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내부에 용융 알루미나를 담은 성장로, 상기 성장로 주변을 감싸면서 상기 성장로에 열을 공급하는 열원, 상기 열원 외부를 감싸면서 외부에 열을 방출을 차단하는 단열재, 상기 용융 알루미나에 사파이어 씨드를 접촉하는 로드를 포함하는 사파이어 단결정 성장로 가열장치에 있어서,상기 열원은 상기 성장로를 다수의 존으로 구분하여 열을 공급하며, 각 존 별로 별도의 전류량 센서가 장착되며, 상기 전류량 센서에 의하여 감지되는 전류량을 기초로 상기 열원의 온도를 존별로 개별 제어하는 제어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사파이어 단결정 성장로 가열장치
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청구항 1에 있어서, 상기 존은 상기 성장로의 측면의 상단 영역과 상기 성장로 측면의 하단 영역과 상기 성장로의 밑면 3가지로 구분하는 것을 특징으로 하는 사파이어 단결정 성장로 가열 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 존은 상기 성장로의 측면과 상기 성장로의 밑면으로 구분하는 것을 특징으로 하는 사파이어 단결정 성장로 가열 장치
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청구항 3에 있어서, 상기 제어장치는 정상 상태에서 상기 성장로의 밑면의 온도를 상기 성장로의 측면 온도보다 낮게 또는 높게 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 사파이어 단결정 성장로 가열 장치
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청구항 4에 있어서, 상기 제어장치는 상기 성장로의 밑면의 온도를 상기 성장로의 측면의 온도보다 2℃ 낮게 제어하는 것을 특징으로 하는 사파이어 단결정 성장로 가열 장치
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