수단은,상기 하중지지수단을 관통한 후 일단부가 길이조절구 일측과 결합되어 상기 길이조절구의 직선왕복운동을 안내하는 안내봉과,상기 안내봉 외측에 구비되어 상기 안내봉에 일방향의 탄성력을 발생하는 탄성부재와,상기 안내봉 및 하중지지수단을 동시에 관통하여 상기 안내봉의 일방향 움직임을 구속하는 구속핀을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 전해연마지그
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 안내봉의 일측에는,상기 탄성부재의 일단부를 간섭하여 상기 안내봉으로부터 탄성부재의 이탈을 규제하는 이탈방지판이 구비됨을 특징으로 하는 전해연마지그
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 안내봉에는 상기 구속핀이 삽입되도록 천공된 다수개의 삽입홀이 형성됨을 특징으로 하는 전해연마지그
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 하중지지수단의 일측에는,상기 삽입홀과 대응되는 크기로 천공되어 상기 구속핀이 삽입홀에 삽입될 수 있도록 안내하는 안내홀이 구비됨을 특징으로 하는 전해연마지그
10 10
메탈마스크의 전면 및 후면 테두리와 접촉하여 메탈마스크가 변형되지 않도록 규제하는 변형방지수단의 일측을 움직여 변형방지수단의 폭과 메탈마스크의 폭이 대응되도록 변경하는 폭변경단계와,상기 변형방지수단의 하중을 지지하는 하중지지수단에 상기 변형방지수단의 직선 왕복운동을 안내하는 운동안내수단을 고정시켜 상기 변형방지수단의 움직임을 제한하는 유동제한단계와,상기 변형방지수단 내측에 메탈마스크를 삽입 고정하는 마스크고정단계와,상기 메탈마스크를 전해연마액에 담수하는 마스크담수단계와,상기 변형방지수단 일측에 구비된 전류전달판에 (+)전극을 연결하고, 전해연마액 내에 (-)전극을 설치하여 전류전달판에 전류가 흐르도록 하는 전류인가단계,상기 전류인가단계에서 인가된 전류에 의해 상기 메탈마스크에 형성된 버어(Burr)가 산화되는 버어산화단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 폭변경단계는 상기 운동안내수단의 일구성인 안내봉이 하중지지수단 일측을 관통하여 일방향으로 슬라이딩되는 과정임을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 유동제한단계는, 상기 안내봉과 하중지지수단을 동시에 관통하는 구속핀이 상기 안내봉에 천공 형성된 다수개의 삽입홀 중 어느 하나에 삽입되는 과정임을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 마스크고정단계는, 상기 변형방지수단 내부에 삽입 고정된 부착수단이 인력을 발생시에 상기 메탈마스크가 변형방지수단 사이에 끼워지는 과정임을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 마스크담수단계에서 상기 전해연마용액은,인산, 글리세린, 염산, 질산, 황산, 크롬산, 질산 중 적어도 어느 하나로 구성됨을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 전해연마용액의 온도는 20 ∼70℃임을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
16 16
제 15 항에 있어서, 상기 전류인가단계에서 전류밀도는 10∼50A/d㎡임을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
17 17
제 16 항에 있어서, 상기 버어산화단계는 1 ∼ 5분 동안 실시됨을 특징으로 하는 전해연마지그를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한국기계연구원 부품소재지원사업 유리기판상에 전도성 금속메쉬 정밀 전주기술