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Ge를 첨가한 ZnO 박막의 조성물과 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014051016
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Ge을 첨가한 ZnO 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 더욱 상세하게는 Ge을 첨가한 ZnO 박막을 펄스레이저 증착법을 포함한 다양한 증착법을 이용하여 증착시킴으로써, 순수 ZnO에 비해 ZGO 박막의 경우에 낮은 비저항 값을 갖고, 나르개 농도를 증가시켜 전기적 특성을 향상시킬 수 있음은 물론 ZGO 박막의 경우 표면 거칠기가 고르고 판판할 뿐만 아니라, 대기 중에서도 안정하며, 투과도가 80% 이상을 나타내어 광학적으로 우수한 특성을 가진다. 또한 장치가 간단한 펄스레이저 증착법 이외에 다양한 증착법을 이용하여 증착함으로써, 증착 대상의 조성의 박막을 쉽게 증착할 수 있음은 물론 높은 산소 분압에서도 증착이 가능하고, 이미 증착된 박막에는 손상을 주지 않으면서도 비교적 낮은 온도에서 산화물 상을 형성하는 데에 필요한 에너지를 얻을 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01B 1/02 (2006.01) H01J 9/02 (2006.01) H01L 31/0224 (2006.01) C04B 35/453 (2006.01)
CPC H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01)
출원번호/일자 1020120070840 (2012.06.29)
출원인 창원대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1368820-0000 (2014.02.24)
공개번호/일자 10-2014-0003838 (2014.01.10) 문서열기
공고번호/일자 (20140304) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 대한민국 경상남도 창원시 의창구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김원정 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김다정 대한민국 경상남도 김해시
3 도달현 대한민국 대구광역시 달서구
4 송태권 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 김명호 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김재욱 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(역삼동) ****호(성지하이츠*차빌딩)(코웰국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 경상남도 창원시 의창구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0521948-95
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0573042-08
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.07.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0573090-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5131005-95
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0802584-18
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.12.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1147531-55
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-1147516-70
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0128749-68
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5044733-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5082716-34
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5013674-43
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5013675-99
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5096974-14
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2016-5164273-80
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5229792-25
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2020-5073723-40
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번호 청구항
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Ge을 첨가한 ZnO 박막의 제조방법에 있어서,ZnO 및 Gex:Zn1-xO(ZGO, x = 1 mol%) 조성의 벌크 형태의 세라믹 타겟을 고상 반응법으로 제작하기 위하여 ZnO와 GeO2 분말의 출발원료를 준비하는 단계와;상기 준비된 출발 원료를 에탄올과 혼합시켜 섞어 지름 10 mm의 안정화 지르코니아 볼과 함께 6시간 동안 볼 밀링을 하여 분말을 혼합 및 분쇄하는 공정과, 상기 밀링 후 100 ℃의 오븐에서 건조시키고, 건조된 분말을 800 ℃ 에서 2시간 동안 하소하는 공정을 포함하는 세라믹 타겟용 분말을 제조하는 단계와;상기 세라믹 타겟용 분말에 성형을 위한 결합제로서 Poly Vinyl Alcohol(PVA)를 첨가 혼합하고 150 체로 체가름하는 공정과, 상기 체가름 된 분말은 일축 가압성형을 통하여 직경 1 inch, 두께 10 mm의 디스크 형태로 제작하는 공정을 포함하는 성형하는 단계와;상기 성형된 시편은 알루미나 판 위에 놓고 Zn이온의 휘발을 막기 위해 조성이 같은 분말로 장입하는 공정과, 타겟을 Box형 전기로에 넣고 5 ℃/min의 승온 속도로 1200 ℃의 소결 온도까지 올린 다음 4시간 유지한 후, 온도를 상온으로 서서히 떨어뜨려 세라믹 타켓을 제조하는 공정을 포함하는 소결하는 단계와;10 mm X 10 mm 커팅이 되어있는 c-Al2O3(sapphire(0001))기판에 초음파 세척기를 이용하여 에탄올과 아세톤을 1:1로 섞인 용매에서 15분 세척한 후 증류수로 세척하고, 불활성 가스인 질소가스로 건조 후 기판 홀더에 실버페이스트(silver-paste)를 도포 후 건조된 기판을 붙이고, 100 ℃의 오븐에서 20분 건조하여 기판을 준비하는 공정과, ZnO와 Ge을 1 mol% 첨가한 세라믹 타겟을 c-Al2O3(sapphire(0001)) 기판위에 248 nm의 파장을 가지고 있는 Kr:F 엑시머 레이저를 이용하여 1 J/cm2 /shot 에너지 밀도에서 산소분압, 기판온도를 조절하여 증착을 하는 박막성장을 포함하는 박막을 성장시키는 단계; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 Ge을 첨가한 ZnO 박막의 제조방법
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제 3항에 있어서,상기 세라믹 타겟용 분말을 제조하는 단계에서, 분말 입자의 균질성을 높이기 위하여 밀링, 건조, 하소 공정을 각각 두 번 반복한 후 다시 밀링, 건조하여 최종분말을 얻는 것을 포함함을 특징으로 하는 Ge을 첨가한 ZnO 박막의 제조방법
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제 3항에 있어서,상기 박막 성장을 위해 기판을 준비하고 박막을 성장시키는 단계에서, 상기 c-Al2O3(sapphire(0001))은 Si, galss와 같은 기판으로 대체 가능하며, 상기 기판위에 ZnO와 Ge을 첨가하여 산소분압이 1 대기압 이하에서 증착온도를 변화시키며 박막을 성장시키는 것을 포함함을 특징으로 하는 Ge을 첨가한 ZnO 박막의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기초연구사업 창원대학교 산학협력단 선도 연구센터 지원사업 기능성 소재/물성 제어 기술
2 기초연구사업 창원대학교 산학협력단 일반연구자 지원사업 비평형 ZnOxS1-x 박막 및 나노구조를 포함한 저차원 및 다층 구조연구