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표면 피복용 박막

  • 기술번호 : KST2014051263
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고온에서 안정적으로 사용가능한 표면 피복용 경질 다층 박막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 Ti1-xAlxN 막층(0≤x≤1, 이하 "TiAlN 막층")과 비정질의 Si-N 막층으로 구성된 박막 단위체를 하나 이상 포함하며, 상기 TiAlN 막층과 상기 비정질의 Si-N 막층이 교대로 적층되어 있는 표면 피복용 박막으로서, 상기 박막 단위체의 두께는 1.3 내지 12 nm이며, 상기 박막 단위체를 구성하는 TiAlN막층의 두께는 1 내지 10 nm이며, 상기 박막 단위체를 구성하는 비정질 Si-N 막층의 두께는 0.3 내지 0.7 nm이며, 상기 TiAlN막층 및 상기 비정질 Si-N 막층은 스퍼터링에 의해 증착된 것을 특징으로 하며, 이와 같은 표면 피복용 경질 다층 박막은 피복층의 경도, 인성(toughness), 내산화성, 열 안정성이 우수하여 절삭공구 및 미세 정밀부품의 표면강도 향상을 위하여 널리 적용될 수 있는 효과가 있다.경질 다층 박막, TiAlN, 비정질 Si-N, 금속질화물, 경도, 인성, 열 안정성
Int. CL C23C 28/00 (2000.01) C23C 28/04 (2000.01)
CPC C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01)
출원번호/일자 1020050098402 (2005.10.19)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0779740-0000 (2007.11.20)
공개번호/일자 10-2007-0042602 (2007.04.24) 문서열기
공고번호/일자 (20071126) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종극 대한민국 서울 영등포구
2 백영준 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0589784-33
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2005.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0633102-04
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.10.17 수리 (Accepted) 9-1-2006-0068442-02
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0629246-01
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0962112-12
7 의견서
Written Opinion		 2007.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0084527-30
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0084526-95
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2007.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0262624-38
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.07.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0516835-54
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0516837-45
12 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0608829-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Ti1-xAlxN 막층(0≤x≤1, 이하 "TiAlN 막층")과 비정질의 Si-N 막층으로 구성된 박막 단위체를 하나 이상 포함하며, 상기 TiAlN 막층과 상기 비정질의 Si-N 막층이 교대로 적층되어 있는 표면 피복용 박막으로서,상기 박막 단위체의 두께는 1
2 2
제1항에 있어서, 상기 TiAlN 막층은 티타늄(Ti)과 알루미늄(Al)의 원자비율이 60:40 내지 40:60인 것을 특징으로 하는 표면 피복용 박막
3 3
제1항에 있어서, 상기 박막 단위체를 둘 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 피복용 박막
4 4
삭제
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.